CN214588791U - 一种硅片吸附及分离装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种硅片吸附及分离装置，其包括第一吸附机构、第二吸附机构和分离机构，第一吸附机构包括若干间隔排列的第一吸盘，第二吸附机构包括若干间隔排列的第二吸盘，第一吸盘和第二吸盘两两配合分别从两侧吸附同一硅片齿槽内的两片硅片；分离机构包括吹风管和吹风设备，吹风管设有吹风孔，吹风设备可在第一吸盘和第二吸盘将硅片吸附后向吹风管吹风，吹风管内的风由吹风孔吹至两片硅片之间，将两片硅片分离。本实用新型的硅片吸附及分离装置结构合理，可以从两侧将同一硅片齿槽内的两片硅片吸附固定，并通过分离机构进行吹风分离，分离效率高，效果好，便于接下来硅片的正常加工作业，可以大幅提高加工效率。

Description

一种硅片吸附及分离装置

技术领域

本实用新型涉及硅片加工技术领域，具体涉及一种硅片吸附及分离装置。

背景技术

硅片在加工过程中，经常会用石英舟承载硅片，硅片会插接在石英舟上的硅片齿槽上，然后使用吸盘将石英舟上的硅片吸走，而为了保证石英舟的承载效率，石英舟上一个硅片齿槽内通常插接有两片硅片，吸盘将硅片吸附后经常会遇到难以分离的情况，从而影响硅片接下来的正常加工。因此，急需一种设备来解决上述问题。

实用新型内容

针对现有技术的不足，本实用新型目的在于提供一种结构合理、可以在硅片吸附后将硅片分离的硅片吸附及分离装置。其采用如下技术方案：

一种硅片吸附及分离装置，其包括：

第一吸附机构和第二吸附机构，所述第一吸附机构包括若干间隔排列的第一吸盘，所述第二吸附机构包括若干间隔排列的第二吸盘，所述第一吸盘和第二吸盘两两配合分别从两侧吸附同一硅片齿槽内的两片硅片；

分离机构，包括吹风管和吹风设备，所述吹风管设有吹风孔，所述吹风设备可在所述第一吸盘和第二吸盘将硅片吸附后向所述吹风管吹风，所述吹风管内的风由所述吹风孔吹至两片硅片之间，将两片硅片分离。

作为本实用新型的进一步改进，所述第一吸盘和第二吸盘上均设有负压流道，所述负压流道内设有补偿孔，所述负压流道的抽气口与抽气设备连接，所述抽气设备可在所述第一吸盘和第二吸盘分别与两片硅片贴合后，在所述负压流道内抽气，在所述负压流道内形成负压并将硅片吸附。

作为本实用新型的进一步改进，所述第一吸附机构和第二吸附机构均包括负压板，所述所述第一吸盘和第二吸盘均与所述负压板连接，所述负压板内设有连通所述抽气设备和负压流道的导风孔。

作为本实用新型的进一步改进，所述第一吸盘和第二吸盘为交错插指结构。

作为本实用新型的进一步改进，所述吹风管为“一”字型，所述吹风孔沿所述吹风管的长度方向均匀设置。

作为本实用新型的进一步改进，所述吹风管的两端设有与所述吹风设备连接的进风孔。

作为本实用新型的进一步改进，所述装置还包括吹风管安装组件，所述吹风管安装组件包括固定柱和转接块，所述吹风管通过螺栓与所述固定柱连接，所述固定柱通过所述转接块固定，可通过所述转接块调节所述吹风管的吹风角度。

作为本实用新型的进一步改进，所述吹风管的吹风角度为水平向下45度。

作为本实用新型的进一步改进，所述吹风管的数量为二，两吹风管相互配合分别从两侧向两片硅片之间吹风。

本实用新型的有益效果：

本实用新型的硅片吸附及分离装置结构合理，可以从两侧将同一硅片齿槽内的两片硅片吸附固定，并通过分离机构进行吹风分离，分离效率高，效果好，便于接下来硅片的正常加工作业，可以大幅提高加工效率。

上述说明仅是本实用新型技术方案的概述，为了能够更清楚了解本实用新型的技术手段，而可依照说明书的内容予以实施，并且为了让本实用新型的上述和其他目的、特征和优点能够更明显易懂，以下特举较佳实施例，并配合附图，详细说明如下。

附图说明

图1是本实用新型优选实施例中硅片吸附及分离装置的结构示意图；

图2是本实用新型优选实施例中硅片吸附及分离装置和硅片的结构示意图；

图3是本实用新型优选实施例中吹风管和吹风管安装组件的装配结构示意图；

图4是本实用新型优选实施例中第一吸盘或第二吸盘的结构示意图。

标记说明：1、硅片；2、基板；11、第一吸盘；12、负压板；121、导风孔；21、第二吸盘；211、负压流道；212、补偿孔；213、抽气口；30、吹风管；31、吹风孔；32、进风孔；41、固定柱；42、转接块。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步说明，以使本领域的技术人员可以更好地理解本实用新型并能予以实施，但所举实施例不作为对本实用新型的限定。

如图1-2所示，为本实用新型实施例中硅片吸附及分离装置，该硅片吸附及分离装置包括第一吸附机构和第二吸附机构，第一吸附机构包括若干间隔排列的第一吸盘11，第二吸附机构包括若干间隔排列的第二吸盘21，第一吸盘11和第二吸盘21两两配合分别从两侧吸附同一硅片1齿槽内的两片硅片1

该硅片吸附及分离装置还分离机构，如图3所示，该分离机构包括吹风管30和吹风设备，吹风管30设有吹风孔31，吹风设备可在第一吸盘11和第二吸盘21将硅片1吸附后向吹风管30吹风，吹风管30内的风由吹风孔31吹至两片硅片1之间，将两片硅片1分离。

本实用新型的硅片吸附及分离装置结构合理，可以从两侧将同一硅片齿槽内的两片硅片吸附固定，并通过分离机构进行吹风分离，分离效率高，效果好，便于接下来硅片的正常加工作业，可以大幅提高加工效率。

在一些实施例中，如图4所示，第一吸盘11和第二吸盘21上均设有负压流道211，负压流道211内设有补偿孔212，负压流道211的抽气口213与抽气设备连接，抽气设备可在第一吸盘11和第二吸盘21分别与两片硅片1贴合后，在负压流道211内抽气，在负压流道211内形成负压并将硅片1吸附。

可选的，第一吸附机构和第二吸附机构均包括负压板12，第一吸盘11和第二吸盘21均与负压板12连接，负压板12内设有连通抽气设备和负压流道211的导风孔121。第一吸盘11和第二吸盘21均可装配在负压板12上。

可选的，第一吸盘11和第二吸盘21为交错插指结构。使得第一吸盘11和第二吸盘21之间的距离可以调节，以适应不同尺寸的硅片1。

在一些实施例中，吹风管30为“一”字型，吹风孔31沿吹风管30的长度方向均匀设置。进一步的，每个吹风孔31对应石英舟上一个硅片齿槽，一个吹风孔31对一个硅片齿槽内的两个硅片进行吹风分离。

可选的，吹风管30的两端设有与吹风设备连接的进风孔32，吹风设备产生的风从吹风管30两端的进气孔32进入吹风管30内部。

在一些实施例中，装置还包括吹风管安装组件，吹风管安装组件包括固定柱41和转接块42，吹风管30通过螺栓与固定柱41连接，固定柱41通过转接块42固定，可通过转接块42调节吹风管30的吹风角度。

可选的，第一吸附机构包括基板2，负压板12和转接块42均装配在基板2上。

可选的，吹风管30的吹风角度为水平向下45度。

在一些实施例中，吹风管30的数量为二，两吹风管30相互配合分别从两侧向两片硅片1之间吹风，分离效果更好。

以上实施例仅是为充分说明本实用新型而所举的较佳的实施例，本实用新型的保护范围不限于此。本技术领域的技术人员在本实用新型基础上所作的等同替代或变换，均在本实用新型的保护范围之内。本实用新型的保护范围以权利要求书为准。

Claims (9)

1.一种硅片吸附及分离装置，其特征在于，包括：

第一吸附机构和第二吸附机构，所述第一吸附机构包括若干间隔排列的第一吸盘，所述第二吸附机构包括若干间隔排列的第二吸盘，所述第一吸盘和第二吸盘两两配合分别从两侧吸附同一硅片齿槽内的两片硅片；

分离机构，包括吹风管和吹风设备，所述吹风管设有吹风孔，所述吹风设备可在所述第一吸盘和第二吸盘将硅片吸附后向所述吹风管吹风，所述吹风管内的风由所述吹风孔吹至两片硅片之间，将两片硅片分离。

2.如权利要求1所述的硅片吸附及分离装置，其特征在于，所述第一吸盘和第二吸盘上均设有负压流道，所述负压流道内设有补偿孔，所述负压流道的抽气口与抽气设备连接，所述抽气设备可在所述第一吸盘和第二吸盘分别与两片硅片贴合后，在所述负压流道内抽气，在所述负压流道内形成负压并将硅片吸附。

3.如权利要求2所述的硅片吸附及分离装置，其特征在于，所述第一吸附机构和第二吸附机构均包括负压板，所述第一吸盘和第二吸盘均与所述负压板连接，所述负压板内设有连通所述抽气设备和负压流道的导风孔。

4.如权利要求2所述的硅片吸附及分离装置，其特征在于，所述第一吸盘和第二吸盘为交错插指结构。

5.如权利要求1所述的硅片吸附及分离装置，其特征在于，所述吹风管为“一”字型，所述吹风孔沿所述吹风管的长度方向均匀设置。

6.如权利要求5所述的硅片吸附及分离装置，其特征在于，所述吹风管的两端设有与所述吹风设备连接的进风孔。

7.如权利要求1所述的硅片吸附及分离装置，其特征在于，所述装置还包括吹风管安装组件，所述吹风管安装组件包括固定柱和转接块，所述吹风管通过螺栓与所述固定柱连接，所述固定柱通过所述转接块固定，可通过所述转接块调节所述吹风管的吹风角度。

8.如权利要求7所述的硅片吸附及分离装置，其特征在于，所述吹风管的吹风角度为水平向下45度。

9.如权利要求1所述的硅片吸附及分离装置，其特征在于，所述吹风管的数量为二，两吹风管相互配合分别从两侧向两片硅片之间吹风。

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