CN214542169U - 一种新型硅片吸盘 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种新型硅片吸盘,包包括固定板、吸取板和侧板，所述固定板设置有进气孔，吸取板以及侧板上固设有吸取槽，进气孔与吸取槽间连通有气体通道，吸盘通过吸取槽吸取硅片，本实用新型的吸盘上设置一组或两组吸盘侧板，五组通孔的分布位置增加了吸盘与硅片的接触面积，同时使吸取硅片的力保持均衡，避免硅片部分受力或受力不均匀，提高对硅片的吸取效率，此外吸取板以及侧板的侧边设置为楔形结构，有利于吸取和分离硅片时硅片的导入和导出，本实用新型通过采用真空设备对硅片进行吸取，降低了人力成本，提高了工作效率。

Description

一种新型硅片吸盘

技术领域

本实用新型属于光伏领域，涉及一种新型硅片吸盘。

背景技术

在太阳能硅片工艺处理步骤中，需要对硅片进行分片和合片操作，现有技术中，有采用人工操作真空吸笔完成对硅片的吸取工作，进而实现对硅片进行分片以及合片的工序，也有在吸盘上设置吸嘴进行吸附的技术，但目前的吸盘整体为规则的结构，这使得吸盘与硅片的接触面有限，硅片吸取效果不佳，若是增加吸嘴，则会增加对硅片的吸附力，过强的吸附力会对硅片造成损伤，降低合格率，此设备有效地解决了这种问题。

发明内容

本实用新型为了克服现有技术的不足，提供一种新型硅片吸盘。

为了实现上述目的，本实用新型采用以下技术方案：一种新型硅片吸盘,其特征在于：包括固定板、吸取板和侧板，所述固定板设置有进气孔，吸取板以及侧板上固设有吸取槽，进气孔与吸取槽间连通有气体通道，吸盘通过吸取槽吸取硅片。

进一步的；所述侧板包括两组吸盘侧板，固定板、吸取板以及两组吸盘侧板使吸盘形成F型结构。

进一步的；所述固定板上固设有矩形分布的连接孔，通过连接孔将若干吸盘固设连接。

进一步的；相邻的所述吸取板间形成插槽，硅片吸取进入插槽内，所述固定板的厚度大于吸取板以及侧板的厚度，插槽的间隙宽度大于两组硅片的厚度。

进一步的；所述吸取板以及侧板的侧边设置为楔形结构，便于硅片的导入和导出。

进一步的；所述气体通道包括通气槽，所述通气槽连通设置有封腔，所述封腔上设有封板，所述通气槽设置有贯穿的通孔，通气槽与进气孔连通，通气槽通过通孔与吸取槽连通。

进一步的；所述通气槽由位于吸取板的通气槽一以及位于吸盘侧板的通气槽二构成，通气槽一与两组通气槽二形成F型结构，通气槽一分别与进气孔和通气槽二连通，通孔数量设置有五组，两组通孔分别固设在通气槽二上，其余三组通孔固设在通气槽一，吸取槽由位于吸取板的吸取槽一以及位于吸盘侧板的吸取槽二构成，两组通孔分别位于两组吸取槽二内且与吸取槽二连通，三组通孔分布在吸取槽一内，通气槽一与两组通气槽二分别通过通孔和吸取槽一与吸取槽二连通。

进一步的；所述侧板包括一组吸盘侧板，气体通道包括第二通气槽，所述第二通气槽由位于吸取板的通气槽三以及位于吸盘侧板的通气槽四构成，通气槽三分别与进气孔和通气槽四连通，第二通孔数量设置五组，一组第二通孔固设在通气槽四上，其余四组第二通孔固设在通气槽三，第二吸取槽由位于吸取板的吸取槽三以及位于吸盘侧板的吸取槽四构成，第二通孔位于吸取槽四内且与吸取槽四连通，通气槽三与通气槽四分别通过第二通孔和吸取槽三与吸取槽四连通。

进一步的；所述固定板与吸取板通过斜台平滑连接。

进一步的；所述进气孔中心线与固定板垂直连接，进气孔位于四组连接孔形成矩形的中心位置，连接孔的中心线与进气孔中心线平行。

综上所述，本实用新型的有益之处在于：

1)、本实用新型的吸盘上设置一组或两组吸盘侧板，五组通孔的分布位置增加了吸盘与硅片的接触面积，同时使吸取硅片的力保持均衡，避免硅片部分受力或受力不均匀，提高对硅片的吸取效率。

2)、本实用新型的吸取板以及侧板的侧边设置为楔形结构，有利于吸取和分离硅片时硅片的导入和导出。

3)、本实用新型通过采用真空设备对硅片进行吸取，降低了人力成本，提高了工作效率。

附图说明

图1为本实用新型的吸盘示意图一。

图2为本实用新型的吸盘示意图二。

图3为实施例二中吸盘示意图一。

图4为实施例二中吸盘示意图二。

图中标识：固定板3201、进气孔32011、连接孔32012、吸取板3202、封腔32021、通气槽32022、通孔32023、吸取槽32024、吸盘侧板3203、封板3204、斜台3205、第二通气槽33022、第二通孔33023、第二吸取槽33024。

具体实施方式

以下通过特定的具体实例说明本实用新型的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本实用新型的其他优点与功效。本实用新型还可以通过另外不同的具体实施方式加以实施或应用，本说明书中的各项细节也可以基于不同观点与应用，在没有背离本实用新型的精神下进行各种修饰或改变。需说明的是，在不冲突的情况下，以下实施例及实施例中的特征可以相互组合。

需要说明的是，以下实施例中所提供的图示仅以示意方式说明本实用新型的基本构想，遂图式中仅显示与本实用新型中有关的组件而非按照实际实施时的组件数目、形状及尺寸绘制，其实际实施时各组件的型态、数量及比例可为一种随意的改变，且其组件布局型态也可能更为复杂。

本实用新型实施例中所有方向性指示(诸如上、下、左、右、前、后、横向、纵向……)仅用于解释在某一特定姿态下各部件之间的相对位置关系、运动情况等，如果该特定姿态发生改变时，则该方向性指示也相应地随之改变。

实施例一：

如图1-2所示，一种新型硅片吸盘，包括固定板3201、吸取板3202和侧板，所述固定板3201设置有进气孔32011，吸取板3202以及侧板上固设有吸取槽32024，进气孔32011与吸取槽32024间连通有气体通道，吸盘通过吸取槽32024吸取硅片。

所述进气孔32011连通与外接真空设备连通，所述外接真空设备为吸盘供气，所述外接真空设备可设置为真空发生器或真空泵，本实施例中，所述进气孔32011中心线与固定板3201垂直连接。

所述侧板包括两组吸盘侧板3203，固定板3201、吸取板3202以及两组吸盘侧板3203使吸盘形成F型结构，固定板3201和吸取板3202形成F型的竖直结构，两组吸盘侧板3203固设于吸取板3202侧面，并与吸取板3202以设定角度连接，本实施例中，两者垂直连接，所述固定板3201上固设有矩形分布的连接孔32012，通过连接孔32012将若干吸盘紧密固设连接，本实施例中，进气孔32011位于矩形分布的四组连接孔32012中心位置，连接孔32012的中心线与进气孔32011中心线平行，固定板3201的厚度大于吸取板3202以及吸盘侧板3203的厚度，相邻吸盘的固定板3201固设连接后，相邻所述吸取板3202间形成插槽，硅片吸取进入插槽内，插槽的间隙宽度大于两组硅片的厚度，所述固定板3201与吸取板3202包含吸取槽32024的侧面通过斜台3205平滑连接，所述斜台3205与固定板3201和吸取板3202所成角度为钝角，所述吸盘为一体成型结构，所述固定板3201与吸取板3202若成直角或锐角，在直角或锐角容易出现堆积，降低合格率，所述斜台3205与固定板3201和吸取板3202所成角度为钝角，有利于提高合格率，所述吸取板3202以及吸盘侧板3203的侧边设置为楔形结构，有利于吸取和分离硅片时硅片的导入和导出。

所述气体通道包括固设于吸盘侧面且开口朝前的通气槽32022，所述通气槽32022前侧连通设置有封腔32021，所述封腔32021宽度大于通气槽32022的宽度，所述封腔32021上设有用于密封的封板3204，所述封板3204深度与封腔32021深度一致，从而使所述封板3204安装后与所述吸盘侧面处于同一平面，避免影响硅片的吸取，所述通气槽32022由位于吸取板3202的通气槽一以及位于吸盘侧板3203的通气槽二构成，通气槽一与两组通气槽二形成F型结构，通气槽一分别与进气孔32011和通气槽二连通，所述通气槽32022设置有贯穿的通孔32023，本实施例中，通孔32023数量设置有五组，其中两组通孔32023分别固设在通气槽二上，其余三组通孔32023固设在通气槽一，吸取槽32024与通气槽32022位于吸盘相对的侧面上，所述吸取槽32024的宽度与通孔32023直径相配，所述吸取槽32024由位于吸取板3202的吸取槽一以及位于吸盘侧板3203的吸取槽二构成，吸取槽一和吸取槽二分别与通气槽一和通气槽二位置相对，两组通孔32023分别位于两组吸取槽二内且与吸取槽二连通，所述吸取槽一长度小于通气槽一长度，三组通孔32023均匀分布在吸取槽一内，即通气槽32022通过通孔32023与吸取槽32024连通，所述通孔32023的分布位置增加了吸盘与硅片的接触面积，同时使吸取硅片的力保持均衡，避免硅片部分受力或受力不均匀，提高对硅片的吸取效率。

本实施例二：

如图3-4所示，本实施例与实施例一的区别在于，实施例一中，所述侧板包括两组吸盘侧板3203，每组吸盘侧板3203固设有通气槽二和吸取槽二，吸取板3202固设有通气槽一和吸取槽一，所述通气槽一和通气槽二形成通气槽32022，所述吸取槽一和吸取槽二形成吸取槽32024，两组通孔32023分别贯穿两组吸盘侧板3203上的通气槽二和吸取槽二，其余三组贯穿通气槽一和吸取槽一，而本实施例中，所述侧板包括一组吸盘侧板3203。

本实施例中，气体通道包括第二通气槽33022，所述第二通气槽33022由位于吸取板3202的通气槽三以及位于吸盘侧板3203的通气槽四构成，通气槽三分别与进气孔32011和通气槽四连通，所述第二通气槽33022设置有贯穿的第二通孔33023，本实施例中，第二通孔33023数量设置有五组，其中一组第二通孔33023固设在通气槽四上，其余四组第二通孔33023固设在通气槽三，所述第二吸取槽33024的宽度与第二通孔33023直径相配，所述第二吸取槽33024由位于吸取板3202的吸取槽三以及位于吸盘侧板3203的吸取槽四构成，吸取槽三和吸取槽四分别与通气槽三和通气槽四位置相对，第二通孔33023位于吸取槽四内且与吸取槽四连通，所述吸取槽三长度小于通气槽三长度，四组第二通孔33023均匀分布在吸取槽三内，所述第二通孔33023的分布位置增加了吸盘与硅片的接触面积，同时使吸取硅片的力保持均衡，避免硅片部分受力或受力不均匀，提高对硅片的吸取效率。

此外，在其他实施例中，侧板的吸盘侧板3203数量可包括三组、四组或更多。

显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都应当属于本实用新型保护的范围。

Claims (10)

1.一种新型硅片吸盘,其特征在于：包括固定板、吸取板和侧板，所述固定板设置有进气孔，吸取板以及侧板上固设有吸取槽，进气孔与吸取槽间连通有气体通道，吸盘通过吸取槽吸取硅片。

2.根据权利要求1所述的一种新型硅片吸盘，其特征在于：所述侧板包括两组吸盘侧板，固定板、吸取板以及两组吸盘侧板使吸盘形成F型结构。

3.根据权利要求1所述的一种新型硅片吸盘，其特征在于：所述固定板上固设有矩形分布的连接孔，通过连接孔将若干吸盘固设连接。

4.根据权利要求1所述的一种新型硅片吸盘，其特征在于：相邻的所述吸取板间形成插槽，硅片吸取进入插槽内，所述固定板的厚度大于吸取板以及侧板的厚度，插槽的间隙宽度大于两组硅片的厚度。

5.根据权利要求1所述的一种新型硅片吸盘，其特征在于：所述吸取板以及侧板的侧边设置为楔形结构，便于硅片的导入和导出。

6.根据权利要求1所述的一种新型硅片吸盘，其特征在于：所述气体通道包括通气槽，所述通气槽连通设置有封腔，所述封腔上设有封板，所述通气槽设置有贯穿的通孔，通气槽与进气孔连通，通气槽通过通孔与吸取槽连通。

7.根据权利要求6所述的一种新型硅片吸盘，其特征在于：所述通气槽由位于吸取板的通气槽一以及位于吸盘侧板的通气槽二构成，通气槽一与两组通气槽二形成F型结构，通气槽一分别与进气孔和通气槽二连通，通孔数量设置有五组，两组通孔分别固设在通气槽二上，其余三组通孔固设在通气槽一，吸取槽由位于吸取板的吸取槽一以及位于吸盘侧板的吸取槽二构成，两组通孔分别位于两组吸取槽二内且与吸取槽二连通，三组通孔分布在吸取槽一内，通气槽一与两组通气槽二分别通过通孔和吸取槽一与吸取槽二连通。

8.根据权利要求1所述的一种新型硅片吸盘，其特征在于：所述侧板包括一组吸盘侧板，气体通道包括第二通气槽，所述第二通气槽由位于吸取板的通气槽三以及位于吸盘侧板的通气槽四构成，通气槽三分别与进气孔和通气槽四连通，第二通孔数量设置五组，一组第二通孔固设在通气槽四上，其余四组第二通孔固设在通气槽三，第二吸取槽由位于吸取板的吸取槽三以及位于吸盘侧板的吸取槽四构成，第二通孔位于吸取槽四内且与吸取槽四连通，通气槽三与通气槽四分别通过第二通孔和吸取槽三与吸取槽四连通。

9.根据权利要求1所述的一种新型硅片吸盘，其特征在于：所述固定板与吸取板通过斜台平滑连接。

10.根据权利要求1所述的一种新型硅片吸盘，其特征在于：所述进气孔中心线与固定板垂直连接，进气孔位于四组连接孔形成矩形的中心位置，连接孔的中心线与进气孔中心线平行。

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