CN211970996U - 扩散陶瓷吸盘 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及一种真空吸盘设备领域，尤其涉及一种扩散陶瓷吸盘，包括吸盘和固定板，所述吸盘和固定板上都设置有固定孔，所述吸盘通过固定孔固定在固定板上，所述吸盘上设置有吸附腔体，所述吸附腔体上设置有真空孔，所述吸盘底部为凹槽结构，所述凹槽结构包括第一凹槽和第二凹槽，所述第二凹槽位于第一凹槽内，所述第一凹槽上设置有挡板，所述第一凹槽与真空孔相通形成真空管路，所述固定板与吸盘接触的一面上设置有分片管道，通过把吸附真空管路与硅片分离管路集成在一个整体内部，使得硅片的吸附和分离同时进行，达到了提高工作效率的效果。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种真空吸盘设备领域，尤其涉及一种扩散陶瓷吸盘。
背景技术
现有技术中，通过真空发生器产生真空对硅片进行吸附，对硅片的分离采用另一个装置实现，两种技术不能同时进行，浪费人力物力，降低了工作效率。
实用新型内容
本实用新型解决的技术问题是提供一种扩散陶瓷吸盘，吸附真空管路与硅片分离管路集成在一个整体内部，使得硅片的吸附和分离同时进行，达到了提高工作效率的效果。
本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：一种扩散陶瓷吸盘，包括吸盘和固定板，所述吸盘和固定板上都设置有固定孔，所述吸盘通过固定孔固定在固定板上，所述吸盘上设置有吸附腔体，所述吸附腔体上设置有真空孔，所述吸盘底部为凹槽结构，所述凹槽结构包括第一凹槽和第二凹槽，所述第二凹槽位于第一凹槽内，所述第一凹槽上设置有挡板，所述第一凹槽与真空孔相通形成真空管路，所述固定板与吸盘接触的一面上设置有分片管道。
进一步的是：所述吸盘远离固定板一端具有硅片导向角。
进一步的是：所述吸盘的材料可为陶瓷或PEEK。
进一步的是：所述吸盘上设置的吸附腔体为多个。
本实用新型的有益效果是：通过把吸附真空管路与硅片分离管路集成在一个整体内部，使得硅片的吸附和分离同时进行，达到了提高工作效率的效果。
附图说明
图1为扩散陶瓷吸盘正式图。
图2为扩散陶瓷吸盘侧视图。
图3为扩散陶瓷吸盘后视图。
图4为扩散陶瓷吸盘俯视图。
图中标记为：吸盘1、第一凹槽11、第二凹槽12、固定板2、分片管道21、固定孔3、吸附腔体4、真空孔5、硅片导向角6。
具体实施方式
下面结合附图和具体实施方式对本实用新型进一步说明。
如图1到4所示，一种扩散陶瓷吸盘，包括吸盘1和固定板2，所述吸盘1和固定板2上都设置有固定孔3，所述吸盘1通过固定孔3固定在固定板2上，所述吸盘1上设置有吸附腔体4，所述吸附腔体4上设置有真空孔5，所述吸盘1底部为凹槽结构，所述凹槽结构包括第一凹槽11和第二凹槽12，所述第二凹槽12位于第一凹槽11内，所述第一凹槽11上设置有挡板13，所述第一凹槽11与真空孔5相通形成真空管路，所述固定板2与吸盘1接触一面上设置有分片管道21。
在扩散陶瓷吸盘工作时，通过对吸附腔体4上设置的真空孔5对吸附腔体4内的空气进行抽空，使得吸附腔体4内形成真空腔体实现对硅片的吸附，同时压缩空气进入固定板2与吸盘1接触一面上设置的分片管道21内实现对硅片进行分片处理，通过把吸附真空管路与硅片分离管路集成在一个整体内部，使得硅片的吸附和分离同时进行，达到了提高工作效率的效果。
在此基础上，如图2所示，所述吸盘1远离固定板2一端具有硅片导向角6，具有导向角6的扩散陶瓷吸盘在使用时更方便，达到了提高工作效率的效果。
在此基础上，如图1所示，所述吸盘1的材料可为陶瓷或PEEK，陶瓷或PEEK是一种具有耐高温、易加工和高机械强度等优异特性的材料，使得吸盘1的使用寿命更高。
在此基础上，如图1所示，所述吸盘1上设置的吸附腔体4为多个，多个吸附腔体4在对硅片进行吸附时，效果更好。
以上所述的具体实施例，对本实用新型的目的、技术方案和有益效果进行了进一步详细说明，所应理解的是，以上所述仅为本实用新型的具体实施例而已，并不用于限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
Claims (4)
1.一种扩散陶瓷吸盘，包括吸盘(1)和固定板(2)，所述吸盘(1)和固定板(2)上都设置有固定孔(3)，所述吸盘(1)通过固定孔(3)固定在固定板(2)上，其特征在于：所述吸盘(1)上设置有吸附腔体(4)，所述吸附腔体(4)上设置有真空孔(5)，所述吸盘(1)底部为凹槽结构，所述凹槽结构包括第一凹槽(11)和第二凹槽(12)，所述第二凹槽(12)位于第一凹槽(11)内，所述第一凹槽(11)上设置有挡板(13)，所述第一凹槽(11)与真空孔(5)相通形成真空管路，所述固定板(2)与吸盘(1)接触一面上设置有分片管道(21)。
2.如权利要求1所述的扩散陶瓷吸盘，其特征在于：所述吸盘(1)远离固定板(2)一端具有硅片导向角(6)。
3.如权利要求1所述的扩散陶瓷吸盘，其特征在于：所述吸盘(1)的材料可为陶瓷或PEEK。
4.如权利要求1所述的扩散陶瓷吸盘，其特征在于：所述吸盘(1)上设置的吸附腔体(4)为多个。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201922419949.6U CN211970996U (zh) | 2019-12-27 | 2019-12-27 | 扩散陶瓷吸盘 |
Applications Claiming Priority (1)
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| CN201922419949.6U CN211970996U (zh) | 2019-12-27 | 2019-12-27 | 扩散陶瓷吸盘 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
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| CN211970996U true CN211970996U (zh) | 2020-11-20 |
Family
ID=73369854
Family Applications (1)
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| CN201922419949.6U Active CN211970996U (zh) | 2019-12-27 | 2019-12-27 | 扩散陶瓷吸盘 |
Country Status (1)
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| CN (1) | CN211970996U (zh) |
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2019
- 2019-12-27 CN CN201922419949.6U patent/CN211970996U/zh active Active
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