CN210402007U - 涂胶显影机吸盘治具 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种涂胶显影机吸盘治具，包括真空吸盘装置，还包括基板载具、目标载片，所述的基板载具上侧面为承载面、下侧面为吸附面，所述的目标载片设于基板载具承载面上，所述基板载具上设有多个贯穿承载面、下侧面的通孔，所述的真空吸盘装置与基板载具吸附面贴合；所述的基板载具面积大于目标载片面积，所述的通孔分布在目标载片与基板载具的接触面内；所述的基板载具为圆形片，所述的目标载片为方形片；所述的基板载具为直径199.7mm、厚度0.7mm的圆形玻璃片，所述目标载片与基板载具材质相同。本实用新型设计简单，制作成本低，拆装灵活，治具重复利用率高，降低生产成本，解决了实际生产问题。
Description
技术领域
本实用新型涉及玻璃片或水晶涂布装置技术领域，尤其涉及一种涂胶显影机吸盘治具。
背景技术
现有半导体黄光制程中使用的光刻机与涂胶显影机是根据直径为200mm的圆片设计的轨道、吸盘以及防护装置。而在实际研发产品时，根据客户和验证试验的需要，需对不同尺寸的方片进行涂胶显影，因此需要解决不同尺寸规格的方片在涂胶显影机上的适用问题。
发明内容
本实用新型是为了解决不同尺寸规格的方片在涂胶显影机上的适用问题，提供一种设计简单，制作成本低，拆装灵活，解决了实际生产问题的涂胶显影机吸盘治具。
为了实现上述目的，本实用新型采用以下技术方案，涂胶显影机吸盘治具，包括真空吸盘装置，还包括基板载具、目标载片，所述的基板载具上侧面为承载面、下侧面为吸附面，所述的目标载片设于基板载具承载面上，所述基板载具上设有多个贯穿承载面、下侧面的通孔，所述的真空吸盘装置与基板载具吸附面贴合。本方案真空吸盘装置工作时，吸盘抽真空，从而使得基板载具被压紧在吸盘上，而目标载片与通孔接触处也可以产生负压，从而使得目标载片可以压紧在基板载具上，解决了在不改变涂胶显影机的轨道、吸盘以及防护装置的前提下，涂胶显影机可以对原本不适用的目标载片进行涂胶显影；通孔直径一般可以为4mm，通孔可采用激光打孔后，再通过腐蚀工艺使得通孔内的基板载具材料掉落。
作为优选，所述的基板载具面积大于目标载片面积，所述的通孔分布在目标载片与基板载具的接触面内。
作为优选，所述的基板载具为圆形片，所述的目标载片为方形片。
作为优选，所述的基板载具为直径199.7mm、厚度0.7mm的圆形玻璃片，所述目标载片与基板载具材质相同。基板载具与目标载片材质相同，二者的导热性及其他物理性质较为匹配，产品加工质量好。
本方案的原理是：在工艺过程中，将平面度较高的直径200打孔圆片与90*90方片对准放置，涂胶时下方真空吸盘中心的真空吸力通过圆片中心的小孔传递到方片上，实现方片与正常圆片相似的涂胶效果，解决方片与涂胶模具尺寸不合问题。
本方案能够有效的解决方片旋涂模具不合问题，且对方片旋涂四角不均匀问题有很大的改善效果，治具重复利用率高，方便作业员操作。方案对于大部分不同规格尺寸的小片都能改良使用，适用性较高。
因此，本实用新型具有如下有益效果：设计简单，制作成本低，拆装灵活，治具重复利用率高，降低生产成本，解决了实际生产问题。
附图说明
图1是本实用新型的一种结构示意图。
图中：1、真空吸盘装置2、基板载具3、目标载片4、通孔。
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型做进一步的描述。
如图1所示，涂胶显影机吸盘治具，包括真空吸盘装置1，还包括基板载具2、目标载片3，基板载具2上侧面为承载面、下侧面为吸附面，目标载片3设于基板载具2承载面上，基板载具2上设有多个贯穿承载面、下侧面的通孔4，真空吸盘装置1与基板载具2吸附面贴合；
基板载具2面积大于目标载片3面积，通孔4分布在目标载片3与基板载具2的接触面内；
基板载具2为圆形片，目标载片3为方形片；
基板载具2为直径199.7mm、厚度0.7mm的圆形玻璃片，目标载片3与基板载具2材质相同。
具体使用过程是，本方案在工艺过程中，将平面度较高的直径199.7mm的基板载具2圆片的通孔4与90*90目标载片3方片对准放置，涂胶时下方真空吸盘装置1的真空吸力通过基板载具2中心的通孔4传递到目标载片3方片上，实现目标载片3方片与正常圆片相似的涂胶效果，解决目标载片3方片与涂胶模具尺寸不合问题。
Claims (4)
1.一种涂胶显影机吸盘治具，包括真空吸盘装置，其特征在于，还包括基板载具、目标载片，所述的基板载具上侧面为承载面、下侧面为吸附面，所述的目标载片设于基板载具承载面上，所述基板载具上设有多个贯穿承载面、下侧面的通孔，所述的真空吸盘装置与基板载具吸附面贴合。
2.根据权利要求1所述的涂胶显影机吸盘治具，其特征是，所述的基板载具面积大于目标载片面积，所述的通孔分布在目标载片与基板载具的接触面内。
3.根据权利要求1或2所述的涂胶显影机吸盘治具，其特征是，所述的基板载具为圆形片，所述的目标载片为方形片。
4.根据权利要求1所述的涂胶显影机吸盘治具，其特征是，所述的基板载具为直径199.7mm、厚度0.7mm的圆形玻璃片，所述目标载片与基板载具材质相同。
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| CN201921841294.5U CN210402007U (zh) | 2019-10-30 | 2019-10-30 | 涂胶显影机吸盘治具 |
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Publications (1)
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Family Applications (1)
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Country Status (1)
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| CN (1) | CN210402007U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN111554603A (zh) * | 2020-06-02 | 2020-08-18 | 江西维易尔半导体设备有限公司 | 一种带孔方形硅片加工传送系统 |
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2019
- 2019-10-30 CN CN201921841294.5U patent/CN210402007U/zh active Active
Cited By (2)
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| CN111554603A (zh) * | 2020-06-02 | 2020-08-18 | 江西维易尔半导体设备有限公司 | 一种带孔方形硅片加工传送系统 |
| CN111554603B (zh) * | 2020-06-02 | 2023-04-28 | 江西维易尔半导体设备有限公司 | 一种带孔方形硅片加工传送系统 |
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