CN214411146U - 转运晶圆用的晶圆盒 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种转运晶圆用的晶圆盒，包括：盒体，具有前侧开口和后侧开口，盒体的相对两侧形成有供卡入晶圆的复数个卡槽，盒体的内侧设有定位槽；设于盒体内并靠近后侧开口处的限位杆，限位杆可对晶圆进行限位以防止晶圆自后侧开口处滑出；可转动的安装于盒体的前侧开口处的挡杆，挡杆可转动至位于盒体的外侧以便于自前侧开口处取放晶圆，挡杆还可转动至位于盒体的内侧并卡入对应的定位槽内以对晶圆进行限位从而防止晶圆自前侧开口处滑出。本实用新型利用限位杆和挡杆实现晶圆的前后两侧的限位，能够阻挡晶圆而避免晶圆发生滑出掉落的现象，杜绝了晶圆因拿取或运输过程中掉落造成碎片的风险。

Description

转运晶圆用的晶圆盒

技术领域

本实用新型涉及半导体技术领域，特指一种转运晶圆用的晶圆盒。

背景技术

晶圆(Wafer)是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆，在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能的芯片产品。

晶圆在工厂加工过程中，需要进行转运，现有的晶圆转运用的晶圆盒是两侧开口的结构，在其中的一侧开口处有限位设计，在搬运过程中，需要让另一侧开口朝上以避免晶圆滑出掉落，但由于搬运过程中一些意外因素的影响，使得晶圆容易发生自开口侧滑出掉落的风险，从而使得晶圆被摔碎，造成无法挽回的损失。

实用新型内容

本实用新型的目的在于克服现有技术的缺陷，提供一种转运晶圆用的晶圆盒，解决现有的晶圆在转运过程中易发生滑出掉落的风险进而造成无法挽回的损失的问题。

实现上述目的的技术方案是：

本实用新型提供了一种转运晶圆用的晶圆盒，包括：

盒体，具有前侧开口和后侧开口，所述盒体的相对两侧形成有供卡入晶圆的复数个卡槽，所述盒体的内侧靠近所述前侧开口处设有定位槽；

设于所述盒体内并靠近所述后侧开口处的限位杆，所述限位杆可对所述晶圆进行限位以防止所述晶圆自所述后侧开口处滑出；以及

可转动的安装于所述盒体的前侧开口处的挡杆，所述挡杆可转动至位于所述盒体的外侧以便于自所述前侧开口处取放晶圆，所述挡杆还可转动至位于所述盒体的内侧并卡入对应的定位槽内以对所述晶圆进行限位从而防止所述晶圆自所述前侧开口处滑出。

本实用新型的晶圆盒在后侧开口处设置限位杆，在前侧开口处设置挡杆，利用限位杆和挡杆实现晶圆的前后两侧的限位，能够阻挡晶圆而避免晶圆发生滑出掉落的现象，杜绝了晶圆因拿取或运输过程中掉落造成碎片的风险。挡杆可转动的连接在盒体上，通过转动挡杆可使得挡杆位于盒体的外侧，这样挡杆就不会阻挡前侧开口，可实现从前侧开口取放晶圆，在取放好晶圆后再将挡杆转动至限位状态，挡杆的转动操作简单方便。

本实用新型转运晶圆用的晶圆盒的进一步改进在于，所述盒体包括相对设置的侧板；

所述挡杆卡套于对应的侧板上且所述挡杆的顶部和底部均可转动的连接在所述侧板上；

所述定位槽设于所述侧板的底部，且所述定位槽呈倾斜状设置；

所述挡杆位于顶部的可转动连接处设有支撑弹簧，通过所述支撑弹簧支撑所述挡杆的顶部以使得所述挡杆的底部与所述侧板的底部相贴，在所述挡杆转动至所述盒体的内侧时，通过所述支撑弹簧的弹力作用可使得所述挡杆部分卡入所述定位槽内且所述挡杆呈倾斜状设置。

本实用新型转运晶圆用的晶圆盒的进一步改进在于，所述侧板的顶部开设有第一轴孔，底部开设有第二轴孔，所述侧板上的定位槽与所述第二轴孔相连通，且所述定位槽与所述第二轴孔的连接处靠近所述前侧开口设置，所述定位槽远离所述第二轴孔的端部远离所述前侧开口设置。

本实用新型转运晶圆用的晶圆盒的进一步改进在于，所述挡杆包括竖向设置的第一轴段部、与所述第一轴段部垂直连接的第一横向部、与所述第一横向部垂直连接的竖向部、与所述竖向部垂直连接的第二横向部以及所述第二横向部垂直连接的第二轴段部；

所述第一轴段部可转动的插入所述第一轴孔内；

所述第二轴段部可转动的插入所述第二轴孔内；

所述第二横向部可有部分卡入所述定位槽内。

本实用新型转运晶圆用的晶圆盒的进一步改进在于，所述支撑弹簧置于所述第一轴孔内，且所述支撑弹簧的顶部顶撑于所述第一轴段部的端面上。

本实用新型转运晶圆用的晶圆盒的进一步改进在于，所述支撑弹簧置于所述第一轴孔内，且所述支撑弹簧套设于所述第一轴段部，所述支撑弹簧的顶部顶撑于所述第一横向部与所述第一轴段部的连接处。

本实用新型转运晶圆用的晶圆盒的进一步改进在于，所述盒体包括相对设置的侧板，所述侧板的外侧面设有把手，所述把手呈倾斜状设置，所述把手靠近所述前侧开口的一侧的高度低于所述把手靠近所述后侧开口的一侧的高度。

本实用新型转运晶圆用的晶圆盒的进一步改进在于，所述盒体包括相对设置的底板和顶板，所述顶板上设有提手。

本实用新型转运晶圆用的晶圆盒的进一步改进在于，所述盒体包括相对设置的侧板，所述侧板的外侧面设有与所述挡杆相适配的锁槽。

本实用新型转运晶圆用的晶圆盒的进一步改进在于，所述盒体包括相对设置的侧板，所述侧板的内侧面间隔的设置有托板，相邻的两个托板之间形成所述卡槽。

附图说明

图1为本实用新型转运晶圆用的晶圆盒的一侧的侧视图。

图2为本实用新型转运晶圆用的晶圆盒的另一侧的侧视图。

图3为本实用新型转运晶圆用的晶圆盒俯视且透视显出晶圆的结构示意图。

图4为本实用新型转运晶圆用的晶圆盒的挡杆顶部转动连接处的剖视图。

图5为本实用新型转运晶圆用的晶圆盒的挡杆顶部转动连接处的另一实施例的剖视图。

图6为本实用新型转运晶圆用的晶圆盒的侧板的部分仰视图。

图7为本实用新型转运晶圆用的晶圆盒的侧板与挡板连接处的透视图。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步说明。

参阅图1，本实用新型提供了一种转运晶圆用的晶圆盒，用于解决现有的晶圆盒在搬运过程中容易发生晶圆滑出掉落而被摔碎的问题，本实用新型的晶圆盒在前侧开口处安装有可转动调节的挡杆，在晶圆盒内装好晶圆后，将挡杆转动至晶圆盒的内部以让挡杆限位晶圆，可实现在搬运过程中避免晶圆滑出，杜绝了晶圆掉落摔碎的现象发生，可有效的保护晶圆。在晶圆需要从晶圆盒内取出时，可将挡杆转动至晶圆盒的外侧而不阻挡前侧开口，这样就可以自由的从前侧开口处取出晶圆。下面结合附图对本实用新型转运晶圆用的晶圆盒进行说明。

参阅图1，显示了本实用新型转运晶圆用的晶圆盒的一侧的侧视图。参阅图2，显示了本实用新型转运晶圆用的晶圆盒的另一侧的侧视图。下面结合图1和图2，对本实用新型转运晶圆用的晶圆盒进行说明。

如图1和图2所示，本实用新型的转运晶圆用的晶圆盒20包括盒体21、限位杆22以及挡杆23，盒体21具有前侧开口211和后侧开口212，该前侧开口211和后侧开口212相对设置，该盒体21的内部形成有容置空间，用于容置晶圆，盒体21的相对两侧形成有供卡入晶圆的复数个卡槽213，在盒体21两侧的卡槽213相对设置，结合图3所示，晶圆11为圆形的片材，该晶圆11的外周设有支撑环，该支撑环插入到对应的卡槽213内从而将对应的晶圆支撑在盒体21内了。盒体21的内侧靠近前侧开口211处设有定位槽。限位杆22设于盒体21内并靠近后侧开口212处设置，该限位杆22可对晶圆11进行限位一防止晶圆11自后侧开口212处滑出，限位杆22有两个，设于盒体21的相对两侧，结合图1和图3所示，限位杆22的端部与插设在卡槽213内的晶圆11的边缘相靠近，阻挡住了晶圆11向后侧开口212的方向移动，限位杆22呈竖向设置，该限位杆22贯穿各卡槽213，从而对各卡槽213内的晶圆均能够起到限位作用。挡杆23可转动的安装于盒体21的前侧开口211处，该挡杆23可转动至位于盒体21的外侧以便于自前侧开口211处取放晶圆，该挡杆23还可以转动至位于盒体21的内侧并卡入对应的定位槽内以对晶圆进行限位从而防止晶圆自前侧开口211处滑出。结合图3所示，挡杆23转动至盒体21的内侧从而挡在了前侧开口211处，且该挡杆23与晶圆11的边缘相靠近，可阻挡该晶圆11向着前侧开口211的方向移动，从而能够避免晶圆11滑出盒体21外。定位槽的设置可对挡杆23的转动形成限位作用，让挡杆23处于限位状态实现对晶圆的限位功能。

较佳地，挡杆23有两个，设于盒体21的相对两侧。

在本实用新型的一种具体实施方式中，如图1和图3所示，盒体21包括相对设置的侧板214，结合图2所示，挡杆23卡套于对应的侧板214上且该挡杆23的顶部和底部均可转动的连接在侧板214上，结合图6和图7所示，定位槽2141设于该侧板214的底部，该定位槽2141呈倾斜状设置；进一步结合图4所示，挡杆23位于顶部的可转动连接处设有支撑弹簧24，该支撑弹簧24支撑挡杆23的顶部以使得挡杆23的底部与侧板214的底部相贴，在挡杆23转动至盒体21的内侧时，通过支撑弹簧24的弹力作用可使得该挡杆23部分卡入定位槽2141内且该挡杆23呈倾斜状设置。该挡杆23的倾斜状态如图3所示，挡杆23与侧板214连接的端部靠近前侧开口211设置，另一侧远离前侧开口211设置。

定位槽2141的设置，使得挡杆23转动到盒体21的内侧时，能够固定住该挡杆23的位置，让挡杆23处于限位状态，即挡杆23呈倾斜状的支设在晶圆的前侧，可对晶圆起到限位阻挡的作用。定位槽2141设于侧板214的底面上。

进一步地，侧板214的顶部开设有第一轴孔2142，底部开设有第二轴孔2143，侧板214上的定位槽2141与第二轴孔2143相连通，该定位槽2141的深度小于第二轴孔2143的深度，定位槽2141的深度大于挡杆23的直径的一半即可。定位槽2141与第二轴孔2143的连接处靠近前侧开口211设置，该定位槽2141远离第二轴孔的端部远离前侧开口211设置。

再进一步地，结合图2所示，挡杆23包括竖向设置的第一轴段部231、与第一轴段部231垂直连接的第一横向部232、与第一横向部232垂直连接的竖向部233、与竖向部233垂直连接的第二横向部234以及与第二横向部234垂直连接的第二轴段部235，其中的第一横向部232、竖向部233以及第二横向部234连接形成C型状，第一轴段部231和第二轴段部235连接在第一横向部232和第二横向部234的端部处。结合图4和图7所示，安装挡杆23时，第一轴段部234可转动的插入到第一轴孔2142内，第二轴段部235可转动的插入到第二轴孔2143内，第二横向部234与侧板214的底部相贴，该第二横向部234可有部分卡入到定位槽2141内。

由于支撑弹簧24的设置，在需要转动挡杆23时，需向下按动挡杆23以挤压支撑弹簧24，让挡杆23的第二横向部234与侧板214的底部之间有一定的间隙，从而可转动该挡杆23。

在一较佳实施方式中，如图4所示，支撑弹簧24置于第一轴孔2142内，且该支撑弹簧24的顶部顶撑于第一轴段部231的端面上。该支撑弹簧24对第一轴段部231施加向上的弹力，而让第一横向部232与侧板214的顶部之间有间隙。

在另一较佳实施方式中，如图5所示，支撑弹簧24置于第一轴孔2142内，且该支撑弹簧24套设在第一轴段部231上，支撑弹簧24的顶部顶撑于第一横向部232与第一轴段部231的连接处，该支撑弹簧24对第一横向部232施加向上的弹力而让该第一横向部232与侧板214的顶部之间有间隙。

在本实用新型的一种具体实施方式中，如图2所示，盒体21包括相对设置的侧板214，该侧板214的外侧面设有把手25，该把手25呈倾斜状设置，该把手25靠近前侧开口211的一侧的高度低于该把手25靠近后侧开口212的一侧的高度，这样通过把手25抬运盒体21时，可使得前侧开口211朝上倾斜设置，也即前侧开口211的高度高于后侧开口212的高度，这样能够让盒体21内部的晶圆抵靠在限位杆22上，可在搬运过程中避免晶圆向着前侧开口211的方向移动。把手25呈U型，可转动的安装在一安装板上，该安装板倾斜的安装在侧板214上。

在本实用新型的一种具体实施方式中，如图1和图3所示，盒体21包括相对设置的底板215和顶板216，该底板215和顶板216的两侧设置有侧板214，侧板214连接在底板215和顶板216的两端侧处，在顶板216的顶部设有提手26，提手26可便于竖向方向上提该盒体21。提手26有两个，且形状呈U型，可转动的安装在顶板216上。

在本实用新型的一种具体实施方式中，如图2和图6所示，盒体21包括相对设置的侧板214，该侧板214的外侧面设有与挡杆23相适配的锁槽2144，该锁槽2144呈竖向设置且贯通侧板214的顶部和底部，挡杆23转动至盒体21的外侧时，该挡杆23可卡入到该锁槽2144内。较佳地，挡杆23的竖向部233可卡入到锁槽2144内。

在本实用新型的一种具体实施方式中，如图1所示，盒体21包括相对设置的侧板214，该侧板214的内侧面间隔的设有托板217，相邻的两个托板217之间形成卡槽213。在一较佳的实施方式中，托板217固定连接在侧板214上，利用托板217来承托对应的晶圆。另一较佳实施方式中，托板217与侧板214一体成型。又一较佳实施方式中，可在侧板214的内侧面开槽从而槽的壁板即形成托板217。

以上结合附图实施例对本实用新型进行了详细说明，本领域中普通技术人员可根据上述说明对本实用新型做出种种变化例。因而，实施例中的某些细节不应构成对本实用新型的限定，本实用新型将以所附权利要求书界定的范围作为本实用新型的保护范围。

Claims (10)

1.一种转运晶圆用的晶圆盒，其特征在于，包括：

盒体，具有前侧开口和后侧开口，所述盒体的相对两侧形成有供卡入晶圆的复数个卡槽，所述盒体的内侧靠近所述前侧开口处设有定位槽；

设于所述盒体内并靠近所述后侧开口处的限位杆，所述限位杆可对所述晶圆进行限位以防止所述晶圆自所述后侧开口处滑出；以及

可转动的安装于所述盒体的前侧开口处的挡杆，所述挡杆可转动至位于所述盒体的外侧以便于自所述前侧开口处取放晶圆，所述挡杆还可转动至位于所述盒体的内侧并卡入对应的定位槽内以对所述晶圆进行限位从而防止所述晶圆自所述前侧开口处滑出。

2.如权利要求1所述的转运晶圆用的晶圆盒，其特征在于，所述盒体包括相对设置的侧板；

所述挡杆卡套于对应的侧板上且所述挡杆的顶部和底部均可转动的连接在所述侧板上；

所述定位槽设于所述侧板的底部，且所述定位槽呈倾斜状设置；

所述挡杆位于顶部的可转动连接处设有支撑弹簧，通过所述支撑弹簧支撑所述挡杆的顶部以使得所述挡杆的底部与所述侧板的底部相贴，在所述挡杆转动至所述盒体的内侧时，通过所述支撑弹簧的弹力作用可使得所述挡杆部分卡入所述定位槽内且所述挡杆呈倾斜状设置。

3.如权利要求2所述的转运晶圆用的晶圆盒，其特征在于，所述侧板的顶部开设有第一轴孔，底部开设有第二轴孔，所述侧板上的定位槽与所述第二轴孔相连通，且所述定位槽与所述第二轴孔的连接处靠近所述前侧开口设置，所述定位槽远离所述第二轴孔的端部远离所述前侧开口设置。

4.如权利要求3所述的转运晶圆用的晶圆盒，其特征在于，所述挡杆包括竖向设置的第一轴段部、与所述第一轴段部垂直连接的第一横向部、与所述第一横向部垂直连接的竖向部、与所述竖向部垂直连接的第二横向部以及所述第二横向部垂直连接的第二轴段部；

所述第一轴段部可转动的插入所述第一轴孔内；

所述第二轴段部可转动的插入所述第二轴孔内；

所述第二横向部可有部分卡入所述定位槽内。

5.如权利要求4所述的转运晶圆用的晶圆盒，其特征在于，所述支撑弹簧置于所述第一轴孔内，且所述支撑弹簧的顶部顶撑于所述第一轴段部的端面上。

6.如权利要求4所述的转运晶圆用的晶圆盒，其特征在于，所述支撑弹簧置于所述第一轴孔内，且所述支撑弹簧套设于所述第一轴段部，所述支撑弹簧的顶部顶撑于所述第一横向部与所述第一轴段部的连接处。

7.如权利要求1所述的转运晶圆用的晶圆盒，其特征在于，所述盒体包括相对设置的侧板，所述侧板的外侧面设有把手，所述把手呈倾斜状设置，所述把手靠近所述前侧开口的一侧的高度低于所述把手靠近所述后侧开口的一侧的高度。

8.如权利要求1所述的转运晶圆用的晶圆盒，其特征在于，所述盒体包括相对设置的底板和顶板，所述顶板上设有提手。

9.如权利要求1所述的转运晶圆用的晶圆盒，其特征在于，所述盒体包括相对设置的侧板，所述侧板的外侧面设有与所述挡杆相适配的锁槽。

10.如权利要求1所述的转运晶圆用的晶圆盒，其特征在于，所述盒体包括相对设置的侧板，所述侧板的内侧面间隔的设置有托板，相邻的两个托板之间形成所述卡槽。

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