CN116754574A - 一种晶圆缺陷自动检测设备 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种晶圆缺陷自动检测设备，包括台体，所述台体的顶部外壁固定连接有第一固定架，所述第一固定架的顶部固定连接有支撑架，所述支撑架的顶部和一侧分别设置有显示屏和控制面板，所述台体的顶部设置有晶圆盒，所述晶圆盒的内部设置有晶圆本体，所述台体的顶部外壁固定连接有安装架，所述安装架的顶部内壁固定连接有图像采集器。本发明中的图像采集器包括了多组激光发射器和一组LED灯组，实现了对灯源和激光的综合，既保证了对晶圆本体缺陷的全面检测，也保证了对特定种类的缺陷的检测能力，同时激光发射器数目为多组，且多组激光发射器的波长均不同，从而提高了激光发射器的波长与晶圆本体缺陷之间的匹配度，提高了检测能力。
Description
技术领域
本发明涉及晶圆缺陷检测领域，具体来说，涉及一种晶圆缺陷自动检测设备。
背景技术
晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆，在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能的IC产品。
在对晶圆制造过程中采用“检查和观察”的处理过程，同时通过利用缺陷图，在实施重新检测过程之后，明确地指出存在缺陷，再对各个缺陷位置实施更仔细的观察过程，例如，利用扫描电子显微镜产生相对高分辨率的图像。然后，对缺陷图像进行分析以确定缺陷的性质，例如不良图形、颗粒或划痕，即完成了对一组晶圆的缺陷检测工作。然而，现有的检测设备通常利用灯源或激光对被检查晶片进行扫描。使用灯源的缺陷检测设备的波长范围广泛，能够对晶圆上的缺陷进行更加全面的检测。使用激光的缺陷检测设备光强度高，对于特定种类的缺陷的检测能力要高于灯源的检测能力，但波长不可改变，只能使用单一波长，因此具有一定的局限性，不能满足人们的使用需求。因此，亟需一种晶圆缺陷自动检测设备来解决上述问题。
发明内容
针对相关技术中的问题，本发明提出一种晶圆缺陷自动检测设备，以克服现有相关技术所存在的上述技术问题。
本发明的技术方案是这样实现的：
一种晶圆缺陷自动检测设备，包括台体，所述台体的顶部外壁固定连接有第一固定架，所述第一固定架的顶部固定连接有支撑架，所述支撑架的顶部和一侧分别设置有显示屏和控制面板；
所述台体的顶部设置有晶圆盒，所述晶圆盒的内部设置有晶圆本体，所述台体的顶部外壁固定连接有安装架，所述安装架的顶部内壁固定连接有图像采集器；
所述图像采集器的下方设置有承载板，所述承载板的横截面呈Y型，一组所述晶圆本体放置于所述承载板的顶部。
进一步地，所述晶圆盒的两侧内壁均开设有滑道，所述滑道内插接有托架，所述托架的四个拐角均固定连接有延伸板，所述延伸板的一侧固定连接有托板，所述托板的横截面呈圆环型，所述托板的中部设置有圆板，所述圆板的圆周外壁固定连接有加强杆，所述加强杆远离所述圆板的一端与所述托板固定连接，所述加强杆的两侧外壁均开设有等距离分布的弧形槽，所述晶圆本体放置于所述托板的顶部；
所述晶圆盒的一侧设置有用于防止所述托架滑出的限位组件。
进一步地，所述台体的顶部外壁固定连接有定位块，所述定位块的顶部开设有卡槽，所述晶圆盒的两侧外壁均固定连接有卡块，所述卡块与所述卡槽相配合，所述卡块包括T型部和直角三角形部。
进一步地，所述晶圆盒的顶部外壁开设有椭圆槽，所述椭圆槽的圆周内壁转动连接有第二把手。
进一步地，所述限位组件包括固定连接在所述台体顶部外壁的定位座，所述定位座的底部内壁固定连接有螺旋杆，所述螺旋杆的圆周外壁啮合有螺旋轮，所述晶圆盒的一侧外壁固定连接有轴承座，所述轴承座的圆周内壁固定连接有第二连接柱，所述第二连接柱的底部开设有圆孔，所述螺旋轮固定连接在所述圆孔的内壁上，所述第二连接柱的顶部外壁固定连接有第一把手，所述第二连接柱的圆周外壁固定连接有连接架，所述连接架的一端固定连接有挡柱。
进一步地，所述晶圆盒的一侧外壁固定连接有固定环，所述固定环的圆周内壁固定连接有弹簧，所述弹簧远离所述固定环圆周内壁的一端固定连接在所述第二连接柱的圆周外壁上。
进一步地，所述台体的底部内壁固定连接有第二电机，所述第二电机的输出端固定连接有主动齿轮，所述主动齿轮啮合有从动齿轮，所述从动齿轮的圆周内壁固定连接有转动柱，所述转动柱的一端固定连接有转动板，所述台体的顶部开设有圆形槽，所述转动板位于所述圆形槽的中部。
进一步地，所述转动板的顶部外壁固定连接有第三固定架，所述第三固定架的一侧外壁固定连接有第三电机，所述第三电机的输出端固定连接有第二螺纹丝杆，所述第二螺纹丝杆的圆周外壁啮合有第二螺纹套筒，所述第二螺纹套筒的顶部外壁固定连接有竖柱，所述竖柱的一端固定连接有滑块，所述第三固定架的顶部外壁开设有第二通槽，所述滑块与所述第二通槽滑动连接。
进一步地，所述滑块的顶部外壁固定连接有第二固定架，所述第二固定架的顶部外壁固定连接有第一电机，所述第一电机的输出端固定连接有第一螺纹丝杆，所述第一螺纹丝杆的圆周外壁啮合有第一螺纹套筒，所述第一螺纹套筒的一侧外壁固定连接有第一连接柱，所述第二固定架的一侧外壁开设有第一通槽，所述第一连接柱的一端从所述第一通槽的内部穿过，所述第一连接柱的圆周外壁固定连接有限位块，所述限位块的一侧外壁与所述第二固定架的一侧外壁相接触。
进一步地，所述第一螺纹套筒的一侧外壁固定连接有安装座，所述安装座的一侧外壁固定连接有电动推杆，所述承载板与所述电动推杆固定连接。
本发明的有益效果：
本发明提供的一种晶圆缺陷自动检测设备，通过设置的图像采集器，该图像采集器包括了多组激光发射器和一组LED灯组，实现了对灯源和激光的综合，既保证了对晶圆本体缺陷的全面检测，也保证了对特定种类的缺陷的检测能力，同时激光发射器数目为多组，且多组激光发射器的波长均不同，从而有效的提高了激光发射器的波长与晶圆本体缺陷之间的匹配度，进而提高了检测能力，同时通过LED灯源光线对待检测晶圆的表面和内部的缺陷进行检测，无需对待检测晶圆进行破坏性检测，以使通过检测的晶圆能够进入到下一工序中继续加工，满足了人们的使用需求。
本发明提供的一种晶圆缺陷自动检测设备，通过设置的晶圆盒和限位组件，在工作人员需要对晶圆本体进行检测时，可以首先手提第二把手将装有晶圆本体的晶圆盒移动至台体的顶部，随后将固定连接在晶圆盒两侧的卡块对准开设在定位块顶部的卡槽，实现了晶圆盒的精确卡接安装，在此过程中通过卡块一侧的直角三角形部可以加快工作人员的对准效率；
在工作人员将晶圆盒安装在台体顶部前，挡柱的圆周外壁与托架的一侧外壁相接触，同时与第二连接柱固定连接的弹簧会处于初始状态，使得挡柱能够对托架起到限位固定的作用，避免工作人员在转运晶圆盒的过程中出现晶圆本体滑出的情况，随后，随着晶圆盒安装到位时，第二连接柱也会一同插入至定位座内部，在第二连接柱插入定位座内部的过程中固定在圆孔内壁的螺旋轮会与螺旋杆相啮合，因此随着第二连接柱的不断插入可以使其发生自转，在第二连接柱自转做圆周运动的过程中会带动挡柱一同转动，从而解除了挡柱对托架的限位作用，方便后续承载板的取片工作；
通过托架和托板之间的配合，可对晶圆本体的左右两侧底部及后侧底部进行支撑，增大了对晶圆本体的支撑面积，令收纳于其内部的晶圆本体能够始终保持水平，避免晶圆本体的四周出现翘曲的情况，同时在托板中心圆板的作用下，进一步增大了对晶圆本体的支撑面积，且有效防止了晶圆本体在重力作用下，向底部中间部位下垂的现象发生，使得晶圆本体在进行检测的过程中始终保持稳定不会出现损伤。
本发明提供的一种晶圆缺陷自动检测设备，通过设置的第一电机、第二电机、第一螺纹丝杆和第二螺纹丝杆，在工作人员将晶圆盒安装完成后启动第二电机，通过第二电机可以带动主动齿轮转动，在主动齿轮转动的过程中可以带动从动齿轮一同转动，通过从动齿轮的转动可以使转动柱带动转动板做圆周运动，直至转动板转动至承载板靠近晶圆盒的位置，此时电动推杆启动带动承载板插入至晶圆盒内部实现了自动取板工作，当晶圆本体的取板工作完成后第二电机再次启动带动转动板做圆周运动，直至承载板转动至图像采集器的正下方为止，实现了对晶圆本体缺陷的自动检测工作。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本发明的整体结构示意图。
图2为本发明图1中A处的放大结构示意图。
图3为本发明图1中B处的放大结构示意图。
图4为本发明的晶圆盒结构示意图。
图5为本发明的托架和托板结构示意图。
图6为本发明的限位组件组成部分结构示意图。
图7为本发明的侧面平面结构示意图。
图8为本发明主动齿轮和从动齿轮啮合结构示意图。
图中：
1、台体；2、安装架；3、晶圆盒；4、圆形槽；5、控制面板；6、显示屏；7、转动板；8、支撑架；9、第一固定架；10、托架；11、晶圆本体；12、第一电机；13、第二固定架；14、第一螺纹套筒；15、第一螺纹丝杆；16、限位块；17、第一连接柱；18、第一通槽；19、电动推杆；20、第一把手；21、第二连接柱；22、固定环；23、轴承座；24、连接架；25、挡柱；26、弹簧；27、椭圆槽；28、第二把手；29、滑道；30、定位块；31、卡块；32、定位座；33、延伸板；34、托板；35、弧形槽；36、螺旋杆；37、螺旋轮；38、图像采集器；39、第二电机；40、主动齿轮；41、从动齿轮；42、第三电机；43、第三固定架；44、第二螺纹丝杆；45、第二螺纹套筒；46、滑块；47、第二通槽。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
请参阅图1-8，一种晶圆缺陷自动检测设备，包括台体1，台体1的顶部外壁固定连接有第一固定架9，第一固定架9的顶部固定连接有支撑架8，支撑架8的顶部和一侧分别设置有显示屏6和控制面板5；
台体1的顶部设置有晶圆盒3，晶圆盒3的内部设置有晶圆本体11，台体1的顶部外壁固定连接有安装架2，安装架2的顶部内壁固定连接有图像采集器38，图像采集器38保证四组激光发射器和一组LED灯源，且四组激光发射器的波长均不相同；
图像采集器38的下方设置有承载板，承载板的横截面呈Y型，一组晶圆本体11放置于承载板的顶部，晶圆盒3的两侧内壁均开设有滑道29，滑道29内插接有托架10，托架10的四个拐角均固定连接有延伸板33，延伸板33的一侧固定连接有托板34，托板34的横截面呈圆环型，托板34的中部设置有圆板，圆板的圆周外壁固定连接有加强杆，加强杆远离圆板的一端与托板34固定连接，加强杆的两侧外壁均开设有等距离分布的弧形槽35，晶圆本体11放置于托板34的顶部，晶圆盒3的一侧设置有用于防止托架10滑出的限位组件，该图像采集器38包括了多组激光发射器和一组LED灯组，实现了对灯源和激光的综合，既保证了对晶圆本体11缺陷的全面检测，也保证了对特定种类的缺陷的检测能力，同时激光发射器数目为多组，且多组激光发射器的波长均不同，从而有效的提高了激光发射器的波长与晶圆本体11缺陷之间的匹配度，进而提高检测能力。
实施例二
请参阅图3-6，相较于实施例一，本实施例还包括台体1的顶部外壁固定连接有定位块30，定位块30的顶部开设有卡槽，晶圆盒3的两侧外壁均固定连接有卡块31，卡块31与卡槽相配合，卡块31包括T型部和直角三角形部，晶圆盒3的顶部外壁开设有椭圆槽27，椭圆槽27的圆周内壁转动连接有第二把手28，限位组件包括固定连接在台体1顶部外壁的定位座32，定位座32的底部内壁固定连接有螺旋杆36，螺旋杆36的圆周外壁啮合有螺旋轮37，晶圆盒3的一侧外壁固定连接有轴承座23，轴承座23的圆周内壁固定连接有第二连接柱21，第二连接柱21的底部开设有圆孔，螺旋轮37固定连接在圆孔的内壁上，第二连接柱21的顶部外壁固定连接有第一把手20，第二连接柱21的圆周外壁固定连接有连接架24，连接架24的一端固定连接有挡柱25，晶圆盒3的一侧外壁固定连接有固定环22，固定环22的圆周内壁固定连接有弹簧26，弹簧26远离固定环22圆周内壁的一端固定连接在第二连接柱21的圆周外壁上，在工作人员将晶圆盒3安装在台体1顶部前，由于挡柱25的圆周外壁与托架10的一侧外壁相接触，同时与第二连接柱21固定连接的弹簧26会处于初始状态，使得挡柱25能够对托架10起到限位固定的作用，避免工作人员在转运晶圆盒3的过程中出现晶圆本体11滑出的情况，随后，随着晶圆盒3安装到位时，第二连接柱21也会一同插入至定位座32内部，在第二连接柱21插入定位座32内部的过程中固定在圆孔内壁的螺旋轮37会与螺旋杆36相啮合，因此随着第二连接柱21的不断插入可以使其发生自转，在第二连接柱21自转做圆周运动的过程中会带动挡柱25一同转动，从而解除了挡柱25对托架10的限位作用，方便后续承载板的取片工作，通过托架10和托板34之间的配合，可对晶圆本体11的左右两侧底部及后侧底部进行支撑，增大了对晶圆本体11的支撑面积，令收纳于其内部的晶圆本体11能够始终保持水平，避免晶圆本体11的四周出现翘曲的情况，同时在托板34中心圆板的作用下，进一步增大了对晶圆本体11的支撑面积，且有效防止了晶圆本体11在重力作用下，向底部中间部位下垂的现象发生，使得晶圆本体11在进行检测的过程中始终保持稳定不会出现损伤。
实施例三
请参阅图1、2、8，相较于实施例一、二，本实施例还包括台体1的底部内壁固定连接有第二电机39，第二电机39的输出端固定连接有主动齿轮40，主动齿轮40啮合有从动齿轮41，从动齿轮41的圆周内壁固定连接有转动柱，转动柱的一端固定连接有转动板7，台体1的顶部开设有圆形槽4，转动板7位于圆形槽4的中部，转动板7的顶部外壁固定连接有第三固定架43，第三固定架43的一侧外壁固定连接有第三电机42，第三电机42的输出端固定连接有第二螺纹丝杆44，第二螺纹丝杆44的圆周外壁啮合有第二螺纹套筒45，第二螺纹套筒45的顶部外壁固定连接有竖柱，竖柱的一端固定连接有滑块46，第三固定架43的顶部外壁开设有第二通槽47，滑块46与第二通槽47滑动连接，滑块46的顶部外壁固定连接有第二固定架13，第二固定架13的顶部外壁固定连接有第一电机12，第一电机12的输出端固定连接有第一螺纹丝杆15，第一螺纹丝杆15的圆周外壁啮合有第一螺纹套筒14，第一螺纹套筒14的一侧外壁固定连接有第一连接柱17，第二固定架13的一侧外壁开设有第一通槽18，第一连接柱17的一端从第一通槽18的内部穿过，第一连接柱17的圆周外壁固定连接有限位块16，限位块16的一侧外壁与第二固定架13的一侧外壁相接触，第一螺纹套筒14的一侧外壁固定连接有安装座，安装座的一侧外壁固定连接有电动推杆19，承载板与电动推杆19固定连接，在工作人员将晶圆盒3安装完成后启动第二电机39，通过第二电机39可以带动主动齿轮40转动，在主动齿轮40转动的过程中可以带动从动齿轮41一同转动，通过从动齿轮41的转动可以使转动柱带动转动板7做圆周运动，直至转动板7转动至承载板靠近晶圆盒3的位置，此时电动推杆19启动带动承载板插入至晶圆盒3内部实现了自动取板工作，当晶圆本体11的取板工作完成后第二电机39再次启动带动转动板7做圆周运动，直至承载板转动至图像采集器38的正下方为止，实现了对晶圆本体11缺陷的自动检测工作。
综上所述，借助于本发明的上述技术方案，在工作人员需要对晶圆本体11进行检测时，可以首先手提第二把手28将装有晶圆本体11的晶圆盒3移动至台体1的顶部，随后将固定连接在晶圆盒3两侧的卡块31对准开设在定位块30顶部的卡槽，实现了晶圆盒3的精确卡接安装，在此过程中通过卡块31一侧的直角三角形部可以加快工作人员的对准效率，在工作人员将晶圆盒3安装在台体1顶部前，由于挡柱25的圆周外壁与托架10的一侧外壁相接触，同时与第二连接柱21固定连接的弹簧26会处于初始状态，使得挡柱25能够对托架10起到限位固定的作用，避免工作人员在转运晶圆盒3的过程中出现晶圆本体11滑出的情况，随后，随着晶圆盒3安装到位时，第二连接柱21也会一同插入至定位座32内部，在第二连接柱21插入定位座32内部的过程中固定在圆孔内壁的螺旋轮37会与螺旋杆36相啮合，因此随着第二连接柱21的不断插入可以使其发生自转，在第二连接柱21自转做圆周运动的过程中会带动挡柱25一同转动，从而解除了挡柱25对托架10的限位作用，方便后续承载板的取片工作，通过托架10和托板34之间的配合，可对晶圆本体11的左右两侧底部及后侧底部进行支撑，增大了对晶圆本体11的支撑面积，令收纳于其内部的晶圆本体11能够始终保持水平，避免晶圆本体11的四周出现翘曲的情况，同时在托板34中心圆板的作用下，进一步增大了对晶圆本体11的支撑面积，且有效防止了晶圆本体11在重力作用下，向底部中间部位下垂的现象发生，使得晶圆本体11在进行检测的过程中始终保持稳定不会出现损伤，在工作人员将晶圆盒3安装完成后启动第二电机39，通过第二电机39可以带动主动齿轮40转动，在主动齿轮40转动的过程中可以带动从动齿轮41一同转动，通过从动齿轮41的转动可以使转动柱带动转动板7做圆周运动，直至转动板7转动至承载板靠近晶圆盒3的位置，此时电动推杆19启动带动承载板插入至晶圆盒3内部实现了自动取板工作，当晶圆本体11的取板工作完成后第二电机39再次启动带动转动板7做圆周运动，直至承载板转动至图像采集器38的正下方为止，实现了对晶圆本体11缺陷的自动检测工作。
以上所述仅为本发明的较佳实施例而已，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。
Claims (10)
1.一种晶圆缺陷自动检测设备，包括台体(1)，其特征在于，所述台体(1)的顶部外壁固定连接有第一固定架(9)，所述第一固定架(9)的顶部固定连接有支撑架(8)，所述支撑架(8)的顶部和一侧分别设置有显示屏(6)和控制面板(5)；
所述台体(1)的顶部设置有晶圆盒(3)，所述晶圆盒(3)的内部设置有晶圆本体(11)，所述台体(1)的顶部外壁固定连接有安装架(2)，所述安装架(2)的顶部内壁固定连接有图像采集器(38)；
所述图像采集器(38)的下方设置有承载板，所述承载板的横截面呈Y型，一组所述晶圆本体(11)放置于所述承载板的顶部。
2.根据权利要求1所述的一种晶圆缺陷自动检测设备，其特征在于，所述晶圆盒(3)的两侧内壁均开设有滑道(29)，所述滑道(29)内插接有托架(10)，所述托架(10)的四个拐角均固定连接有延伸板(33)，所述延伸板(33)的一侧固定连接有托板(34)，所述托板(34)的横截面呈圆环型，所述托板(34)的中部设置有圆板，所述圆板的圆周外壁固定连接有加强杆，所述加强杆远离所述圆板的一端与所述托板(34)固定连接，所述加强杆的两侧外壁均开设有等距离分布的弧形槽(35)，所述晶圆本体(11)放置于所述托板(34)的顶部；
所述晶圆盒(3)的一侧设置有用于防止所述托架(10)滑出的限位组件。
3.根据权利要求1所述的一种晶圆缺陷自动检测设备，其特征在于，所述台体(1)的顶部外壁固定连接有定位块(30)，所述定位块(30)的顶部开设有卡槽，所述晶圆盒(3)的两侧外壁均固定连接有卡块(31)，所述卡块(31)与所述卡槽相配合，所述卡块(31)包括T型部和直角三角形部。
4.根据权利要求1所述的一种晶圆缺陷自动检测设备，其特征在于，所述晶圆盒(3)的顶部外壁开设有椭圆槽(27)，所述椭圆槽(27)的圆周内壁转动连接有第二把手(28)。
5.根据权利要求2所述的一种晶圆缺陷自动检测设备，其特征在于，所述限位组件包括固定连接在所述台体(1)顶部外壁的定位座(32)，所述定位座(32)的底部内壁固定连接有螺旋杆(36)，所述螺旋杆(36)的圆周外壁啮合有螺旋轮(37)，所述晶圆盒(3)的一侧外壁固定连接有轴承座(23)，所述轴承座(23)的圆周内壁固定连接有第二连接柱(21)，所述第二连接柱(21)的底部开设有圆孔，所述螺旋轮(37)固定连接在所述圆孔的内壁上，所述第二连接柱(21)的顶部外壁固定连接有第一把手(20)，所述第二连接柱(21)的圆周外壁固定连接有连接架(24)，所述连接架(24)的一端固定连接有挡柱(25)。
6.根据权利要求5所述的一种晶圆缺陷自动检测设备，其特征在于，所述晶圆盒(3)的一侧外壁固定连接有固定环(22)，所述固定环(22)的圆周内壁固定连接有弹簧(26)，所述弹簧(26)远离所述固定环(22)圆周内壁的一端固定连接在所述第二连接柱(21)的圆周外壁上。
7.根据权利要求1所述的一种晶圆缺陷自动检测设备，其特征在于，所述台体(1)的底部内壁固定连接有第二电机(39)，所述第二电机(39)的输出端固定连接有主动齿轮(40)，所述主动齿轮(40)啮合有从动齿轮(41)，所述从动齿轮(41)的圆周内壁固定连接有转动柱，所述转动柱的一端固定连接有转动板(7)，所述台体(1)的顶部开设有圆形槽(4)，所述转动板(7)位于所述圆形槽(4)的中部。
8.根据权利要求7所述的一种晶圆缺陷自动检测设备，其特征在于，所述转动板(7)的顶部外壁固定连接有第三固定架(43)，所述第三固定架(43)的一侧外壁固定连接有第三电机(42)，所述第三电机(42)的输出端固定连接有第二螺纹丝杆(44)，所述第二螺纹丝杆(44)的圆周外壁啮合有第二螺纹套筒(45)，所述第二螺纹套筒(45)的顶部外壁固定连接有竖柱，所述竖柱的一端固定连接有滑块(46)，所述第三固定架(43)的顶部外壁开设有第二通槽(47)，所述滑块(46)与所述第二通槽(47)滑动连接。
9.根据权利要求8所述的一种晶圆缺陷自动检测设备，其特征在于，所述滑块(46)的顶部外壁固定连接有第二固定架(13)，所述第二固定架(13)的顶部外壁固定连接有第一电机(12)，所述第一电机(12)的输出端固定连接有第一螺纹丝杆(15)，所述第一螺纹丝杆(15)的圆周外壁啮合有第一螺纹套筒(14)，所述第一螺纹套筒(14)的一侧外壁固定连接有第一连接柱(17)，所述第二固定架(13)的一侧外壁开设有第一通槽(18)，所述第一连接柱(17)的一端从所述第一通槽(18)的内部穿过，所述第一连接柱(17)的圆周外壁固定连接有限位块(16)，所述限位块(16)的一侧外壁与所述第二固定架(13)的一侧外壁相接触。
10.根据权利要求9所述的一种晶圆缺陷自动检测设备，其特征在于，所述第一螺纹套筒(14)的一侧外壁固定连接有安装座，所述安装座的一侧外壁固定连接有电动推杆(19)，所述承载板与所述电动推杆(19)固定连接。
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