CN218867061U - 一种晶圆盒、晶圆缺陷检测系统 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种晶圆盒，包括盒体，所述盒体内壁从上到下设置有多个等间距分布的托架；其中，所述托架包括两个用于对晶圆两侧底部进行支撑的侧托板、一个用于对晶圆后侧底部进行支撑的后托板、以及一个用于对晶圆中间底部进行支撑的中托杆，本实用新型通过侧托板与后托板之间的配合，可对晶圆的左右两侧底部及后侧底部进行支撑，增大了对晶圆的支撑面积，令收纳于其内的晶圆能够更平坦，并在中托杆及中心板的作用下，进一步增大了对晶圆的支撑面积，且有效防止了晶圆在重力作用下，向底部中间部位下垂的现象发生。
Description
技术领域
本实用新型涉及半导体检测技术领域，尤其涉及到一种晶圆盒。
背景技术
晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆，在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能的IC产品。为了确保晶圆的安全储存、运输、搬运、检测等，广泛运用晶圆盒作为晶圆的承载及运输工具，从而能够很好的保护晶圆。
目前在半导体机台上使用的晶圆盒以25槽较为普遍，托架为直条型且表面为平面，相邻托架之间的间距较窄，机械手在拿取晶圆时容易发生晶圆与托架的碰撞造成破片的问题，另外，由于现有晶圆盒内部的托架大都仅仅对晶圆的两侧底部进行支撑，使得对晶圆的支撑面积小，晶圆在自身重力的作用下，会向中间部位下垂，造成较大的变形。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种晶圆盒，以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：
一种晶圆盒，包括盒体，所述盒体内壁从上到下设置有多个等间距分布的托架；其中，
所述托架包括两个用于对晶圆两侧底部进行支撑的侧托板、一个用于对晶圆后侧底部进行支撑的后托板、以及一个用于对晶圆中间底部进行支撑的中托杆，所述中托杆的端部设置有用于对拿取晶圆的机械手进行阻挡限位的定位结构。
作为本实用新型进一步的方案：两个所述侧托板与一个后托板及一个中托杆之间为一体式结构。
作为本实用新型再进一步的方案：所述侧托板与盒体内壁接触一侧为直边，另一侧为弧形边，所述后托板为弧形结构。
作为本实用新型再进一步的方案：所述中托杆的中间部位设置有圆形的中心板，所述中心板与后托板为同一圆心。
作为本实用新型再进一步的方案：所述定位结构包括与中托杆端部连接的挡块，所述挡块与中托杆之间设置有切口。
作为本实用新型再进一步的方案：所述侧托板的前半段上表面设置有倾斜面，所述倾斜面靠近后托板一端高于靠近挡块一端。
一种晶圆缺陷检测系统，具有上述的晶圆盒。
本实用新型公开了一种晶圆盒，与现有技术相比：
1、本实用新型通过侧托板与后托板之间的配合，可对晶圆的左右两侧底部及后侧底部进行支撑，增大了对晶圆的支撑面积，令收纳于其内的晶圆能够更平坦，并在中托杆及中心板的作用下，进一步增大了对晶圆的支撑面积，且有效防止了晶圆在重力作用下，向底部中间部位下垂的现象发生，同时，中托杆的设置，使得在使用机械手拿取晶圆时不会发生干涉现象。
2、通过挡块与中托杆之间的配合，当使用机械手拿取晶圆时，机械手的上表面与晶圆的底部接触后，会向上托起晶圆，当托起一定距离时，机械手的上表面会与挡块的底部接触，此时机械手不会继续向上托起晶圆，此时晶圆的底部与托架的上表面脱离，而晶圆的上表面与位于其上方的托架底部存在有间距，从而避免在拿取晶圆时晶圆与位于其上方的托架之间发生摩擦造成磨损的现象发生。
3、通过倾斜面的设置，对于翘曲度较大的晶圆而言，增加了晶圆进出晶圆盒时与托架边缘的安全距离，进一步减少了碰撞引起的破片问题。
附图说明
图1为一种晶圆盒的结构示意图。
图2为图1的右视图。
图3为图1的俯视图。
图4为一种晶圆盒中托架的结构示意图。
图中：1、盒体；2、托架；3、侧托板；4、后托板；5、中托杆；6、中心板；7、挡块；8、倾斜面。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
实施例一：
请参阅图1～4，本实用新型实施例中，一种晶圆盒，包括盒体1，盒体1内壁从上到下设置有多个等间距分布的托架2；其中，托架2包括两个用于对晶圆两侧底部进行支撑的侧托板3、一个用于对晶圆后侧底部进行支撑的后托板4、以及一个用于对晶圆中间底部进行支撑的中托杆5，两个侧托板3与一个后托板4及一个中托杆5之间为一体式结构，便于生产制造，侧托板3与盒体1内壁接触一侧为直边，另一侧为弧形边，后托板4为弧形结构，通过侧托板3与后托板4之间的配合，可对晶圆的左右两侧底部及后侧底部进行支撑，增大了对晶圆的支撑面积，令收纳于其内的晶圆能够更平坦，中托杆5的中间部位设置有圆形的中心板6，中心板6与后托板4为同一圆心，中托杆5及中心板6用于对晶圆的底部中间部位进行支撑，进一步增大了对晶圆的支撑面积，且有效防止了晶圆在重力作用下，向底部中间部位下垂的现象发生，同时，中托杆5的设置，使得在使用机械手拿取晶圆时不会发生干涉现象，侧托板3的前半段上表面设置有倾斜面8，倾斜面8靠近后托板4一端高于靠近挡块7一端，通过倾斜面8的设置，对于翘曲度较大的晶圆而言，增加了晶圆进出晶圆盒时与托架边缘的安全距离，进一步减少了碰撞引起的破片问题。
中托杆5的端部设置有用于对拿取晶圆的机械手进行阻挡限位的定位结构，定位结构包括与中托杆5端部连接的挡块7，挡块7与中托杆5之间设置有切口，使得在挡块7的重力作用下，挡块7与中托杆5之间呈L形分布，当使用机械手拿取晶圆时，机械手的上表面与晶圆的底部接触后，会向上托起晶圆，当托起一定距离时，机械手的上表面会与挡块7的底部接触，此时机械手不会继续向上托起晶圆，此时晶圆的底部与托架的上表面脱离，而晶圆的上表面与位于其上方的托架底部存在有间距，从而避免在拿取晶圆时晶圆与位于其上方的托架2之间发生摩擦造成磨损的现象发生，机械手在向外拿取晶圆时，晶圆会推动挡块7，此时挡块7在晶圆的推力作用下，与中托杆5形成一条直线，从而将晶圆取出。
实施例二：
一种晶圆缺陷检测系统，具有上述的晶圆盒；上述的晶圆盒应用于晶圆缺陷检测系统中，在晶圆缺陷检测系统对晶圆进行检测时，采用机械手对晶圆进行搬运，使得在使用机械手拿取晶圆时不会发生干涉现象，减少了碰撞引起的破片问题。
以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。
Claims (7)
1.一种晶圆盒，包括盒体(1)，其特征在于，所述盒体(1)内壁从上到下设置有多个等间距分布的托架(2)；其中，
所述托架(2)包括两个用于对晶圆两侧底部进行支撑的侧托板(3)、一个用于对晶圆后侧底部进行支撑的后托板(4)、以及一个用于对晶圆中间底部进行支撑的中托杆(5)，所述中托杆(5)的端部设置有用于对拿取晶圆的机械手进行阻挡限位的定位结构。
2.根据权利要求1所述的一种晶圆盒，其特征在于，两个所述侧托板(3)与一个后托板(4)及一个中托杆(5)之间为一体式结构。
3.根据权利要求1所述的一种晶圆盒，其特征在于，所述侧托板(3)与盒体(1)内壁接触一侧为直边，另一侧为弧形边，所述后托板(4)为弧形结构。
4.根据权利要求1所述的一种晶圆盒，其特征在于，所述中托杆(5)的中间部位设置有圆形的中心板(6)，所述中心板(6)与后托板(4)为同一圆心。
5.根据权利要求1所述的一种晶圆盒，其特征在于，所述定位结构包括与中托杆(5)端部连接的挡块(7)，所述挡块(7)与中托杆(5)之间设置有切口。
6.根据权利要求1所述的一种晶圆盒，其特征在于，所述侧托板(3)的前半段上表面设置有倾斜面(8)，所述倾斜面(8)靠近后托板(4)一端高于靠近挡块(7)一端。
7.一种晶圆缺陷检测系统，其特征在于，具有如权利要求1至6任意一项所述的晶圆盒。
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| CN202223564330.2U CN218867061U (zh) | 2022-12-30 | 2022-12-30 | 一种晶圆盒、晶圆缺陷检测系统 |
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Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN116754574A (zh) * | 2023-06-20 | 2023-09-15 | 无锡芯启博科技有限公司 | 一种晶圆缺陷自动检测设备 |
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2022
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| CN116754574A (zh) * | 2023-06-20 | 2023-09-15 | 无锡芯启博科技有限公司 | 一种晶圆缺陷自动检测设备 |
| CN116754574B (zh) * | 2023-06-20 | 2024-01-23 | 无锡芯启博科技有限公司 | 一种晶圆缺陷自动检测设备 |
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