CN214313149U - 一种片盒翻转组件、浸泡池和去胶机 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种片盒翻转组件，包括：主动轴，设有第一传动端；旋转支撑杆，与所述主动轴交错，并通过齿轮组件传动连接所述第一传动端；片盒固定组件两端各设有一个旋转传动件，旋转传动件轴连接旋转支撑杆，片盒固定组件还包括连接所述旋转传动件的片盒安装板；其中，至少一个所述旋转传动件上设有限位组件。本实用新型解决了存放晶圆的片盒在浸泡池中无法旋转并定位的问题。

Description

一种片盒翻转组件、浸泡池和去胶机

技术领域

本实用新型涉及半导体行业晶片湿法处理领域，尤其涉及一种片盒翻转组件、浸泡池和去胶机。

背景技术

目前，在半导体行业中，晶圆是指制作硅半导体积体电路所使用的硅晶片。在晶圆撕金去胶工艺过程中，去胶液会残留在晶圆上，需要通过浸泡清洗等步骤去掉残留的去胶液。而晶圆的洁净度要求越来越高，在浸泡池中不翻转片盒，无法彻底去除去胶液；而片盒在翻转过程中又容易使晶圆滑出片盒。

实用新型内容

因此，本实用新型实施例提供一种片盒翻转组件、浸泡池和去胶机，解决了存放晶圆的片盒在浸泡池中无法旋转并定位的问题。

一方面，本实用新型实施例提供一种片盒翻转组件，包括：主动轴，设有第一传动端；旋转支撑杆，与所述主动轴交错，并通过齿轮组件传动连接所述第一传动端；片盒固定组件，片盒固定组件两端各设有一个旋转传动件，旋转传动件轴连接旋转支撑杆，片盒固定组件还包括连接所述旋转传动件的片盒安装板；其中，至少一个所述旋转传动件上设有限位组件。

采用该技术方案后所达到的技术效果：所述片盒固定组件用于连接片盒，从而使所述片盒在所述旋转支撑杆上旋转；所述限位组件用于限定所述片盒的旋转范围，防止所述片盒内的晶圆倒出。

在本实用新型第一个实施例中，所述齿轮组件包括：相互垂直啮合的第一锥齿轮和第二锥齿轮；其中，所述第一锥齿轮连接所述第一传动端，所述第二锥齿轮套设于所述旋转支撑杆。

采用该技术方案后所达到的技术效果：所述第一锥齿轮和所述第二锥齿轮啮合，从而将所述主动轴的旋转运动

在本实用新型第一个实施例中，所述片盒翻转组件还包括：安装架，包括：安装套管，所述主动轴通过轴承连接于所述安装套管内，所述第一传动端伸出所述安装套管的第一端；旋转支撑架，连接所述安装套管的第一端，套设于所述齿轮组件外，并轴连接所述旋转支撑杆。

采用该技术方案后所达到的技术效果：所述安装架用于固定所述主动轴和所述旋转支撑杆的相对位置，并将所述片盒翻转组件安装至其他设备上。

在本实用新型第一个实施例中，所述片盒翻转组件设有旋转侧，所述片盒固定组件能够通过所述齿轮组件向旋转侧旋转，所述限位组件位于所述旋转传动件远离所述旋转侧的一侧。

采用该技术方案后所达到的技术效果：所述片盒限位组件用于限定所述旋转传动件的旋转范围；限位组件位于远离所述旋转传动件远离所述旋转侧的一侧能够防止所述片盒倒转。

在本实用新型第一个实施例中，所述限位组件包括：第一限位板，连接所述旋转传动件远离所述旋转侧的一侧；第二限位板，连接所述旋转传动件的顶部，所述第一限位板和所述第二限位板之间为旋转区域；限位杆，连接所述旋转支撑架，并伸入所述旋转区域。

采用该技术方案后所达到的技术效果：所述第一限位板用于防止所述片盒沿远离所述旋转侧的一侧旋转，第二限位板用于限定所述片盒向所述旋转侧旋转的最大范围。

在本实用新型第一个实施例中，所述片盒翻转组件还包括：至少一个片盒，连接所述片盒安装板远离所述旋转传动件的一侧。

采用该技术方案后所达到的技术效果：所述片盒用于存放晶圆，所述片盒安装板远离所述旋转传动件的一侧具有足够的安装空间用于安装所述片盒。

在本实用新型第一个实施例中，所述片盒包括：片盒本体，其内壁设有晶圆卡槽；至少一个晶圆支撑杆，连接所述片盒本体远离所述旋转侧的一侧。

采用该技术方案后所达到的技术效果：每个所述晶圆卡槽能够卡设一个晶圆，所述晶圆支撑杆在所述片盒旋转时，能够防止所述晶圆沿相对旋转方向的另一侧滑出。

在本实用新型第一个实施例中，所述主动轴相对所述第一传动端的另一端伸出所述安装套管，所述片盒翻转组件还包括驱动组件，连接所述主动轴相对所述第一传动端的另一端。

采用该技术方案后所达到的技术效果：所述驱动组件用于驱动所述主动轴旋转。

另一方面，本实用新型实施例提供一种浸泡池，其特征在于，包括：所述片盒翻转组件；浸泡池壳体，所述片盒翻转组件位于所述浸泡池壳体内；其中，所述片盒翻转组件设有安装套管，套设于所述主动轴外，所述安装套管相对所述齿轮组件的另一端连接所述浸泡池壳体。

采用该技术方案后所达到的技术效果：所述片盒翻转组件能够使所述片盒在所述浸泡池内翻转，从而对所述片盒内的晶圆进行充分的浸泡和清洗。

再一方面，本实用新型实施例提供一种去胶机，其特征在于，所述去胶机设有如上述实施例所述的浸泡池。

采用该技术方案后所达到的技术效果：所述去胶机能够旋转所述浸泡池内的片盒，具有便于清洗所述片盒的优点。

综上所述，本申请上述各个实施例可以具有如下一个或多个优点或有益效果：

i)所述片盒反转组件能够使片盒在所述浸泡池内翻转；

ii)所述限位组件能够使所述片盒翻转组件在一定范围内翻转，防止所述晶圆掉出所述片盒。

iii)所述晶圆支撑杆能够在所述片盒的翻转过程中，对所述晶圆起到支撑作用，方盒子所述晶圆滑出。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型第一实施例提供的一种片盒翻转组件100的结构示意图；

图2为图1中主动轴110和旋转支撑杆120的连接示意图；

图3为图1中片盒翻转组件100另一视角的结构示意图；

图4为图3中A-A方向的剖视图；

图5为图4中I区域的放大图；

图6为图1中限位组件150的连接示意图；

图7为图1中片盒170的结构示意图；

图8为本实用新型第二实施例提供的一种浸泡池200的结构示意图；

图9为图8中B-B方向的剖视图；

图10为本实用新型第三实施例提供的一种去胶机300的结构示意图；

主要元件符号说明：

100为片盒翻转组件；110为主动轴；120为旋转支撑杆；130为齿轮组件；131为第一锥齿轮；132为第二锥齿轮；140为片盒固定组件；141为旋转传动件；142为片盒安装板；150为限位组件；151为第一限位板；152为第二限位板；153为第三限位板； 154为限位杆；155为旋转区域；160为安装架；161为安装套管；162为旋转支撑架；163 为第一法兰；164为第二法兰；170为片盒；171为片盒本体；172为晶圆支撑杆；173为晶圆卡槽；180为驱动组件。

200为浸泡池；210为浸泡池壳体；220为浸泡腔。

300为去胶机。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

【第一实施例】

参见图1，其为本实用新型第一实施例提供的一种片盒翻转组件100，包括：主动轴110、旋转支撑杆120和片盒固定组件140。其中主动轴110设有第一传动端；旋转支撑杆120与主动轴110交错设置，并通过齿轮组件130传动连接所述第一传动端；片盒固定组件140两端各设有一个旋转传动件141，旋转传动件141轴连接旋转支撑杆120，以及连接旋转传动件141的片盒安装板142。其中，至少一个旋转传动件141 上设有限位组件150，用于限定片盒固定组件140的翻转范围。

在本实施例中，片盒安装板142用于安装片盒170，主动轴110通过齿轮组件130 使旋转支撑杆120旋转，从而带动片盒固定组件140以及安装于片盒安装板142上的片盒170翻转。晶圆在清洗去胶液的过程中，通过片盒170的翻转，其清洗效果能够更加充分。

优选的，参见图2，齿轮组件130例如包括：相互垂直啮合的第一锥齿轮131和第二锥齿轮132，主动轴110与旋转支撑杆120也可以为垂直设置。其中，第一锥齿轮131 固定连接所述第一传动端，随主动轴110转动；第二锥齿轮132套设于旋转支撑杆120，例如通过键连接旋转支撑杆120，使第二锥齿轮132和旋转支撑杆120能够一起转动。因此，齿轮组件130能够实现竖直轴的旋转运动转化为水平轴的旋转运动。

优选的，参见图3-4，片盒翻转组件100例如还包括安装架160，用于将片盒翻转组件100固定于其他装置上，安装架160例如包括：安装套管161和旋转支撑架162。其中，安装套管161套设于主动轴110外，所述第一传动端伸出安装套管161的第一端；旋转支撑架162连接安装套管161的第一端，套设于齿轮组件130外，轴连接所述旋转支撑杆120。

具体的，旋转支撑架162为U型结构，包括相对的两个侧板和连接两个所述侧板的固定板。其中，两个所述侧板平行设于齿轮组件130的两侧，旋转支撑杆120穿过两个所述侧板实现固定；所述固定板与安装套管161的第一端连接，并设有连通安装套管 161内腔的孔，使得主动轴110从所述固定板中穿过，与齿轮组件130连接。

结合图5，安装套管161的第一端设有第一法兰163，相对的第二端设有第二法兰164。其中，旋转支撑架162的所述固定板对应第一法兰163的一侧，设有与第一法兰163配合的固定槽，第一法兰163例如通过螺栓连接所述固定槽。

进一步的，安装套管161的第一端与主动轴110轴连接。具体的，安装套管161的第一法兰163内侧设有至少一个轴承，所述轴承外侧与第一法兰163配合，内侧与主动轴110配合。所述轴承能够固定主动轴110，防止主动轴110在转动时发生振动。当然第二法兰164内侧也可以使用轴承与主动轴110轴连接，其安装方式与第一法兰163相同，此处不再赘述。

优选的，主动轴110相对所述第一传动端的另一端也伸出安装套管161。其中，片盒翻转组件100还包括驱动组件180，连接主动轴110相对所述第一传动端的另一端。

进一步的，驱动组件180包括驱动安装架，以及连接所述驱动安装架的电机。其中，第二法兰164与所述驱动安装架之间留有间隙，用于将第二法兰164安装于其他装置。

优选的，参见图1和图6，片盒翻转组件100设有旋转侧，即片盒固定组件140能够通过齿轮组件130向所述旋转侧旋转。其中，限位组件150位于旋转传动件141远离所述旋转侧的一侧。

具体的，限位组件150例如包括：第一限位板151、第二限位板152和限位杆154。其中，第一限位板151连接旋转传动件141远离所述旋转侧的一侧；第二限位板152连接旋转传动件141的顶部，第一限位板151和第二限位板152之间为旋转区域155；限位杆154连接旋转支撑架162，并伸入旋转区域155。当片盒安装板142处于水平位置时，第一限位板151也位于水平位置，此时，限位杆154与第一限位板151贴合；当齿轮组件130带动旋转支撑杆120转动时，第一限位板151与限位杆154分离，第二限位板152 向限位杆154靠拢，直到第二限位板152和限位杆154贴合时，片盒翻转组件100完成翻转。

当然，限位组件150例如还包括：第三限位杆154，位于旋转传动件141靠近所述旋转侧的一侧。其中，限位杆154也可以位于第二限位板152的靠近所述旋转侧的一侧，并且限位杆154紧贴第二限位板152。此时，第二限位板152和第三限位板153之间形成所述旋转区域155，其运动过程不再赘述。

优选的，如图1所示，旋转支撑架162的两侧各设置一个限位组件150。其中，两个限位组件150的限位杆154位于旋转支撑杆120的同一侧，均远离所述旋转侧。此时，旋转支撑架162的两侧的旋转传动件141均能得到限位杆154的限位作用，旋转支撑杆 120受力更加稳定。

优选的，参见图7，片盒翻转组件100例如包括至少一个片盒170，连接片盒安装板142远离旋转传动件141的一侧。举例来说，片盒安装板142连接两个片盒170，片盒安装板142相对每一个旋转传动件141的一侧均设置一个片盒170，当片盒翻转组件100 翻转时，两个片盒170均装有所述晶圆，从而提高所述晶圆清洗效率，并且使片盒安装板142受力均匀。

进一步的，每个片盒170例如包括：片盒本体171和至少一个晶圆支撑杆172。其中，片盒本体171的内壁设有晶圆卡槽173，晶圆卡槽173位于片盒本体171相对的两侧，并沿片盒本体171的高度方向布设，相对的两个晶圆卡槽173用于放置同一个所述晶圆；晶圆支撑杆172连接片盒本体171远离所述旋转侧的一侧，当片盒170向所述旋转侧翻转时，晶圆支撑杆172能够对所述晶圆起到支撑作用。

再进一步，晶圆支撑杆172也可以沿高度方向设置多个晶圆卡槽173，并与片盒本体 171的内壁的晶圆卡槽173对应。当片盒170向所述旋转侧翻转时，晶圆支撑杆172上的晶圆卡槽173能够防止所述晶圆偏移。

【第二实施例】

参见图8-9，其为本实用新型第二实施例提供一种浸泡池200，包括第一实施例提供的片盒翻转组件100。其中，浸泡池200还包括浸泡池壳体210，浸泡池壳体210内设有浸泡腔220，片盒翻转组件100位于所述浸泡池壳体210内。

优选的，安装套管161相对齿轮组件130的另一端连接浸泡池壳体210。具体的，片盒翻转组件100通过第二法兰164固定于浸泡池壳体210的顶部的内侧，驱动组件 180固定浸泡池壳体210的外侧。片盒170伸入浸泡腔220中进行浸泡、清洗，通过片盒翻转组件100对片盒170的翻转运动，使片盒170内的所述晶圆能够充分清洗，从而去除所述晶圆上的去胶液。

【第三实施例】

参见图10，其为本实用新型第三实施例提供一种去胶机300，包括第二实施例提供的浸泡池200。举例来说，去胶机300包括两个浸泡池200，位于去胶机300相对的两侧。所述去胶机300能够通过片盒翻转组件100对所述晶圆进行充分浸泡和清洗，从而提高所述晶圆的洁净度，以及去胶液的回收率。

最后应说明的是：以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的精神和范围。

Claims (10)

1.一种片盒翻转组件，其特征在于，包括：

主动轴，设有第一传动端；

旋转支撑杆，与所述主动轴交错，并通过齿轮组件传动连接所述第一传动端；

片盒固定组件两端各设有一个旋转传动件，旋转传动件轴连接旋转支撑杆，片盒固定组件还包括连接所述旋转传动件的片盒安装板；

其中，至少一个所述旋转传动件上设有限位组件。

2.根据权利要求1所述的片盒翻转组件，其特征在于，所述齿轮组件包括：相互垂直啮合的第一锥齿轮和第二锥齿轮；

其中，所述第一锥齿轮连接所述第一传动端，所述第二锥齿轮套设于所述旋转支撑杆。

3.根据权利要求1所述的片盒翻转组件，其特征在于，还包括：

安装架，包括：

安装套管，所述主动轴通过轴承连接于所述安装套管内，所述第一传动端包括伸出所述安装套管的第一端；

旋转支撑架，连接所述安装套管的第一端，套设于所述齿轮组件外，并轴连接所述旋转支撑杆。

4.根据权利要求3所述的片盒翻转组件，其特征在于，设有旋转侧，所述片盒固定组件能够通过所述齿轮组件向旋转侧旋转，所述限位组件位于所述旋转传动件远离所述旋转侧的一侧。

5.根据权利要求4所述的片盒翻转组件，其特征在于，所述限位组件包括：

第一限位板，连接所述旋转传动件远离所述旋转侧的一侧；

第二限位板，连接所述旋转传动件的顶部，所述第一限位板和所述第二限位板之间为旋转区域；

限位杆，连接所述旋转支撑架，并伸入所述旋转区域。

6.根据权利要求4所述的片盒翻转组件，其特征在于，还包括：至少一个片盒，连接所述片盒安装板远离所述旋转传动件的一侧。

7.根据权利要求6所述的片盒翻转组件，其特征在于，所述片盒包括：

片盒本体，其内壁设有晶圆卡槽；

至少一个晶圆支撑杆，连接所述片盒本体远离所述旋转侧的一侧。

8.根据权利要求3所述的片盒翻转组件，其特征在于，所述主动轴相对所述第一传动端的另一端伸出所述安装套管，所述片盒翻转组件还包括驱动组件，连接所述主动轴相对所述第一传动端的另一端。

9.一种浸泡池，其特征在于，包括：

权利要求1-8任意一种所述的片盒翻转组件；

浸泡池壳体，所述片盒翻转组件位于所述浸泡池壳体内；

其中，所述片盒翻转组件设有安装套管，套设于所述主动轴外，所述安装套管相对所述齿轮组件的另一端连接所述浸泡池壳体。

10.一种去胶机，其特征在于，所述去胶机设有如权利要求9所述的浸泡池。

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