CN218864694U - 一种晶圆旋干机 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种晶圆旋干机，包括传动机构和甩干机构，传动机构与甩干机构相连，传动机构能够带动甩干机构转动；甩干机构包括甩干盘，支撑柱和卡柱，支撑柱为多个且沿甩干盘的周向设置，多个支撑柱围成与晶圆仿形的结构，卡柱设置于支撑柱上用于卡接晶圆。和现有技术相比，本实用新型实施例所公开的晶圆旋干机，由于甩干机构中采用了支撑柱的结构，通过支撑柱即可对晶圆进行定位，无需将晶圆放置于整个甩干盘上，大大减小了晶圆与甩干机构的接触面积，有效提升了晶圆的洁净度。

Description

一种晶圆旋干机

技术领域

本实用新型涉及旋干机技术领域，特别涉及一种晶圆旋干机。

背景技术

晶圆(晶片)是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，在晶圆的加工过程中，首先需要对晶圆进行湿法清洗，去除晶圆表面的杂质，然后再对清洗后的晶圆进行甩干处理。

现有技术中的晶圆旋干机中，晶圆一般放置于旋干盘上，通过旋干盘的旋转以实现对晶圆的甩干，但是晶圆与旋干盘的接触面积过大，导致晶圆的洁净度达不到要求。

因此，如何提供一种晶圆旋干机，能够提升晶圆的洁净度是本领域技术人员亟需解决的技术问题。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型的目的在于提供一种晶圆旋干机，能够提升晶圆的洁净度。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种晶圆旋干机，包括传动机构和甩干机构，所述传动机构与所述甩干机构相连，所述传动机构能够带动所述甩干机构转动；

所述甩干机构包括甩干盘，支撑柱和卡柱，所述支撑柱为多个且沿所述甩干盘的周向设置，所述卡柱设置于所述支撑柱上用于卡接所述晶圆。

优选的，所述支撑柱上用于与所述晶圆接触的端面为锥面。

优选的，所述甩干盘为环形的盘状结构，所述支撑柱设置于所述甩干盘的端面上。

优选的，还包括甩干箱体和支撑箱体，所述甩干机构设置于所述甩干箱体内，所述传动机构设置于所述支撑箱体内；

所述甩干箱体的底板为斜板，所述斜板的较低一侧设置有用于废水排出的排水口。

优选的，所述甩干箱体的底板上设置有环形凸起，所述甩干盘上设置有用于与所述环形凸起相配合的环形凹槽。

优选的，所述传动机构包括驱动机构、齿轮传动机构和转动机构，所述驱动机构通过所述齿轮传动机构与所述转动机构相连。

优选的，所述驱动机构为电机，所述齿轮传动机构包括第一齿轮、第二齿轮和皮带，所述转动机构包括连接轴、传动轴和传动轴壳体；

所述连接轴固定于所述支撑箱体内，所述传动轴套设于所述连接轴上，且所述传动轴能够在所述连接轴上旋转，所述传动轴壳体套设于所述传动轴上，所述第一齿轮设置于所述电机的电机轴上，所述第二齿轮设置于所述传动轴上，所述第一齿轮和所述第二齿轮通过所述皮带连接。

优选的，还包括设置于所述支撑箱体内用于支撑所述传动机构的支撑机构；

所述支撑机构包括第一支撑板，第二支撑板和第三支撑板，所述第一支撑板用于支撑所述电机和所述传动轴壳体，所述第二支撑板和所述第三支撑板分别设置于所述第一支撑板的两端用于支撑所述第一支撑板。

优选的，所述支撑机构还包括设置于所述第一支撑板一侧用于固定所述连接轴的第四支撑板，和设置于所述第四支撑板下部用于支撑所述第四支撑板的第五支撑板。

优选的，所述连接轴的上端头还设置有防水罩，所述防水罩设置于所述甩干盘内部的中空腔体内。

由以上技术方案可以看出，当采用晶圆旋干机对晶圆进行清洗时，首先需将晶圆放置于多个支撑柱上，再通过卡柱对晶圆进行卡接，然后启动传动机构，传动机构带动甩干机构转动，从而实现对晶圆甩干的技术效果。和现有技术相比，本实用新型实施例所公开的晶圆旋干机，由于甩干机构中采用了支撑柱的结构，通过支撑柱即可对晶圆进行定位，无需将晶圆放置于整个甩干盘上，大大减小了晶圆与甩干机构的接触面积，有效提升了晶圆的洁净度。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见的，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据提供的附图获得其他的附图。

图1为本实用新型实施例所公开的晶圆旋干机的外观结构示意图；

图2为本实用新型实施例所公开的晶圆旋干机的透视结构示意图；

图3为本实用新型实施例所公开的晶圆旋干机的局部结构示意图；

图4为图3中A处的放大结构示意图；

图5为图3中B处的放大结构示意图；

图6为本实用新型实施例所公开的传动机构与甩干机构的连接结构示意图；

图7为本实用新型实施例所公开的齿轮传动机构的结构示意图。

其中，各部件名称如下：

100-传动机构，101-电机，102-第一齿轮，103-第二齿轮，104-连接轴，105-传动轴， 106-传动轴壳体，107-皮带，200-甩干机构，201-甩干盘，2011-环形凹槽，202-支撑柱，203-卡柱，300-甩干箱体，301-底板，3011-环形凸起，302--排水口，400-支撑箱体，401- 支撑机构，401-第一支撑板，402-第二支撑板，403-第三支撑板，404-第四支撑板，405- 第五支撑板。

具体实施方式

有鉴于此，本实用新型的核心在于提供一种晶圆旋干机，能够提升晶圆的洁净度。

为了使本技术领域的人员更好地理解本实用新型方案，下面接合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步的详细说明，请参考图1至图7。

本实用新型实施例所公开的晶圆旋干机，包传动机构100和甩干机构200，传动机构 100与甩干机构200相连，传动机构100能够带动甩干机构200转动；

其中，甩干机构200包括甩干盘201，支撑柱202和卡柱203，支撑柱202为多个且沿甩干盘201的周向设置，卡柱203设置于支撑柱202上用于卡接晶圆。

当采用晶圆旋干机对晶圆进行清洗时，首先需将晶圆放置于多个支撑柱202上，再通过卡柱203对晶圆进行卡接，然后启动传动机构100，传动机构100带动甩干机构200 转动，从而实现对晶圆甩干的技术效果。和现有技术相比，本实用新型实施例所公开的晶圆旋干机，由于甩干机构200中采用了支撑柱202的结构，通过支撑柱202即可对晶圆进行定位，无需将晶圆放置于整个甩干盘201上，大大减小了晶圆与甩干机构200的接触面积，有效提升了晶圆的洁净度。

为了进一步减小晶圆与甩干机构200的接触面积，本实用新型实施例所公开的晶圆旋干机中，优选将支撑柱202上用于与晶圆相接触的端面设置为锥面，如此设置，晶圆与支撑柱202的锥面为点接触，从而进一步提升了晶圆的洁净度。

作为优选实施例，本实用新型实施例所公开的晶圆旋干机，还包括甩干箱体300和支撑箱体400，其中，甩干机构200设置于甩干箱体300内，传动机构100设置于支撑箱体400内。

需要说明的是，甩干箱体300的底板301优选为斜板，斜板的较低一侧设置有用于废水排出的排水口302。如此设置，晶圆旋干过程中所产生的废水落到甩干箱体300的底板301上后，通过排水口302可将废水排出，从而使得甩干箱体300的甩干腔内保持干燥的环境。

为了防止晶圆甩干过程中产生的废水进入支撑箱体400内，本实用新型实施例所公开的晶圆旋干机中，甩干箱体300的底板上设置有环形凸起3011，甩干盘201上设置有与环形凸起3011相配合的环形凹槽2011。如此设置，环形凸起3011和环形凹槽2011配合连接可进一步防止废水进入支撑箱体400内，从而避免支撑箱体400内的传动机构100受损。

其中，支撑箱体400内除安装传动机构100外，还安装有电器元件等多个零部件。

本实用新型实施例对传动机构100的具体结构不进行限定，只要满足本实用新型使用要求的结构均在本实用新型的保护范围之内。

作为优选实施例，本实用新型实施例所公开的传动机构100包括驱动机构、齿轮传动机构和转动机构，其中驱动机构通过齿轮传动机构与转动机构相连。

本实用新型实施例对驱动机构、齿轮传动机构和转动机构的具体结构不进行限定，只要满足本实用新型使用要求的结构均在本实用新型的保护范围之内。

具体的，本实用新型实施例所公开的驱动机构优选为电机，齿轮传动机构优选包括第一齿轮102、第二齿轮103和皮带107，转动机构优选包括连接轴104、传动轴105和传动轴壳体106。

其中，连接轴104固定于支撑箱体400内，传动轴105套设于连接轴104上，且传动轴105能够在连接轴104上旋转，传动轴壳体106套设于传动轴105上，第一齿轮102 设置于电机101的电机轴上，第二齿轮103设置于传动轴105上，第一齿轮102和第二齿轮103通过皮带107连接。

启动电机101，电机101带动第一齿轮102转动，第一齿轮102通过皮带107带动第二齿轮103转动，第二齿轮103带动传动轴105转动，由于传动轴105与甩干盘201相连，因此，传动轴105可带动甩干盘201转动，从而实现对晶圆的甩干。

如此设置，上述传动机构100可以对密度相对较高的晶圆进行甩干，降低振动，减少碎片率的发生。

为了对传动机构100进行支撑，本实用新型实施例所公开的晶圆旋干机，还包括设置于支撑箱体400内用于支撑传动机构100的支撑机构401；

其中，支撑机构401包括第一支撑板401，第二支撑板402和第三支撑板403，第一支撑板401用于支撑电机101和传动轴壳体106，第二支撑板402和第三支撑板403分别设置于第一支撑板401的两端用于支撑第一支撑板401。

需要说明的是，连接轴104与传动轴105之间通过第一轴承连接，传动轴105与传动轴壳体106之间通过第二轴承连接，连接轴104与传动轴壳体106均固定于支撑箱体400 内部的第一支撑板400上，传动轴105设置于连接轴104与传动轴壳体106之间，且可在电机101的作用下带动甩干盘201转动。

为了便于固定连接轴104，本实用新型实施例所公开的晶圆旋干机中，支撑机构401 还包括设置于第一支撑板401一侧用于固定连接轴104的第四支撑板404，和设置于第四支撑板404下部用于支撑第四支撑板404的第五支撑板405。

本实用新型实施例对连接轴104与第四支撑板的具体连接结构不进行限定，本领域技术人员可根据实际需要进行选择，只要实现两者之间的固定即可。

作为优选实施例，本实用新型实施例所公开的连接轴104的上端头还设置有防水罩，其中，防水罩设置于甩干盘201内部的中空腔体内。当甩干盘201旋转的过程中，可有效避免废水流入传动机构100上损坏传动机构100。

需要说明的是，甩干箱体300上还设置有可观测的透明面板，工作人员可实时观测甩干箱体300内的甩干机构200的运行情况。

需要进一步说明的是，支撑箱体400上设置有启动按钮、停止按钮和计时器，其中启动按钮和停止按钮均用于控制驱动机构的启停，计时器可显示当前晶圆旋干机运行的倒计时。

在本申请的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。

对所公开的实施例的上述说明，使本领域专业技术人员能够实现或使用本实用新型。对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本实用新型的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本实用新型将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。

Claims (10)

1.一种晶圆旋干机，其特征在于，包括传动机构和甩干机构，所述传动机构与所述甩干机构相连，所述传动机构能够带动所述甩干机构转动；

所述甩干机构包括甩干盘，支撑柱和卡柱，所述支撑柱为多个且沿所述甩干盘的周向设置，所述卡柱设置于所述支撑柱上用于卡接所述晶圆。

2.根据权利要求1所述的晶圆旋干机，其特征在于，所述支撑柱上用于与所述晶圆接触的端面为锥面。

3.根据权利要求1所述的晶圆旋干机，其特征在于，所述甩干盘为环形的盘状结构，所述支撑柱设置于所述甩干盘的端面上。

4.根据权利要求1所述的晶圆旋干机，其特征在于，还包括甩干箱体和支撑箱体，所述甩干机构设置于所述甩干箱体内，所述传动机构设置于所述支撑箱体内；

所述甩干箱体的底板为斜板，所述斜板的较低一侧设置有用于废水排出的排水口。

5.根据权利要求4所述的晶圆旋干机，其特征在于，所述甩干箱体的底板上设置有环形凸起，所述甩干盘上设置有用于与所述环形凸起相配合的环形凹槽。

6.根据权利要求4所述的晶圆旋干机，其特征在于，所述传动机构包括驱动机构、齿轮传动机构和转动机构，所述驱动机构通过所述齿轮传动机构与所述转动机构相连。

7.根据权利要求6所述的晶圆旋干机，其特征在于，所述驱动机构为电机，所述齿轮传动机构包括第一齿轮、第二齿轮和皮带，所述转动机构包括连接轴、传动轴和传动轴壳体；

所述连接轴固定于所述支撑箱体内，所述传动轴套设于所述连接轴上，且所述传动轴能够在所述连接轴上旋转，所述传动轴壳体套设于所述传动轴上，所述第一齿轮设置于所述电机的电机轴上，所述第二齿轮设置于所述传动轴上，所述第一齿轮和所述第二齿轮通过所述皮带连接。

8.根据权利要求7所述的晶圆旋干机，其特征在于，还包括设置于所述支撑箱体内用于支撑所述传动机构的支撑机构；

所述支撑机构包括第一支撑板，第二支撑板和第三支撑板，所述第一支撑板用于支撑所述电机和所述传动轴壳体，所述第二支撑板和所述第三支撑板分别设置于所述第一支撑板的两端用于支撑所述第一支撑板。

9.根据权利要求8所述的晶圆旋干机，其特征在于，所述支撑机构还包括设置于所述第一支撑板一侧用于固定所述连接轴的第四支撑板，和设置于所述第四支撑板下部用于支撑所述第四支撑板的第五支撑板。

10.根据权利要求7所述的晶圆旋干机，其特征在于，所述连接轴的上端头还设置有防水罩，所述防水罩设置于所述甩干盘内部的中空腔体内。

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