CN210165665U - 一种硅片甩干装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开一种硅片甩干装置，包括甩干桶、转盘、驱动机构和转动机构，驱动机构安装在甩干桶底部，且驱动机构上方安装有转盘，转盘上安装有转动机构，转动机构包括多个固定架和多个连接板，固定架沿着转盘的圆周方向间隔设置，且相邻的固定架之间连接有连接板，本实用新型解决了现有技术中硅片放置盒不能单独翻转，不利于装配硅片花篮的技术问题。

Description

一种硅片甩干装置

技术领域

本实用新型涉及硅片辅助技术领域，尤其涉及一种硅片甩干装置。

背景技术

硅片旋转冲洗甩干是专门用于太阳能电池片和半导体硅片的生产制造过程中对湿法腐蚀清洗后的硅片进行干燥和洁净化处理的一道重要工序，现有的硅片放置盒通常都是整体放置、整体安装，不能单独翻转放置花篮或者硅片，这样操作不方便。

授权公告号为CN102706131A的专利公开了一种甩干机内筒组合件，包括内筒底板，所述内筒底板上表面环绕分布若干片盒夹具，每两个相邻的片盒夹具里端通过内加强板固定连接，同时，每两个相邻的片盒夹具外端通过外加强板固定连接；所述内筒底板中心位置处开设一个中心通孔，每个片盒夹具外表面设置若干固定孔。该专利中的片盒夹具是多个夹具装配在一起，这样无法单独翻转，不利于单独放置和查看硅片。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种硅片甩干装置，解决了现有技术中硅片放置盒不能单独翻转，不利于装配硅片花篮的技术问题。

一种硅片甩干装置，包括甩干桶、转盘、驱动机构和转动机构，所述驱动机构安装在甩干桶底部，且驱动机构上方安装有转盘，所述转盘上安装有转动机构，所述转动机构包括多个固定架和多个连接板，所述固定架沿着转盘的圆周方向间隔设置，且相邻的固定架之间连接有所述连接板。

在上述技术方案的基础上，本实用新型还可以做如下改进：

进一步地，所述固定架至少为四个，采用本步的有益效果是通过多个固定架能够用于放置装有硅片的花篮。

进一步地，所述固定架包括限位槽、放料框和销轴，所述限位槽固定在所述转盘上，且限位槽的开口朝内，所述放料框为内侧开口的矩形框体，所述放料框位于所述限位槽内部，且放料框上方与限位槽上方通过销轴连接，采用本步的有益效果是固定架分成多个部分，放料框能够翻转，这样便于放置花篮和拿取花篮。

进一步地，所述限位槽、放料框的侧面均开设有多个通孔，采用本步的有益效果是通过多个通孔便于水滴甩出。

进一步地，所述放料框上方安装有拨动杆，采用本步的有益效果是通过拨动杆能够便于拨动放料框。

进一步地，所述驱动机构为驱动电机，所述驱动电机上方的输出端与转盘连接。

本实用新型的有益效果：

1.本实用新型提供一种硅片甩干装置，通过驱动机构带动转盘转动，从而实现处于转动机构内部的硅片甩干，实现硅片的干燥处理。

2.本实用新型转动机构分成多个固定架，每个固定架内部的放料框都可以单独转动，便于放置花篮，这样操作方便，而且安装方便。

3.本实用新型结构简单，操作方便，且便于维护。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型具体实施例所述的一种硅片甩干装置的轴测图；

图2为本实用新型具体实施例所述的一种硅片甩干装置的俯视图；

图3为本实用新型具体实施例所述的一种硅片甩干装置的剖视图；

附图标记：

1-甩干桶；2-转盘；3-驱动机构；4-转动机构；5-通孔；6-拨动杆；

401-固定架；402-连接板；403-限位槽；404-放料框；405-销轴。

具体实施方式

下面将结合附图对本实用新型技术方案的实施例进行详细的描述。以下实施例仅用于更加清楚地说明本实用新型的技术方案，因此只作为示例，而不能以此来限制本实用新型的保护范围。

需要注意的是，除非另有说明，本申请使用的技术术语或者科学术语应当为本实用新型所属领域技术人员所理解的通常意义。

在本申请的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“上”、“下”、“外”、“内”、“底”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

在本申请中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

实施例1

如图1-3所示，本实施例所提供的一种硅片甩干装置，包括甩干桶1、转盘2、驱动机构3和转动机构4，所述驱动机构3安装在甩干桶1底部，且驱动机构3上方安装有转盘2，所述转盘2上安装有转动机构4，所述转动机构4包括多个固定架401和多个连接板402，所述固定架401沿着转盘2的圆周方向间隔设置，且相邻的固定架401之间连接有所述连接板402；本实施例是通过驱动机构3完成转盘2的转动，其中转动机构4是安装在转盘2上，转盘2转动时，转动机构4能够随之转动，从而实现硅片的甩干。而转动机构4分成两个部分，一个是固定架401，另一个是连接板402，所述固定架401至少为四个，固定架401是用于放置装有硅片的花篮，而连接板402是用于连接所述的固定架401，这样保证转盘转动时，转动机构4不会脱离转盘2。

如图1所示，所述固定架401包括限位槽403、放料框404和销轴405，所述限位槽403固定在所述转盘2上，且限位槽403的开口朝内，所述放料框404为内侧开口的矩形框体，所述放料框404位于所述限位槽403内部，且放料框404上方与限位槽403上方通过销轴405连接；本实施例中的固定架401，本实施例中的固定架401分成多个部分，是限位槽403和放料框404的组合体，其中限位槽403是焊接在转盘2上，上方与放料框404上方穿设有销轴405，这样放料框404能够绕着销轴405旋转，放料框404的内侧面为开口面，当该开口面在放料框404翻转朝上后，可以用于放置装有硅片的花篮，翻转放料框404，使得放料框404的开口面朝向内侧，完成花篮的放置。

如图1所示，所述限位槽403、放料框404的侧面均开设有多个通孔5；本实施例中限位槽403、放料框404的各个侧面上开设有的通孔5便于水滴甩出，保证硅片表面没有水滴残留。

如图1所示，所述放料框404上方安装有拨动杆6，本实施例中的拨动杆6为直角状，便于用户抓取，拉动放料框404翻转。

如图1所示，所述驱动机构3为驱动电机，所述驱动电机上方的输出端与转盘2连接；本实施例中驱动电机作为驱动源，能够带动转盘完成转动。

本实用新型的说明书中，说明了大量具体细节。然而，能够理解，本实用新型的实施例可以在没有这些具体细节的情况下实践。在一些实例中，并未详细示出公知的方法、结构和技术，以便不模糊对本说明书的理解。

在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不必须针对的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。此外，在不相互矛盾的情况下，本领域的技术人员可以将本说明书中描述的不同实施例或示例以及不同实施例或示例的特征进行结合和组合。

最后应说明的是：以上各实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的范围，其均应涵盖在本实用新型的权利要求和说明书的范围当中。

Claims (6)

1.一种硅片甩干装置，其特征在于，包括甩干桶、转盘、驱动机构和转动机构，所述驱动机构安装在甩干桶底部，且驱动机构上方安装有转盘，所述转盘上安装有转动机构，所述转动机构包括多个固定架和多个连接板，所述固定架沿着转盘的圆周方向间隔设置，且相邻的固定架之间连接有所述连接板。

2.根据权利要求1所述的一种硅片甩干装置，其特征在于，所述固定架至少为四个。

3.根据权利要求2所述的一种硅片甩干装置，其特征在于，所述固定架包括限位槽、放料框和销轴，所述限位槽固定在所述转盘上，且限位槽的开口朝内，所述放料框为内侧开口的矩形框体，所述放料框位于所述限位槽内部，且放料框上方与限位槽上方通过销轴连接。

4.根据权利要求3所述的一种硅片甩干装置，其特征在于，所述限位槽、放料框的侧面均开设有多个通孔。

5.根据权利要求4所述的一种硅片甩干装置，其特征在于，所述放料框上方安装有拨动杆。

6.根据权利要求5所述的一种硅片甩干装置，其特征在于，所述驱动机构为驱动电机，所述驱动电机上方的输出端与转盘连接。

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