CN217275357U - 一种甩干装置及晶圆甩干机 - Google Patents

Abstract

本实用新型实施例公开了一种甩干装置及晶圆甩干机，其中甩干装置包括甩干筒、转动机构、中空电机、排水机构和支撑机构，转动机构包括用于放置晶圆组件的甩干盘，和与甩干盘相连的传动轴；中空电机与传动轴相连，传动轴能够在中空电机的作用下带动甩干盘转动，以对晶圆组件进行清洗。和现有技术相比，本实用新型实施例采用了中空电机作为驱动机构，中空电机可有效减小振动，不仅使得整个甩干装置的稳定性提升，而且还能够有效避免碎片发生。

Description

一种甩干装置及晶圆甩干机

技术领域

本实用新型涉及甩干机技术领域，特别涉及一种甩干装置及晶圆甩干机。

背景技术

晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶圆，在晶圆的加工过程中，需要对晶圆进行湿法清洗，去除表面的杂质，在清洗后需要对晶圆进行甩干处理。

当前，现有的晶圆甩干机一般采用步进电机、伺服电机等驱动机构，而上述驱动机构不能带动重负载，不仅振动大、稳定性差，而且容易产生碎片。

因此，如何提供一种结构简单、稳定性好，且不容易产生碎片的甩干装置是本领域技术人员亟需解决的技术问题。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型的目的在于提供一种甩干装置，不仅结构简单，稳定性好，而且不容易产生碎片。

本实用新型的另一目的还在于提供一种晶圆甩干机。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种甩干装置，包括甩干筒、转动机构、中空电机、排水机构和支撑机构，所述转动机构包括用于放置晶圆组件的甩干盘，和与所述甩干盘相连的传动轴；

所述中空电机与所述传动轴相连，所述传动轴能够在所述中空电机的作用下带动所述甩干盘转动，以对所述晶圆组件进行清洗。

优选的，所述转动机构还包括定位盘，所述定位盘套设于所述传动轴的末端，且能够对所述甩干盘锁紧定位。

优选的，所述转动机构还包括防水件，所述防水件设置于所述中空电机和所述甩干筒之间。

优选的，所述转动机构还包括设置于所述甩干盘上的保护轴，所述保护轴设置于所述晶圆组件的上方，且所述保护轴上套设有缓冲管。

优选的，所述晶圆组件包括片盒，和设置于所述片盒内的晶圆本体。

优选的，所述支撑机构包括底板、固定支架和连接板，所述连接板设置于所述甩干筒上，所述固定支架的两端分别连接所述底板和所述连接板，所述固定支架为可升降式固定支架。

优选的，所述支撑机构还包括连接支架和固定板，所述连接支架为两个，且分别设置于所述中空电机的底部；所述固定板为两个，且分别设置于所述中空电机的两侧，且与所述固定板垂直相连。

优选的，所述支撑机构还包括减震支架，所述减震支架与所述固定板相连。

优选的，还包括氮气加热机构、氮气出风口和喷水加压除静电口，所述氮气加热机构设置于所述甩干筒的外部，所述氮气出风口设置于所述甩干筒上，且与所述氮气加热腔相连通。

一种晶圆甩干机，包括如上述任意一项所述的甩干装置。

由以上技术方案可以看出，和现有技术相比，本实用新型实施例采用了中空电机作为驱动机构，中空电机可有效减小振动，不仅使得整个甩干装置的稳定性提升，而且还能够有效避免碎片发生。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见的，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据提供的附图获得其他的附图。

图1为本实用新型实施例所公开的甩干装置的外观结构示意图；

图2为本实用新型实施例所公开的甩干装置的左剖面结构示意图；

图3为本实用新型实施例所公开的甩干装置的右剖面结构示意图；

图4为本实用新型实施例所公开的甩干装置的转动机构的结构示意图；

图5为本实用新型实施例所公开的甩干装置的转动机构的主视示意图；

图6为本实用新型实施例所公开的甩干装置的转动机构的侧视示意图。

其中，各部件名称如下：,

100为甩干筒，101为甩干腔，200为转动机构，201为甩干盘，202为传动轴，203为防水圈，204为防水垫，205为定位盘，206为保护轴，300为中空电机，400为排水机构，500为支撑机构，501为底板，502为固定支架，503为连接板，504为连接支架504，505为固定板，506为减震支架，600为氮气加热机构，700为氮气出风口，800为喷水加压除静电口。

具体实施方式

有鉴于此，本实用新型的核心在于提供一种甩干装置，不仅结构简单，稳定性好，而且不容易产生碎片。

本实用新型的另一核心还在于提供一种晶圆甩干机。

为了使本技术领域的人员更好地理解本实用新型方案，下面接合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步的详细说明，请参考图1至图6。

请参考图1，本实用新型实施例所公开的甩干装置，包括甩干筒100、转动机构200、中空电机300、排水机构400和支撑机构500，其中转动机构200包括用于放置晶圆组件的甩干盘201，和与甩干盘201相连的传动轴202，中空电机300与传动轴202相连，传动轴202能够在中空电机300的作用下带动甩干盘201转动，以对晶圆组件进行清洗，和现有技术相比，本实用新型实施例采用了中空电机300作为驱动机构，中空电机300可有效减小振动，不仅使得整个甩干装置的稳定性提升，而且还能够有效避免碎片发生。

请参考图4至图6，本实用新型实施例所公开的转动机构200还包括定位盘205，其中定位盘205设置于传动轴202的末端，且能够对甩干盘201进行锁紧定位。

需要说明的是，定位盘205的作用为使得甩干盘201回原点，首先，将晶圆组件正向放入甩干盘201内，经过甩干装置的清洗吹干后，需要将晶圆组件取出来，但是当甩干结束时，晶圆组件不一定是正向放置的，因此需要用到定位盘205使得甩干盘201回到原点。

其中，定位盘205通过气缸进行固定，定位盘205上的凹点与气缸的凸点相结合，使得甩干盘201回到原点，进而对甩干盘201进行锁紧。

为了避免甩干筒100内的水进入中空电机300内部，对中空电机300造成损坏，本实用新型实施例所公开的甩干装置还包括防水件，其中防水件设置于中空电机300与甩干筒100之间，通过防水件的设置，可避免甩干筒100内的水进入到中空电机300内。

本实用新型实施例对防水件的具体结构不进行限定，防水件可以为防水圈203，可以为防水垫204，当然也可以为防水圈203与防水垫204的组合件，只要满足本实用新型使用要求的结构均在本实用新型的保护范围之内。

为了优化上述实施例，本实用新型实施例所公开的甩干装置优选采用防水圈203和防水垫204的组合件，其中，防水圈203和防水垫204均套设于传动轴202上，如此设置，可以对中空电机300进一步起到有效的防水作用。

在对晶圆组件进行清洗的过程中，为了避免晶圆组件在甩干的过程中撞击到硬物，本实用新型实施例所公开转动机构200还包括设置于甩干盘201上的保护轴206，保护轴206设置于晶圆组件的上方，且保护轴206上套设有缓冲管。

在晶圆组件甩干的过程中，本实用新型实施例所公开的甩干装置由于设置了保护轴206和缓冲管，当晶圆组件碰撞到缓冲管时，由于缓冲管的缓冲作用，在运行时可以避免晶圆组件受重力和离心力过大或过小时冲撞导致碎片。

其中，缓冲管可以为PU气管，也可以为水管，只要满足本实用新型使用要求的结构均在本实用新型的保护范围之内。

本实用新型实施例对所公开的晶圆组件的具体结构不进行限定，只要满足本实用新型使用要求的结构均在本实用新型的保护范围之内。

作为优选实施例，本实用新型实施例所公开的晶圆组件包括片盒，和设置于片盒内的晶圆本体，其中，在晶圆甩干的环节中，只需要将片盒放入甩干盘201内，即可将晶圆本体和片盒一起进行甩干清洗工作，在此过程中，无需将原有的片盒去换到其它形状的片盒内，因此不仅有效减少了操作步骤，还有效提高了生产效率。

由于本实用新型实施例所公开的片盒可以一次性处理25片以上的晶圆本体，因而大大提高了生产效率。

本实用新型实施例对排水机构400的具体结构不进行限定，排水机构400可以为排水管，也可以为排水槽，只要满足本实用新型使用要求的结构均在本实用新型的保护范围之内。

为了方便设置，本实用新型实施例所公开的排水机构400优选采用排水管，清洗完成的污水可以从排水管内排出。

本实用新型实施例对支撑机构500的具体结构不进行限定，支撑机构500可以为支撑架，也可以为支撑座，只要满足本实用新型使用要求的结构均在本实用新型的保护范围之内。

为了优化上述实施例，本实用新型实施例所公开的支撑机构500包括底板501、固定支架502和连接板503，其中连接板503设置于甩干筒100上，固定支架502的两端分别连接底板501和连接板503，以实现对甩干筒100的有效支撑。

为了对甩干筒100进行有效支撑，本实用新型实施例所公开的固定支架502采用可升降式结构，本领域技术人员可根据实际需要进行选择。

作为优选实施例，本实用新型实施例所公开的固定支架502的两端分别设置有调节螺母，通过调节调节螺母可以调节固定支架502的高度。

为了对中空电机300进行有效支撑，本实用新型实施例所公开的支撑机构500还包括连接支架504和固定板505，其中，连接支架504为两个，且分别设置于中空电机300的底部，固定板505为两个，且分别设置于中空电机300的两侧，且与固定板505垂直相连。两个连接支架504和两个固定板505与中空电机300形成三角形结构，避免中空电机300运行时出现位移，从而提升中空电机300的稳定性。

本实用新型实施例所公开的支撑机构500还包括减震支架506，其中减震支架506与固定板505相连，当中空电机300在运行时，通过减震支架506可把产生的震动抵消掉，从而提高甩干装置的整体稳定性，减少碎片的产生。

本实用新型实施例对减震支架506的具体结构不进行限定，只要满足本实用新型使用要求的结构均在本实用新型的保护范围之内。

为了优化上述实施例，本实用新型实施例所公开的减震支架506的中部优选采用硅胶组成。

本实用新型实施例所公开的甩干装置，还包括氮气加热机构600、氮气出风口700和喷水加压除静电口800，氮气加热机构600设置于甩干筒100的外部，氮气出风口700设置于甩干筒100上，且与氮气加热机构600相连通。

当甩干装置工作时，采用喷水加压机构通过喷水加压除静电口800进入甩干筒100的甩干腔101内清洗晶圆组件的表面，然后通过氮气加热机构600对甩干腔101内的氮气加热，对晶圆组件进行吹甩，晶圆组件在高温高风压高转速的条件下，在重力和离心力的作用修改进行甩干，使得晶圆达到高洁净度的要求。

由于甩干装置还具有除静电功能，因此可减少后期静电的处理时间，从而有效提高了工作效率。

本实用新型实施例还公开了一种晶圆甩干机，包括如上述任意一项实施例所公开的甩干装置。

由于晶圆甩干机采用了本实用新型实施例所公开的晶圆甩干装置，因此，晶圆甩干机兼具上述晶圆甩干装置的技术优势，本实用新型实施例对此不再进行赘述。

在本申请的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。

对所公开的实施例的上述说明，使本领域专业技术人员能够实现或使用本实用新型。对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本实用新型的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本实用新型将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。

Claims (10)

1.一种甩干装置，其特征在于，包括甩干筒、转动机构、中空电机、排水机构和支撑机构，所述转动机构包括用于放置晶圆组件的甩干盘，和与所述甩干盘相连的传动轴；

所述中空电机与所述传动轴相连，所述传动轴能够在所述中空电机的作用下带动所述甩干盘转动，以对所述晶圆组件进行清洗。

2.根据权利要求1所述的甩干装置，其特征在于，所述转动机构还包括定位盘，所述定位盘套设于所述传动轴的末端，且能够对所述甩干盘锁紧定位。

3.根据权利要求1所述的甩干装置，其特征在于，所述转动机构还包括防水件，所述防水件设置于所述中空电机和所述甩干筒之间。

4.根据权利要求1所述的甩干装置，其特征在于，所述转动机构还包括设置于所述甩干盘上的保护轴，所述保护轴设置于所述晶圆组件的上方，且所述保护轴上套设有缓冲管。

5.根据权利要求1所述的甩干装置，其特征在于，所述晶圆组件包括片盒，和设置于所述片盒内的晶圆本体。

6.根据权利要求1所述的甩干装置，其特征在于，所述支撑机构包括底板、固定支架和连接板，所述连接板设置于所述甩干筒上，所述固定支架的两端分别连接所述底板和所述连接板，所述固定支架为可升降式固定支架。

7.根据权利要求1所述的甩干装置，其特征在于，所述支撑机构还包括连接支架和固定板，所述连接支架为两个，且分别设置于所述中空电机的底部；所述固定板为两个，且分别设置于所述中空电机的两侧，且与所述固定板垂直相连。

8.根据权利要求7所述的甩干装置，其特征在于，所述支撑机构还包括减震支架，所述减震支架与所述固定板相连。

9.根据权利要求1所述的甩干装置，其特征在于，还包括氮气加热机构、氮气出风口和喷水加压除静电口，所述氮气加热机构设置于所述甩干筒的外部，所述氮气出风口设置于所述甩干筒上，且与所述氮气加热腔相连通。

10.一种晶圆甩干机，其特征在于，包括如权利要求1-9任意一项所述的甩干装置。

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