CN214956774U - 一种晶圆旋转冲洗甩干设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了本实用新型提供了一种晶圆旋转冲洗甩干设备，包括：腔体、腔体外壳、底座和伺服电机，所述腔体通过支架设于腔体外壳内，所述腔体外壳设于底座的上方，所述伺服电机设于腔体的一侧，且所述伺服电机的输出端与腔体内的晶圆支架连接。本实用新型所述的一种晶圆旋转冲洗甩干设备，其结构简单、设计合理、易于生产，让腔体、腔体外壳、底座和伺服电机形成模块化，让其能够根据客户的需要组成单腔或者多腔结构，降低了改设备的制作难度和投入成本，让用户有更多的选择空间，从而让其能够更好的满足客户的需要。

Description

一种晶圆旋转冲洗甩干设备

技术领域

本实用新型属于晶圆加工技术领域，特别涉及一种晶圆旋转冲洗甩干设备。

背景技术

晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅。高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅。硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆。

加工后的晶圆通常需要对其表面清洗，现有的晶圆冲洗甩干设备通常为单腔或者双腔，无论是单腔还是双腔的设备其支架和外壳需要分别设计和生产，设计生产成本加大。现有的冲洗甩干设备的结构较为复杂，组装工序较为繁琐，且现有的冲洗甩干设备由于其结构设计的不够合理，导致其在后期使用的过程中不够稳定，影响其对晶圆的冲洗、甩干质量；

与此同时，在后期使用的过程中，用户无法根据实际的需要选择单腔或者双腔，用户选用不灵活，买了双腔的想变成单腔的变不了。买了双腔的想变成单腔的同样变不了，从而导致企业的生产设备的投入增加，因而现有的晶圆冲洗甩干设备有待于提高。

实用新型内容

实用新型目的：为了克服以上不足，本实用新型的目的是提供一种晶圆旋转冲洗甩干设备，其结构简单、设计合理、易于生产，让腔体、腔体外壳、底座和伺服电机形成模块化，让其能够根据客户的需要组成单腔或者多腔结构，降低了改设备的制作难度和投入成本，让用户有更多的选择空间。

技术方案：为了实现上述目的，本实用新型提供了一种晶圆旋转冲洗甩干设备，包括：腔体、腔体外壳、底座和伺服电机，所述腔体通过支架设于腔体外壳内，所述腔体外壳设于底座的上方，所述伺服电机设于腔体的一侧，且所述伺服电机的输出端与腔体内的晶圆支架连接。本实用新型所述的一种晶圆旋转冲洗甩干设备，其结构简单、设计合理、易于生产，让腔体、腔体外壳、底座和伺服电机形成模块化，让其能够根据客户的需要对其进行组装，降低了改设备的制作难度和投入成本，让用户有更多的选择空间，从而让其能够更好的满足客户的需要。

本实用新型中所述腔体外壳包括背板、盖板、一组侧板、一组支撑架和一组用于安装腔体的支撑座，所述背板和盖板相对设置，所述侧板设于背板和盖板的两侧，所述支撑架设于腔体外壳的四个角上，所述支撑座的两侧与支撑架连接，所述腔体下方的支架设于支撑座上；

所述盖板上设有开口，开口处设有门板。

其中，还包括喷水装置、加热装置和静电消除器，所述喷水装置通过安装座与腔体连接，且所述喷水装置与水管连接，所述加热装置两端与腔体连接，所述静电消除器设于腔体的表面。

进一步的，还包括电磁阀，所述电磁阀通过电磁阀安装支架与腔体连接，所述电磁阀安装支架包括支撑箱架和辅助支架，所述支撑箱架一端固定于腔体上，所述辅助支架一端与支撑箱架连接，另一端与喷水装置连接。

更进一步的，所述喷水装置靠近水管的一侧设有第一气动阀，且所述喷水装置通过一组PFA接头与第一气动阀连接，所述水管远离喷水装置的一端设有一组分支管道；

所述分支管道包括第一分支管道和第二分支管道，所述第一分支管道上设有压力传感器，所述第二分支管道上设有第二气动阀，所述第二气动阀通过固定架与腔体连接，且位于第二气动阀的下方设有分气块，所述分气块的一侧设有压力传感器。所述气动阀和PFA接头以及压力传感器的设置，能够有效的提高喷水的效果。

优选的，所述加热装置的一端设有过滤器和第三气动阀。

更进一步的，所述支架包括一组腔体外壳支架和腔体支架，所述腔体外壳支架设于腔体外壳的两侧，其一端与腔体外壳连接，一端与腔体支架连接。

更进一步优选的，所述腔体支架包括一组侧壁板、横向连接架和基座，所述侧壁板相对设置，且其下部设于基座上，所述横向连接架设于两侧壁板之间；

优选的，所述侧壁板呈2字形，其包括上连接板、中部连接板、下连接板，所述上连接板和下连接板设于中部连接板的上、下两端，且两者呈反向设置，所述上连接板远离中部连接板的一侧设有侧板。

所述腔体支架中基座的设置便于其与腔体外壳连接，同时侧壁板采用独特的结构设置，便于腔体的安装，同时也提高了其安装的稳定性，让其更好的满足用户的需要。

所述伺服电机的两端设有凸轮，且所述伺服电机的前、后两端通过电机安装板与腔体支架连接；

所述电机安装板的下方设有安装座，所述安装座与侧壁板连接，且两者之间设有缓冲橡胶，所述伺服电机的外侧设有电机罩。

进一步优选的，所述腔体外壳支架包括上固定架、侧壁支架和下固定架，所述上固定架和下固定架设于侧壁支架的上、下两侧，所述上固定架通过螺栓与腔体连接，所述下固定架与侧壁板固定连接，且所述上固定架与侧壁支架呈倾斜状设置，所述上固定架与腔体相匹配。

此外，还包括制动机构，所述制动机构包括制动气缸、滚轮和制动凸轮，所述制动气缸设于支架上，并且所述制动气缸的输出端设有活塞杆，所述活塞杆的一端设有开口槽，所述滚轮设于开口槽中，并通过连接杆连接，所述制动凸轮通过涨套设于伺服电机的电机轴上，且所述滚轮与制动凸轮相配合；

所述制动气缸的输出端一侧设有侧板，所述侧板卡于固定架一侧的U型槽中，且所述固定架通过一组连接柱与电机安装板连接。

进一步的，还包括齿盘和编码器，所述齿盘设于伺服电机的电机轴上，并置于制动凸轮的一侧，所述编码器设于伺服电机的电机轴的末端，并与齿盘相配合。

上述技术方案可以看出，本实用新型具有如下有益效果：

1、本实用新型所述的一种晶圆旋转冲洗甩干设备，其结构简单、设计合理、易于生产，让腔体、腔体外壳、底座和伺服电机形成模块化，让其能够根据客户的需要进行组装，降低了改设备的制作难度和投入成本，让用户有更多的选择空间，从而让其能够更好的满足客户的需要。

2、本实用新型中所述腔体外壳包括背板、盖板、一组侧板、一组支撑架和一组用于安装腔体的支撑座，通过支撑架和支撑座的相互配合，能够有效的提高腔体外壳的承载性和稳定性，从而有效的提高腔体安装和后期使用的稳定性。

3、本实用新型中所述腔体支架包括一组侧壁板、横向连接架和基座，所述侧壁板相对设置，且其下部设于基座上，所述横向连接架设于两侧壁板之间。所述腔体支架中基座的设置便于其与腔体外壳连接，同时侧壁板采用独特的结构设置，便于腔体的安装，同时也提高了其安装的稳定性，让其更好的满足用户的需要。

4、本实用新型中所述腔体外壳支架包括上固定架、侧壁支架和下固定架，所述上固定架与侧壁支架呈倾斜状设置，所述上固定架与腔体相匹配。大大的提高了腔体外壳支架与腔体连接的贴合度，也进一步提高了腔体安装的稳定性，也有效的保证其工作的稳定性和安全性。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为本实用新型的侧视图；

图3为本实用新型腔体与腔体外壳的安装示意图；

图4为本实用新型中腔体的结构图；

图5为本实用新型中腔体进一步改进后的结构图；

图6为本实用新型中腔体的侧视图；

图7为本实用新型中制动机构和编码器的安装局部图。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施例，进一步阐明本实用新型。

实施例

下面详细描述本实用新型的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确的限定。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

实施例1

如图所示的一种晶圆旋转冲洗甩干设备，包括：腔体1、腔体外壳2、底座3和伺服电机4，所述腔体外壳2包括背板21、盖板22、一组侧板23、一组支撑架24和一组用于安装腔体1的支撑座25，所述背板21和盖板22相对设置，所述侧板23设于背板21和盖板22的两侧，所述支撑架24设于腔体外壳2的四个角上，所述支撑座25的两侧与支撑架24连接，所述腔体1下方通过支架5与支撑座25连接；所述腔体外壳2设于底座3的上方，所述伺服电机4设于腔体1的一侧，且所述伺服电机4的输出端与腔体1内的晶圆支架连接。

所述盖板22上设有开口，开口处设有门板221。

本实施例中还包括喷水装置6、加热装置7和静电消除器8，所述喷水装置6通过安装座与腔体1连接，且所述喷水装置6与水管9连接，所述加热装置7两端与腔体1连接，所述静电消除器8设于腔体1的表面；所述加热装置7的一端设有过滤器71和第三气动阀72。

本实施例中还包括电磁阀10，所述电磁阀10通过电磁阀安装支架11与腔体1连接，所述电磁阀安装支架11包括支撑箱架111和辅助支架112，所述支撑箱架111一端固定于腔体1上，所述辅助支架112一端与支撑箱架111连接，另一端与喷水装置6连接。

本实施例中所述喷水装置6靠近水管9的一侧设有第一气动阀61，且所述喷水装置6通过一组PFA接头62与第一气动阀61连接，所述水管9远离喷水装置6的一端设有一组分支管道；

所述分支管道包括第一分支管道和第二分支管道，所述第一分支管道上设有压力传感器，所述第二分支管道上设有第二气动阀63，所述第二气动阀63通过固定架与腔体1连接，且位于第二气动阀63的下方设有分气块64，所述分气块64的一侧设有压力传感器。

本实施例中所述支架5包括一组腔体外壳支架51和腔体支架52，所述腔体外壳支架51设于腔体1外壳的两侧，其一端与腔体外壳连接，一端与腔体支架52连接。

本实施例中所述腔体支架52包括一组侧壁板521、横向连接架522和基座523，所述侧壁板521相对设置，且其下部设于基座523上，所述横向连接架522设于两侧壁板521之间；优选的，所述侧壁板521呈2字形，其包括上连接板、中部连接板、下连接板，所述上连接板和下连接板设于中部连接板的上、下两端，且两者呈反向设置，所述上连接板远离中部连接板的一侧设有侧板。

本实施例中所述伺服电机4的两端设有凸轮41，且所述伺服电机4的前、后两端通过电机安装板42与腔体支架52连接；

所述电机安装板42的下方设有安装座43，所述安装座43与侧壁板521连接，且两者之间设有缓冲橡胶44，所述伺服电机4的外侧设有电机罩45。

本实施例中所述腔体外壳支架51包括上固定架511、侧壁支架512和下固定架513，所述上固定架511和下固定架513设于侧壁支架512的上、下两侧，所述上固定架511通过螺栓与腔体1连接，所述下固定架513与侧壁板521固定连接，且所述上固定架511与侧壁支架512呈倾斜状设置，所述上固定架511与腔体1相匹配。

实施例2

如图所示的一种晶圆旋转冲洗甩干设备，包括：腔体1、腔体外壳2、底座3和伺服电机4，所述腔体外壳2包括背板21、盖板22、一组侧板23、一组支撑架24和一组用于安装腔体1的支撑座25，所述背板21和盖板22相对设置，所述侧板23设于背板21和盖板22的两侧，所述支撑架24设于腔体外壳2的四个角上，所述支撑座25的两侧与支撑架24连接，所述腔体1下方通过支架5与支撑座25连接；所述盖板22上设有开口，开口处设有门板221；所述腔体外壳2设于底座3的上方，所述伺服电机4设于腔体1的一侧，且所述伺服电机4的输出端与腔体1内的晶圆支架连接。

本实施例中还包括喷水装置6、加热装置7和静电消除器8，所述喷水装置6通过安装座与腔体1连接，且所述喷水装置6与水管9连接，所述加热装置7两端与腔体1连接，所述静电消除器8设于腔体1的表面；所述加热装置7的一端设有过滤器71和第三气动阀72。

本实施例中还包括电磁阀10，所述电磁阀10通过电磁阀安装支架11与腔体1连接，所述电磁阀安装支架11包括支撑箱架111和辅助支架112，所述支撑箱架111一端固定于腔体1上，所述辅助支架112一端与支撑箱架111连接，另一端与喷水装置6连接。

本实施例中所述喷水装置6靠近水管9的一侧设有第一气动阀61，且所述喷水装置6通过一组PFA接头62与第一气动阀61连接，所述水管9远离喷水装置6的一端设有一组分支管道；

所述分支管道包括第一分支管道和第二分支管道，所述第一分支管道上设有压力传感器，所述第二分支管道上设有第二气动阀63，所述第二气动阀63通过固定架与腔体1连接，且位于第二气动阀63的下方设有分气块64，所述分气块64的一侧设有压力传感器。

本实施例中所述支架5包括一组腔体外壳支架51和腔体支架52，所述腔体外壳支架51设于腔体1外壳的两侧，其一端与腔体外壳连接，一端与腔体支架52连接。

本实施例中所述腔体支架52包括一组侧壁板521、横向连接架522和基座523，所述侧壁板521相对设置，且其下部设于基座523上，所述横向连接架522设于两侧壁板521之间；优选的，所述侧壁板521呈2字形，其包括上连接板、中部连接板、下连接板，所述上连接板和下连接板设于中部连接板的上、下两端，且两者呈反向设置，所述上连接板远离中部连接板的一侧设有侧板。

本实施例中所述伺服电机4的两端设有凸轮41，且所述伺服电机4的前、后两端通过电机安装板42与腔体支架52连接；

所述电机安装板42的下方设有安装座43，所述安装座43与侧壁板521连接，且两者之间设有缓冲橡胶44，所述伺服电机4的外侧设有电机罩45。

本实施例中所述腔体外壳支架51包括上固定架511、侧壁支架512和下固定架513，所述上固定架511和下固定架513设于侧壁支架512的上、下两侧，所述上固定架511通过螺栓与腔体1连接，所述下固定架513与侧壁板521固定连接，且所述上固定架511与侧壁支架512呈倾斜状设置，所述上固定架511与腔体1相匹配。

本实施例中还包括制动机构12，所述制动机构12包括制动气缸121、滚轮122和制动凸轮123，所述制动气缸121设于支架5上，并且所述制动气缸121的输出端设有活塞杆124，所述活塞杆124的一端设有开口槽，所述滚轮122设于开口槽中，并通过连接杆连接，所述制动凸轮123通过涨套设于伺服电机4的电机轴上，且所述滚轮122与制动凸轮123相配合；

所述制动气缸121的输出端一侧设有侧板，所述侧板卡于固定架125一侧的U型槽中，且所述固定架125通过一组连接柱与电机安装板42连接。

本实施例中还包括齿盘13和编码器14，所述齿盘13设于伺服电机4的电机轴上，并置于制动凸轮123的一侧，所述编码器14设于伺服电机4的电机轴的末端，并与齿盘13相配合。

以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型原理的前提下，还可以做出若干改进，这些改进也应视为本实用新型的保护范围。

Claims (10)

1.一种晶圆旋转冲洗甩干设备，其特征在于：包括：腔体（1）、腔体外壳（2）、底座（3）和伺服电机（4），所述腔体（1）通过支架（5）设于腔体外壳（2）内，所述腔体外壳（2）设于底座（3）的上方，所述伺服电机（4）设于腔体（1）的一侧，且所述伺服电机（4）的输出端与腔体（1）内的晶圆支架连接。

2.根据权利要求1所述的晶圆旋转冲洗甩干设备，其特征在于：所述腔体外壳（2）包括背板（21）、盖板（22）、一组侧板（23）、一组支撑架（24）和一组用于安装腔体（1）的支撑座（25），所述背板（21）和盖板（22）相对设置，所述侧板（23）设于背板（21）和盖板（22）的两侧，所述支撑架（24）设于腔体外壳（2）的四个角上，所述支撑座（25）的两侧与支撑架（24）连接，所述腔体（1）下方的支架（5）设于支撑座（25）上；

所述盖板（22）上设有开口，开口处设有门板（221）。

3.根据权利要求1所述的晶圆旋转冲洗甩干设备，其特征在于：还包括喷水装置（6）、加热装置（7）和静电消除器（8），所述喷水装置（6）通过安装座与腔体（1）连接，且所述喷水装置（6）与水管（9）连接，所述加热装置（7）两端与腔体（1）连接，所述静电消除器（8）设于腔体（1）的表面。

4.根据权利要求3所述的晶圆旋转冲洗甩干设备，其特征在于：所述喷水装置（6）靠近水管（9）的一侧设有第一气动阀（61），且所述喷水装置（6）通过一组PFA接头（62）与第一气动阀（61）连接，所述水管（9）远离喷水装置（6）的一端设有一组分支管道；

所述分支管道包括第一分支管道和第二分支管道，所述第一分支管道上设有压力传感器，所述第二分支管道上设有第二气动阀（63），所述第二气动阀（63）通过固定架与腔体（1）连接，且位于第二气动阀（63）的下方设有分气块（64），所述分气块（64）的一侧设有压力传感器；

所述加热装置（7）的一端设有过滤器（71）和第三气动阀（72）。

5.根据权利要求3所述的晶圆旋转冲洗甩干设备，其特征在于：还包括电磁阀（10），所述电磁阀（10）通过电磁阀安装支架（11）与腔体（1）连接，所述电磁阀安装支架（11）包括支撑箱架（111）和辅助支架（112），所述支撑箱架（111）一端固定于腔体（1）上，所述辅助支架（112）一端与支撑箱架（111）连接，另一端与喷水装置（6）连接。

6.根据权利要求1所述的晶圆旋转冲洗甩干设备，其特征在于：所述伺服电机（4）的两端设有凸轮（41），且所述伺服电机（4）的前、后两端通过电机安装板（42）与腔体支架（52）连接；

所述电机安装板（42）的下方设有安装座（43），所述安装座（43）与侧壁板（521）连接，且两者之间设有缓冲橡胶（44），所述伺服电机（4）的外侧设有电机罩（45）。

7.根据权利要求1所述的晶圆旋转冲洗甩干设备，其特征在于：所述支架（5）包括一组腔体外壳支架（51）和腔体支架（52），所述腔体外壳支架（51）设于腔体（1）外壳的两侧，其一端与腔体外壳（2）连接，一端与腔体支架（52）连接；

所述腔体支架（52）包括一组侧壁板（521）、横向连接架（522）和基座（523），所述侧壁板（521）相对设置，且其下部设于基座（523）上，所述横向连接架（522）设于两侧壁板（521）之间；

所述侧壁板（521）呈2字形，其包括上连接板、中部连接板、下连接板，所述上连接板和下连接板设于中部连接板的上、下两端，且两者呈反向设置，所述上连接板远离中部连接板的一侧设有侧板。

8.根据权利要求1所述的晶圆旋转冲洗甩干设备，其特征在于：所述腔体外壳支架（51）包括上固定架（511）、侧壁支架（512）和下固定架（513），所述上固定架（511）和下固定架（513）设于侧壁支架（512）的上、下两侧，所述上固定架（511）通过螺栓与腔体（1）连接，所述下固定架（513）与侧壁板（521）固定连接，且所述上固定架（511）与侧壁支架（512）呈倾斜状设置，所述上固定架（511）与腔体（1）相匹配。

9.根据权利要求1所述的晶圆旋转冲洗甩干设备，其特征在于：还包括制动机构（12），所述制动机构（12）包括制动气缸（121）、滚轮（122）和制动凸轮（123），所述制动气缸（121）设于支架（5）上，并且所述制动气缸（121）的输出端设有活塞杆（124），所述活塞杆（124）的一端设有开口槽，所述滚轮（122）设于开口槽中，并通过连接杆连接，所述制动凸轮（123）通过涨套设于伺服电机（4）的电机轴上，且所述滚轮（122）与制动凸轮（123）相配合；

所述制动气缸（121）的输出端一侧设有侧板，所述侧板卡于固定架（125）一侧的U型槽中，且所述固定架（125）通过一组连接柱与电机安装板（42）连接。

10.根据权利要求1所述的晶圆旋转冲洗甩干设备，其特征在于：还包括齿盘（13）和编码器（14），所述齿盘（13）设于伺服电机（4）的电机轴上，并置于制动凸轮（123）的一侧，所述编码器（14）设于伺服电机（4）的电机轴的末端，并与齿盘（13）相配合。

Images