CN221486431U - 一种外延片清洗机 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供有一种外延片清洗机，包括机体，所述机体的前表面上方安装有控制面板，所述机体的内部上表面安装有喷头，所述机体的内部下方表面安装有清洗盒，所述清洗盒的内部安装有内筒，所述内筒的内侧安装有连接轴，所述连接轴的一端安装有清洗槽，所述清洗槽的外侧安装有推拉隔板。该一种外延片清洗机，在内筒内部安装有连接轴和清洗槽，连接轴的一端与马达连接，通过马达带动连接轴转动从而带动清洗槽转动，在清洗槽转动时，能够对清洗槽内的外延片进行全面清洗，使得外延片的不同部分都能进行均匀程度的清洁，在清洗槽的内部两端安装有卡座，能够防止外延片移动脱离而影响清洁，增加了外延片安装的稳定，使得清洁工作更加安全。

Description

一种外延片清洗机

技术领域

本实用新型涉及外延片清洗技术领域，具体公开一种外延片清洗机。

背景技术

外延是半导体工艺当中的一种，硅片最底层是P型衬底硅，然后在衬底上生长一层单晶硅，这层单晶硅称为外延层，再后来在外延层上注入基区、发射区等等，最后基本形成纵向NPN管结构，外延层在其中是集电区，外延上面有基区和发射区，外延片就是在衬底上做好外延层的硅片。

现有的外延片清洗大多是通过清洗设备完成，但通过清洁设备清洗通常会发生清洗面清洁程度不均，使得外延片表面部分位置会出现清洁不彻底的问题，存在一定的使用弊端，降低了机器的使用效率，同时也给工作人员增加了工作内容，给使用者带来不便。

实用新型内容

鉴于现有技术中的上述缺陷或不足，本申请旨在提供一种外延片清洗机，包括机体，所述机体的前表面上方安装有控制面板，所述机体的内部上表面安装有喷头，所述机体的内部下方表面安装有清洗盒，所述清洗盒的内部安装有内筒，所述内筒的内侧安装有连接轴，所述连接轴的一端安装有清洗槽，所述清洗槽的外侧安装有推拉隔板，所述清洗槽的内侧安装有卡座，所述清洗槽靠近所述推拉隔板的外侧安装有网片，所述连接轴远离所述清洗槽的一端安装有马达。

优选的，所述马达安装在所述清洗盒的内侧，且所述马达的一端与所述连接轴可拆卸连接。

优选的，所述连接轴的宽度小于所述清洗槽的宽度，且所述清洗槽的两端均安装有所述连接轴。

优选的，所述内筒的高度与所述清洗盒的高度相同，所述内筒的宽度小于所述清洗盒的宽度，且所述清洗盒和所述内筒的宽度差与所述马达的宽度相同。

优选的，所述连接轴和所述马达的数量均为六个，六个所述连接轴和六个所述马达沿着所述清洗盒的纵截面对称分布。

优选的，所述卡座的形状为凹形，所述清洗槽的内部安装有两个所述卡座，两个所述卡座沿着所述清洗槽的纵截面对称分布。

有益效果

1、该一种外延片清洗机，在清洗盒的内部设置有内筒，通过设置内筒能够将清洗盒内的环境进行分割，避免内筒位置的清洗液体对外部产生影响，在内筒内部安装有连接轴和清洗槽，连接轴的一端与马达连接，通过马达带动连接轴转动从而带动清洗槽转动，在清洗槽转动时，内筒中的清洗液能够对清洗槽内的外延片进行全面清洗，使得外延片的不同部分都能进行均匀程度的清洁，有效避免了清洁程度不均和清洁不全面的问题，提高了机器的工作效率，减少了一定的人力消耗。

2、该一种外延片清洗机，在清洗槽的内部两端安装有卡座，在进行清洁工作时将外延片放置在卡座的内部，卡座的宽度与外延片的宽度相同，能够对外延片进行紧固，防止外延片移动脱离而影响清洁，增加了外延片安装的稳定，使得清洁工作更加安全，清洗槽的部分位置是采用网片安装，通过网片能够使得清洗盒内的清洗液进入到清洗槽内，使得外延片在安装稳定的同时也能够清洁彻底，大大增加了清洗槽使用的功能性，提高了机器使用的便利性，也更加稳定安全。

附图说明

通过阅读参照以下附图所作的对非限制性实施例所作的详细描述，本申请的其它特征、目的和优点将会变得更明显：

图1为本实用新型整体结构示意图；

图2为本实用新型清洗盒的结构示意图；

图3为本实用新型部分结构剖面示意图。

图中：1、机体；2、控制面板；3、清洗盒；4、喷头；5、内筒；6、推拉隔板；7、清洗槽；8、连接轴；9、马达；10、网片；11、卡座。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本申请作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释相关发明，而非对该发明的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与发明相关的部分。

本实用新型实施例中的附图：图中不同种类的剖面线不是按照国标进行标注的，也不对元件的材料进行要求，是对图中元件的剖视图进行区分。

请参阅图1-3，一种外延片清洗机，包括机体1，机体1的前表面上方安装有控制面板2，机体1的内部上表面安装有喷头4，机体1的内部下方表面安装有清洗盒3，清洗盒3的内部安装有内筒5，内筒5的内侧安装有连接轴8，连接轴8的一端安装有清洗槽7，清洗槽7的外侧安装有推拉隔板6，清洗槽7的内侧安装有卡座11，清洗槽7靠近推拉隔板6的外侧安装有网片10，连接轴8远离清洗槽7的一端安装有马达9。

其中，马达9安装在清洗盒3的内侧，且马达9的一端与连接轴8可拆卸连接，通过马达9带动连接轴8转动从而带动清洗槽7转动，在清洗槽7转动时，内筒5中的清洗液能够对清洗槽7内的外延片进行全面清洗。

其中，连接轴8的宽度小于清洗槽7的宽度，且清洗槽7的两端均安装有连接轴8，通过连接轴8与马达9连接带动清洗槽7转动，使得外延片的各个位置能够清洗彻底。

其中，内筒5的高度与清洗盒3的高度相同，内筒5的宽度小于清洗盒3的宽度，且清洗盒3和内筒5的宽度差与马达9的宽度相同，通过设置内筒5能够将清洗盒3内的环境进行分割，避免内筒5位置的清洗液体对外部产生影响。

其中，连接轴8和马达9的数量均为六个，六个连接轴8和六个马达9沿着清洗盒3的纵截面对称分布，同时设置多个部件便于增加清洗盒3的清洁效率，能够多个外延片一同清洁，使用更加方便。

其中，卡座11的形状为凹形，清洗槽7的内部安装有两个卡座11，两个卡座11沿着清洗槽7的纵截面对称分布，在进行清洁工作时将外延片放置在卡座11的内部，卡座11的宽度与外延片的宽度相同，能够对外延片进行紧固，防止外延片移动脱离而影响清洁。

需要说明的是，在清洗槽7的内部两端安装有卡座11，在进行清洁工作时将外延片放置在卡座11的内部，从而对外延片进行紧固，防止外延片移动脱离而影响清洁，增加了外延片安装的稳定，使得清洁工作更加安全，清洗槽7的部分位置是采用网片10安装，通过网片10能够使得清洗盒3内的清洗液进入到清洗槽7内，使得清洗槽7内的外延片进行清洁，大大增加了清洗槽7使用的功能性，提高了机器使用的便利性，也更加稳定安全。

在清洗盒3的内部设置有内筒5，通过设置内筒5能够将清洗盒3内的环境进行分割，避免内筒5位置的清洗液体对外部产生影响，在内筒5内部安装有连接轴8和清洗槽7，喷头4将清洗液喷入内筒5中，连接轴8的一端与马达9连接，通过马达9带动连接轴8转动从而带动清洗槽7转动，在清洗槽7转动时，内筒5中的清洗液能够对清洗槽7内的外延片进行全面清洗，使得外延片的不同部分都能进行均匀程度的清洁，有效避免了清洁程度不均和清洁不全面的问题，提高了机器的工作效率。

需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本申请。

以上描述仅为本申请的较佳实施例以及对所运用技术原理的说明。本领域技术人员应当理解，本申请中所涉及的发明范围，并不限于上述技术特征的特定组合而成的技术方案，同时也应涵盖在不脱离所述发明构思的情况下，由上述技术特征或其等同特征进行任意组合而形成的其它技术方案。例如上述特征与本申请中公开的(但不限于)具有类似功能的技术特征进行互相替换而形成的技术方案。

Claims (6)

1.一种外延片清洗机，包括机体（1），其特征在于：所述机体（1）的前表面上方安装有控制面板（2），所述机体（1）的内部上表面安装有喷头（4），所述机体（1）的内部下方表面安装有清洗盒（3），所述清洗盒（3）的内部安装有内筒（5），所述内筒（5）的内侧安装有连接轴（8），所述连接轴（8）的一端安装有清洗槽（7），所述清洗槽（7）的外侧安装有推拉隔板（6），所述清洗槽（7）的内侧安装有卡座（11），所述清洗槽（7）靠近所述推拉隔板（6）的外侧安装有网片（10），所述连接轴（8）远离所述清洗槽（7）的一端安装有马达（9）。

2.根据权利要求1所述的一种外延片清洗机，其特征在于：所述马达（9）安装在所述清洗盒（3）的内侧，且所述马达（9）的一端与所述连接轴（8）可拆卸连接。

3.根据权利要求1所述的一种外延片清洗机，其特征在于：所述连接轴（8）的宽度小于所述清洗槽（7）的宽度，且所述清洗槽（7）的两端均安装有所述连接轴（8）。

4.根据权利要求1所述的一种外延片清洗机，其特征在于：所述内筒（5）的高度与所述清洗盒（3）的高度相同，所述内筒（5）的宽度小于所述清洗盒（3）的宽度，且所述清洗盒（3）和所述内筒（5）的宽度差与所述马达（9）的宽度相同。

5.根据权利要求1所述的一种外延片清洗机，其特征在于：所述连接轴（8）和所述马达（9）的数量均为六个，六个所述连接轴（8）和六个所述马达（9）沿着所述清洗盒（3）的纵截面对称分布。

6.根据权利要求1所述的一种外延片清洗机，其特征在于：所述卡座（11）的形状为凹形，所述清洗槽（7）的内部安装有两个所述卡座（11），两个所述卡座（11）沿着所述清洗槽（7）的纵截面对称分布。