CN214269969U - 一种单晶炉主室吊装定位装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种单晶炉主室吊装定位装置，包括吊装机构和定位导向机构，所述吊装机构包括立柱和与所述立柱连接的吊臂，所述立柱竖向设置，所述吊臂横向设置，所述吊臂可绕所述立柱的轴线做水平旋转运动，并可沿所述立柱的轴线做竖向升降运动；所述定位导向机构包括导向套和与所述导向套相适配的导向杆，所述导向杆与所述立柱连接，所述导向套与所述吊臂连接，所述吊臂沿所述立柱的轴线做竖向下降运动时，所述导向套可套在所述导向杆外沿所述导向杆下降。根据本实用新型实施例的单晶炉主室吊装定位装置，通过定位导向机构引导主室的吊装，可以消除吊装机构的传动间隙，提高吊装的便利性，降低吊装风险的同时，提高了吊装精度。

Description

一种单晶炉主室吊装定位装置

技术领域

本实用新型涉及单晶炉制备技术领域，具体涉及一种单晶炉主室吊装定位装置。

背景技术

半导体级单晶硅生长设备通常随着硅片尺寸的增大而不断增大，设备主室的尺寸和重量已经让人工操作其旋转变得越来越困难，现在大多数设备已经采用电机驱动主室旋转，但由于主室吊臂U型上吊钩的U型槽与主室下吊钩的间隙较小，加上传动机构中存在齿轮传动间隙，主室吊臂的超长长度对传动间隙又具有放大作用，使得此传动间隙已远超过主室上下挂钩之间的间隙，这就会使上挂钩下降时不能精确定位，若没有人员干预，经常会碰到下吊钩的顶面，造成定位异常，严重的可能会造成设备机械损坏，影响设备的正常运行；另外在主室吊臂吊装上炉室与下炉室合炉时，过大的传动间隙会影响复位精度，导致上下炉室止口定位偏差，入止口的过程产生炉室晃动，影响设备平稳性；由于以上原因就让主室吊臂上挂钩与主室下挂钩的自动定位比较难实现，需要人员在过程中反复确认和干预才能保证设备顺利安全运行，这就对设备操作的便利性产生很大的影响。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型提供一种单晶炉主室吊装定位装置，能够解决现有技术中因传动间隙过大而影响吊装精度，继而导致上下炉室定位偏差的问题。

为解决上述技术问题，本实用新型采用以下技术方案：

本实用新型实施例提供了一种单晶炉主室吊装定位装置，其特征在于，包括吊装机构和定位导向机构，其中：

所述吊装机构包括立柱和与所述立柱连接的吊臂，所述立柱竖向设置，所述吊臂横向设置，所述吊臂可绕所述立柱的轴线做水平旋转运动，并可沿所述立柱的轴线做竖向升降运动；

所述定位导向机构包括导向套和与所述导向套相适配的导向杆，所述导向杆与所述立柱连接，所述导向套与所述吊臂连接，所述吊臂沿所述立柱的轴线做竖向下降运动时，所述导向套可套在所述导向杆外沿所述导向杆下降。

可选的，所述吊装机构用于吊装主室，所述吊臂上设置有第一挂钩，所述主室上设置有与所述第一挂钩对应的第二挂钩，所述吊臂和所述主室之间通过所述第一挂钩和所述第二挂钩吊装连接。

可选的，所述第一挂钩和所述第二挂钩之间通过连接销连接。

可选的，所述立柱的侧面设置有若干导向杆固定座，所述若干导向杆固定座竖向间隔分布，所述导向杆通过所述若干导向杆固定座竖向安装固定于所述立柱的侧面。

可选的，所述导向杆的靠近所述导向套的一端呈圆锥形。

可选的，所述导向套设有C型开口。

可选的，所述立柱的侧面固定设置有底板，所述导向套设置于所述底板上。

可选的，所述导向套的远离所述底板的一侧还设置有压板。

可选的，所述导向套为尼龙导向套。

可选的，还包括：

驱动单元，所述驱动单元与所述吊臂连接，用于驱动所述吊臂做水平旋转运动以及竖向升降运动。

本实用新型上述技术方案的有益效果如下：

根据本实用新型实施例的单晶炉主室吊装定位装置，通过定位导向机构引导主室的吊装，可以消除吊装机构的传动间隙，提高吊装的便利性，降低吊装风险的同时，提高了吊装精度。

附图说明

图1为本实用新型实施例提供的吊装机构的结构示意图；

图2为本实用新型实施例提供的单晶炉主室吊装定位装置的结构示意图；

图3为本实用新型实施例提供的定位导向机构的结构示意图。

具体实施方式

为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例的附图，对本实用新型实施例的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例是本实用新型的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于所描述的本实用新型的实施例，本领域普通技术人员所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参考图1至图3，图1为本实用新型实施例提供的吊装机构的结构示意图，图2为本实用新型实施例提供的单晶炉主室吊装定位装置的结构示意图，图3为本实用新型实施例提供的定位导向机构的结构示意图。如图1至图3所示，本实用新型实施例中的单晶炉主室吊装定位装置可以包括吊装机构和定位导向机构，其中，所述吊装机构包括立柱和与所述立柱连接的吊臂5，所述立柱竖向设置，用于提供支撑力，而吊臂5则呈水平设置，用于吊挂物体，也就是说，所述立柱和所述吊臂之间互相垂直。并且，吊臂5可绕所述立柱的轴线做水平旋转运动，还可沿所述立柱的轴线做竖向升降运动，从而实现吊装物体。而所述定位导向机构则包括导向套7和与导向套7相适配的导向杆9，导向杆9与所述立柱连接，导向杆9同样呈竖向设置，而导向套7与吊臂5连接，吊臂5沿所述立柱的轴线做竖向下降运动时，导向套7可套在导向杆9外沿导向杆9下降，即沿导向杆9的轴线下降。

由此，本实用新型实施例中，在利用吊装机构吊装主室1时，吊臂5在最高位水平旋转至主室1的正上方，在吊臂5与主室1的相对位置到达预设位置时，也即在吊臂5上的导向套7正好位于导向杆9的正上方时，控制吊臂5沿所述立柱的轴向缓慢下降，使得导向套7正好套设在导向杆9的外围，由于导向套7的直径与导向杆9的直径的差值小于旋转时的传动间隙，因此，导向套7可以顺利下降到导向杆9的顶端，并进一步在导向杆9的导向作用下，利用导向杆9与导向套7之间的配合精度，最终下降至安装位置，使得吊臂5与主室1对准，并顺利连接。从而，通过定位导向机构引导主室的吊装，可以消除吊装机构的传动间隙，提高吊装的便利性，降低吊装风险的同时，提高了吊装精度。

在本实用新型实施例中，所述吊装机构用于吊装主室1，吊臂5上设置有第一挂钩4，主室1上设置有与第一挂钩4对应的第二挂钩2，吊臂5和主室1之间通过第一挂钩4和第二挂钩2吊装连接。其中，第一挂钩4可以呈U型，第一挂钩4和第二挂钩2之间通过连接销3连接，也就是说，当第二挂钩2刚好卡入第一挂钩4的U型口时，通过插入连接销3即可实现两者之间的连接，在吊装到位后，拔出连接销3即可实现两者之间的分离，由此方便安装和拆卸，提高吊装的效率。

本实用新型的一些实施例中，所述立柱的侧面设置有若干导向杆固定座10，若干导向杆固定座10竖向间隔分布，导向杆9则通过若干导向杆固定座10竖向安装固定于所述立柱的侧面。通过设置若干导向杆固定座10，可以使得导向杆9与所述立柱的侧面保持一定距离，从而使导向套7的设置位置更好选择，方便导向套7套设在导向杆9的外围并在导向杆9的导向作用下做竖向运动。

本实用新型的一些实施例中，导向杆9的靠近导向套7的一端呈圆锥形，通过设置成圆锥形，即缩小该端的直径，从而使导向套7的直径和导向杆9的该端部的直径的差值更大，可以消除更大的传动误差，使得吊装过程更便利，即吊臂5与主室1之间的相对位置确定更为容易，而当导向套7套进该端部并逐渐下移后，由于导向杆9的直径增大，因此导向套7与导向杆9之间的间隙减小，可以使得下降过程中的横向位移减小，从而减小吊臂5与主室1之间的横向位移偏差，提高定位精度。

本实用新型实施例中，导向套7设有C型开口，该C型开口与导向杆9的直径相适配，从而允许导向套7在竖向升降过程中可以套设在导向杆9外。

本实用新型的一些实施例中，所述立柱的侧面固定设置有底板6，导向套7设置于底板6上，以提高导向套7的固定强度。可选的，导向套7的远离底板6的一侧还设置有压板8，压板8可以进一步增强导向套7的强度，以免在吊装中发生碰撞时变形甚至掉落。当然，在底板6、压板8上对应于导向套7的C型开口的部位可以同样开设有C型开口，以允许导向杆9穿过。

本实用新型的一些实施例中，导向套7为尼龙导向套，也就是说，导向套7采用尼龙材质，具有坚韧耐磨，成本低，使用寿命长的优点。

本实用新型的另一些实施例中，所述单晶炉主室吊装定位装置还包括驱动单元，所述驱动单元与吊臂5连接，用于驱动吊臂5做水平旋转运动以及竖向升降运动，实现主室1的竖向位置调整和横向位置调整。

根据本实用新型实施例的单晶炉主室吊装定位装置，通过定位导向机构引导主室的吊装，可以消除吊装机构的传动间隙，提高吊装的便利性，降低吊装风险的同时，提高了吊装精度。

以上所述是本实用新型的部分实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型所述原理的前提下，还可以作出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。

Claims (10)

1.一种单晶炉主室吊装定位装置，其特征在于，包括吊装机构和定位导向机构，其中：

所述吊装机构包括立柱和与所述立柱连接的吊臂，所述立柱竖向设置，所述吊臂横向设置，所述吊臂可绕所述立柱的轴线做水平旋转运动，并可沿所述立柱的轴线做竖向升降运动；

所述定位导向机构包括导向套和与所述导向套相适配的导向杆，所述导向杆与所述立柱连接，所述导向套与所述吊臂连接，所述吊臂沿所述立柱的轴线做竖向下降运动时，所述导向套可套在所述导向杆外沿所述导向杆下降。

2.根据权利要求1所述的单晶炉主室吊装定位装置，其特征在于，所述吊装机构用于吊装主室，所述吊臂上设置有第一挂钩，所述主室上设置有与所述第一挂钩对应的第二挂钩，所述吊臂和所述主室之间通过所述第一挂钩和所述第二挂钩吊装连接。

3.根据权利要求2所述的单晶炉主室吊装定位装置，其特征在于，所述第一挂钩和所述第二挂钩之间通过连接销连接。

4.根据权利要求1所述的单晶炉主室吊装定位装置，其特征在于，所述立柱的侧面设置有若干导向杆固定座，所述若干导向杆固定座竖向间隔分布，所述导向杆通过所述若干导向杆固定座竖向安装固定于所述立柱的侧面。

5.根据权利要求1所述的单晶炉主室吊装定位装置，其特征在于，所述导向杆的靠近所述导向套的一端呈圆锥形。

6.根据权利要求1所述的单晶炉主室吊装定位装置，其特征在于，所述导向套设有C型开口。

7.根据权利要求6所述的单晶炉主室吊装定位装置，其特征在于，所述立柱的侧面固定设置有底板，所述导向套设置于所述底板上。

8.根据权利要求7所述的单晶炉主室吊装定位装置，其特征在于，所述导向套的远离所述底板的一侧还设置有压板。

9.根据权利要求1所述的单晶炉主室吊装定位装置，其特征在于，所述导向套为尼龙导向套。

10.根据权利要求1所述的单晶炉主室吊装定位装置，其特征在于，还包括：

驱动单元，所述驱动单元与所述吊臂连接，用于驱动所述吊臂做水平旋转运动以及竖向升降运动。

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