CN214244665U - 一种用于单晶炉钨丝绳自动对中的调整装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种用于单晶炉钨丝绳自动对中的调整装置，包括至少两组具有设定角度的调整机构(3)，每组所述调整机构(3)包括固定于单晶炉基架上的安装座、固定于所述安装座上的驱动装置，以及第一端与所述驱动装置的输出轴连接的丝杆，所述丝杆的第二端与单晶炉圆盘(2)的侧壁固定连接，钨丝绳(1)从所述圆盘(2)的中心孔穿过，所述驱动装置能够驱动所述丝杆沿其轴线方向移动。应用本实用新型实施例所提供的技术方案，钨丝绳的位置通过调整装置来调整，以此使钨丝绳与转动中心保持较高的同心度，以保证晶体生长过程的稳定性及晶体质量；通过调整装置控制，省时省力，效率较高，对中精准度较高。

Description

一种用于单晶炉钨丝绳自动对中的调整装置

技术领域

本实用新型涉及单晶炉技术领域，特别是涉及一种用于单晶炉钨丝绳自动对中的调整装置。

背景技术

单晶炉是通过钨丝绳将籽晶浸入石英坩埚内熔化的硅料中，在转动籽晶及坩埚的同时提升籽晶，并在籽晶下端生长晶棒。因此钨丝绳与转动中心需要保持较高的同心度，以保证晶体生长过程的稳定性及晶体质量。

现有技术中，钨丝绳对中依靠的是人工调整将钨丝绳固定住的上轴水平调整部件来实现，在钨丝绳的籽晶夹头一端安装上对中针然后降下籽晶夹头，使得对中针触及安装在下轴的校直靶上，再观察对中针是否正对校直靶中心，若未对中，需要先松开位于单晶炉最上端的用于固定上轴调整法兰的6个调整螺钉，因为调整法兰的下端连接着波纹管，各方向上具有移动量，就可以通过调整侧面的3个定位螺钉的松紧，来实现钨丝绳在三个方向上的移动使得保证对中，调整好后，在压紧法兰上的3个紧定螺钉，无变化后在锁紧侧面调整螺钉的螺母。

但是，钨丝绳对中调整主要是通过调整法兰侧面的3个定位螺钉来实现，操作方法非常繁琐，并且需要爬到10米多高的单晶炉顶部操作，效率较低，对中精度较低，较为危险。

综上所述，如何有效地解决钨丝绳对中调整操作不便，对中精度较低，效率较低，较为危险等问题，是目前本领域技术人员急需解决的问题。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种用于单晶炉钨丝绳自动对中的调整装置，该用于单晶炉钨丝绳自动对中的调整装置使钨丝绳对中调整实现自动化，对中精度较高，对中效率较高，较为安全。

为解决上述技术问题，本实用新型提供如下技术方案：

一种用于单晶炉钨丝绳自动对中的调整装置，包括至少两组具有设定角度的调整机构，每组所述调整机构包括固定于单晶炉基架上的安装座、固定于所述安装座上的驱动装置，以及第一端与所述驱动装置的输出轴连接的丝杆，所述丝杆的第二端与单晶炉圆盘的侧壁固定连接，钨丝绳从所述圆盘的中心孔穿过，所述驱动装置能够驱动所述丝杆沿其轴线方向移动。

优选地，所述调整机构的数量为三组，三组所述调整机构在圆周方向上均匀分布。

优选地，所述丝杆的轴线方向沿水平方向设置。

优选地，所述丝杆的轴线方向与所述圆盘的侧壁横向中心线的高度相同。

优选地，所述圆盘的侧壁具有圆孔，所述丝杆的末端与所述圆孔过盈配合。

优选地，所述丝杆和所述圆盘的材质均为钢铁，所述丝杆和所述圆盘的侧壁通过焊接连接。

优选地，所述驱动装置为电机。

优选地，还包括与所述驱动装置的电磁阀电连接的控制器。

本实用新型所提供的用于单晶炉钨丝绳自动对中的调整装置，调整装置用于单晶炉钨丝绳自动对中，包括至少两组调整机构，调整机构之间具有设定角度，可以均匀分布，也可以不均匀分布。调整机构可以同时驱动，也可以单独驱动，根据钨丝绳调整的角度和长度来确定调整机构的驱动数据，控制方便。每组调整机构包括安装座、驱动装置以及丝杆，安装座固定于单晶炉的基架上，基架可以是单晶炉的壳体部分，也可以是固定于单晶炉上的架子。安装座和基架可以是固定连接，比如焊接连接，连接牢固；也可以是通过螺栓连接，方便拆卸。

驱动装置固定于安装座上，丝杆的第一端与驱动装置的输出轴连接，具体可以通过联轴器连接。驱动装置为动力部件，驱动装置能够驱动丝杆沿其轴线方向移动。丝杆的第二端与单晶炉圆盘的侧壁固定连接，丝杆移动能够带动圆盘移动。圆盘的中心具有中心孔，钨丝绳从圆盘的中心孔穿过，当圆盘移动时，带动钨丝绳相应移动。

应用本实用新型实施例所提供的技术方案，钨丝绳的位置通过调整装置来调整，以此使钨丝绳与转动中心保持较高的同心度，以保证晶体生长过程的稳定性及晶体质量。钨丝绳对中调整通过驱动装置带动丝杆运动来实现，操作方便，不需要爬到10米多高的单晶炉顶部操作，较为安全；调整装置结构简单，成本较低；通过调整装置控制，省时省力，效率较高，对中精准度较高。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型中一种具体实施方式所提供的用于单晶炉钨丝绳自动对中的调整装置的结构示意图。

附图中标记如下：

1-钨丝绳、2-圆盘、3-调整机构。

具体实施方式

本实用新型的核心是提供一种用于单晶炉钨丝绳自动对中的调整装置，该用于单晶炉钨丝绳自动对中的调整装置使钨丝绳对中调整实现自动化，对中精度较高，对中效率较高，较为安全。

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参考图1，图1为本实用新型中一种具体实施方式所提供的用于单晶炉钨丝绳自动对中的调整装置的结构示意图。

在一种具体实施方式中，本实用新型所提供的用于单晶炉钨丝绳自动对中的调整装置，包括至少两组具有设定角度的调整机构3，每组调整机构3包括固定于单晶炉基架上的安装座、固定于安装座上的驱动装置，以及第一端与驱动装置的输出轴连接的丝杆，丝杆的第二端与单晶炉圆盘2的侧壁固定连接，钨丝绳1从圆盘2的中心孔穿过，驱动装置能够驱动丝杆沿其轴线方向移动。

上述结构中，调整装置用于单晶炉钨丝绳1自动对中，包括至少两组调整机构3，调整机构3之间具有设定角度，可以均匀分布，也可以不均匀分布。调整机构3可以同时驱动，也可以单独驱动，根据钨丝绳1调整的角度和长度来确定调整机构3的驱动数据，控制方便。

每组调整机构3包括安装座、驱动装置以及丝杆，安装座固定于单晶炉的基架上，基架可以是单晶炉的壳体部分，也可以是固定于单晶炉上的架子。安装座和基架可以是固定连接，比如焊接连接，连接牢固；也可以是通过螺栓连接，方便拆卸。

驱动装置固定于安装座上，丝杆的第一端与驱动装置的输出轴连接，具体可以通过联轴器连接。驱动装置为动力部件，驱动装置能够驱动丝杆沿其轴线方向移动。

丝杆的第二端与单晶炉圆盘2的侧壁固定连接，丝杆移动能够带动圆盘2移动。

圆盘2的中心具有中心孔，钨丝绳1从圆盘2的中心孔穿过，当圆盘2移动时，带动钨丝绳1相应移动。

应用本实用新型实施例所提供的技术方案，钨丝绳1的位置通过调整装置来调整，以此使钨丝绳1与转动中心保持较高的同心度，以保证晶体生长过程的稳定性及晶体质量。钨丝绳1对中调整通过驱动装置带动丝杆运动来实现，操作方便，不需要爬到10米多高的单晶炉顶部操作，较为安全；调整装置结构简单，成本较低；通过调整装置控制，省时省力，效率较高，对中精准度较高。

在上述具体实施方式的基础上，调整机构3的数量为至少两组，比如当调整机构3的数量为两组时，优选地，两组调整机构3间隔90°设置，两组调整机构3可以同时驱动，也可以单独驱动，以此可以精准调整钨丝绳1对中。当然，调整机构3还可以是三组，优选地，三组调整机构3在圆周方向上均匀分布，也就是间隔120°设置，可以更加精准的调整钨丝绳1对中，并且，对中速度更快，节省时间；并且，结构相对简单，易于控制。当然，调整机构3还可以为多组，调整更加精准。

进一步优化上述技术方案，本领域的技术人员可以根据具体场合的不同对上述具体实施方式进行若干改变，丝杆的轴线方向沿水平方向设置，丝杆平直的驱动圆盘2移动，驱动力大，易于驱动；没有扭矩，易于圆盘2平稳移动，不易转动，调整精度较高。

优选地，丝杆的轴线方向与圆盘2的侧壁横向中心线高度相同，丝杆在圆盘2的侧壁中间位置驱动圆盘2，圆盘2在竖直方向上受力较为均衡，丝杆可以整体驱动圆盘2移动，圆盘2不易上下翻转。

在上述各个具体实施例的基础上，至少有两种方式能够实现丝杆和圆盘2的固定连接，第一种方式为：圆盘2的侧壁具有圆孔，丝杆的末端插入圆孔，并且圆孔的孔径略小于丝杆的外径，丝杆与圆孔过盈配合，以此实现丝杆和圆盘2的固定连接，连接方便，易于操作。

第二种方式为，丝杆和圆盘2的材质均为钢铁，丝杆和圆盘2的侧壁通过焊接连接，结构简单，连接牢固。

当然，丝杆和圆盘2还可以通过螺栓连接，都在本实用新型的保护范围内。

对于上述各个实施例中的用于单晶炉钨丝绳自动对中的调整装置，驱动装置可以为电机，控制方便；还可以是气缸或者油缸，结构简单。

另一种较为可靠的实施例中，在上述任意一个实施例的基础之上，还包括控制器，控制器设置于控制室。驱动装置的开关处设置有电磁阀，控制器与驱动装置的电磁阀电连接，通过控制器控制电磁阀通断，以此控制驱动装置启动停止，可以实现自动化、远程控制，控制方便、准确。

本说明书中各个实施例采用递进的方式描述，每个实施例重点说明的都是与其他实施例的不同之处，各个实施例之间相同相似部分互相参见即可。

以上对本实用新型所提供的用于单晶炉钨丝绳自动对中的调整装置进行了详细介绍。本文中应用了具体个例对本实用新型的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本实用新型的方法及其核心思想。应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型原理的前提下，还可以对本实用新型进行若干改进和修饰，这些改进和修饰也落入本实用新型权利要求的保护范围内。因此，本实用新型将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。

Claims (8)

1.一种用于单晶炉钨丝绳自动对中的调整装置，其特征在于，包括至少两组具有设定角度的调整机构(3)，每组所述调整机构(3)包括固定于单晶炉基架上的安装座、固定于所述安装座上的驱动装置，以及第一端与所述驱动装置的输出轴连接的丝杆，所述丝杆的第二端与单晶炉圆盘(2)的侧壁固定连接，钨丝绳(1)从所述圆盘(2)的中心孔穿过，所述驱动装置能够驱动所述丝杆沿其轴线方向移动。

2.根据权利要求1所述的用于单晶炉钨丝绳自动对中的调整装置，其特征在于，所述调整机构(3)的数量为三组，三组所述调整机构(3)在圆周方向上均匀分布。

3.根据权利要求2所述的用于单晶炉钨丝绳自动对中的调整装置，其特征在于，所述丝杆的轴线方向沿水平方向设置。

4.根据权利要求3所述的用于单晶炉钨丝绳自动对中的调整装置，其特征在于，所述丝杆的轴线方向与所述圆盘(2)的侧壁横向中心线的高度相同。

5.根据权利要求1所述的用于单晶炉钨丝绳自动对中的调整装置，其特征在于，所述圆盘(2)的侧壁具有圆孔，所述丝杆的末端与所述圆孔过盈配合。

6.根据权利要求1所述的用于单晶炉钨丝绳自动对中的调整装置，其特征在于，所述丝杆和所述圆盘(2)的材质均为钢铁，所述丝杆和所述圆盘(2)的侧壁通过焊接连接。

7.根据权利要求1所述的用于单晶炉钨丝绳自动对中的调整装置，其特征在于，所述驱动装置为电机。

8.根据权利要求1-5任一项所述的用于单晶炉钨丝绳自动对中的调整装置，其特征在于，还包括与所述驱动装置的电磁阀电连接的控制器。

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