CN214197266U - 一种特种气体用气动隔膜阀 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种特种气体用气动隔膜阀，包括阀体机构、设置在阀体机构上的阀芯组件和设置在阀体机构上的缸体，以及设置在缸体内的气动调节组件，阀芯组件内设置有流通通道，缸体的底面挤压阀芯组件，气动调节组件包括设置在缸体上的压盖和设置在缸体内的压盘，以及穿设在压盘与压盖之间的上弹簧，缸体伸入阀芯组件的部分与阀体机构螺纹连接，压盘中设置有气体通道，上弹簧推动阀芯组件向下移动以使流通通道关闭，压盘带动阀芯组件向上移动以使流通通道打开。本实用新型计合理，结构紧凑，设计合理，密封效果好，且避免手动操作，操作准确度高，满足高纯及超高纯特种气体的传输控制需要。

Description

一种特种气体用气动隔膜阀

技术领域

本实用新型属于阀门技术领域，尤其是涉及一种特种气体用气动隔膜阀。

背景技术

特种气体是指为满足特定用途的气体，包括单一气体或混合气体，单一气体有259种，其中电子气体115种，有机气体63种，无机气体35种，卤碳素气体29种，同位素气体17种。在特种气体输送系统中用于控制开关传输介质的隔膜阀是关键部件，目前，特种气体用隔膜阀还需要手动开闭，操作复杂，且不精确，不能满足高纯及超高纯特种气体的传输控制需要。

因此，现如今缺少一种特种气体用气动隔膜阀，设计合理，密封效果好，且避免手动操作，操作准确度高，满足高纯及超高纯特种气体的传输控制需要。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题在于针对上述现有技术中的不足，提供一种特种气体用气动隔膜阀，其结构紧凑，设计合理，密封效果好，且避免手动操作，操作准确度高，满足高纯及超高纯特种气体的传输控制需要。

为解决上述技术问题，本实用新型采用的技术方案是：一种特种气体用气动隔膜阀，其特征在于：包括阀体机构、设置在阀体机构上的阀芯组件和设置在所述阀芯组件上的缸体，以及设置在所述缸体内的气动调节组件，所述阀芯组件内设置有流通通道，所述缸体的底面挤压所述阀芯组件；

所述气动调节组件包括设置在缸体上的压盖和设置在缸体内的压盘，以及穿设在压盘与压盖之间的上弹簧，所述缸体伸入阀体机构的部分与阀体机构螺纹连接，所述压盘中设置有气体通道；

所述上弹簧推动所述阀芯组件向下移动以使所述流通通道关闭，所述压盘带动所述阀芯组件向上移动以使所述流通通道打开。

上述的一种特种气体用气动隔膜阀，其特征在于：所述压盘包括压盘竖直部和与所述压盘竖直部一体成型的压盘环部，所述气体通道包括设置在盘竖直部中的竖向气体通道和与竖向气体通道连通的水平气体通道，所述水平气体通道延伸至压盘竖直部的外侧壁，所述气体通道的中心线、压盘竖直部的中心线和缸体的中心线重合。

上述的一种特种气体用气动隔膜阀，其特征在于：所述压盖包括套设在压盘竖直部外的压盖竖直部、与压盖竖直部一体成型的水平盖部和与水平盖部一体成型且与缸体螺纹连接的压盖连接部，所述上弹簧套设在压盖竖直部上，所述上弹簧的一端抵接在水平盖部上，所述上弹簧的另一端抵接在压盘环部上。

上述的一种特种气体用气动隔膜阀，其特征在于：所述压盘竖直部下部外侧壁设置有第一凹槽，所述压盘环部外侧壁设置有第二凹槽，所述压盘竖直部上部外侧壁设置有第三凹槽，所述第一凹槽内设置有第一密封圈，所述第二凹槽内设置有第二密封圈，所述第三凹槽内设置有第三密封圈，所述第一密封圈和第二密封圈的外侧壁均贴合缸体内侧壁，所述压盘竖直部的顶部伸入压盖内，所述第三密封圈的外侧壁贴合压盖内侧壁；

所述压盘环部上设置有上凹槽，所述上弹簧的另一端抵接在上凹槽内。

上述的一种特种气体用气动隔膜阀，其特征在于：所述阀体机构包括阀体、设置在阀体一端的第一接头和设置在阀体另一端的第二接头，所述第一接头远离阀体的一端设置有第一凸缘，所述第二接头远离阀体的一端设置有第二凸缘；

所述第一接头上设置有第一安装套，所述第一安装套包括第一套体和与所述第一套体一体成型且套设在第一接头上的第一套环，所述第一套体内设置有第一内螺纹，所述第一套体上设置有第一捡漏孔；

所述第二接头上设置有第二安装套，所述第二安装套包括第二套体和与所述第二套体一体成型且套设在第二接头上的第二套环，所述第二套体内设置有第二内螺纹，所述第二套体上设置有第二捡漏孔。

上述的一种特种气体用气动隔膜阀，其特征在于：所述阀芯组件包括启闭件、安装在启闭件上的阀杆和套设在阀杆上的弹簧部件，以及连接在所述弹簧部件和所述启闭件之间的隔膜片，所述隔膜片的截面大于所述启闭件的底部截面，所述缸体通过所述弹簧部件挤压隔膜片；

所述启闭件包括镶块和与镶块连接的外环，所述外环包括与镶块螺纹连接的连接部和与连接部垂直布设的竖杆部，所述竖杆部伸入阀杆内；

所述隔膜片包括套设在竖杆部上的镍基膜片和钴基膜片，所述钴基膜片的数量为3个，所述镍基膜片和钴基膜片相贴合，所述镍基膜片和钴基膜片的下侧壁均呈劣弧形，所述镍基膜片和钴基膜片的边缘伸出连接部的外侧面，所述钴基膜片的外边缘低于钴基膜片的内边缘，所述镍基膜片的外边缘低于镍基膜片的内边缘。

上述的一种特种气体用气动隔膜阀，其特征在于：所述弹簧部件包括套设在阀杆上的弹簧、套设在阀杆下端且与弹簧的一端连接的压紧环和套设在阀杆上端且与弹簧的另一端连接的上限位件；

所述上限位件包括套设在阀杆外的垫块和轴用挡圈，所述垫块和弹簧的另一端连接，所述轴用挡圈和垫块相贴合。

上述的一种特种气体用气动隔膜阀，其特征在于：所述压紧环包括依次连接且一体成型的第一圆环部、第二圆环部和第三圆环部，所述第一圆环部的外径、第二圆环部的外径、第三圆环部的外径逐渐减少，所述第三圆环部的内径包括第一内径段和第二内径段，所述第一圆环部的内径、第二圆环部的内径和第一内径段的内径相同，所述第二内径段的内径小于第二圆环部的内径，所述第一圆环部外侧面和第二圆环部外侧面的连接处形成第一台阶面，所述第二圆环部外侧面和第三圆环部外侧面的连接处形成第二台阶面，所述第一内径段的内侧面和第二内径段的内侧面的连接处形成内台阶面。

上述的一种特种气体用气动隔膜阀，其特征在于：所述阀杆包括依次连接且一体成型的第一阀杆部和第二阀杆部，所述第一阀杆部的外径大于第二阀杆部的外径，所述第一阀杆部外侧面和第二阀杆部外侧面的连接处形成外台阶面，所述弹簧套设在第二阀杆部外；

所述第一阀杆部的底部设置有弧形凸起，所述第一阀杆部外侧壁上设置有阀杆下凹槽，所述阀杆下凹槽内安装有下内密封圈，所述下内密封圈的外侧壁和第二圆环部的内侧壁相贴合；

所述第二阀杆部的顶部设置有陶瓷球，所述陶瓷球的顶部高于第二阀杆部的顶部；所述压盘竖直部的底部设置有供容纳陶瓷球的容纳槽。

上述的一种特种气体用气动隔膜阀，其特征在于：所述流通通道包括设置在阀体内的第一腔体、第二腔体和第三腔体，所述第一腔体和第三腔体之间设置有隔板，所述第一腔体和第二腔体之间设置有上隔板，所述上隔板靠近所述第二腔体的表面为第一密封面，所述第二腔体内设置有台阶面，所述台阶面为第二密封面，所述隔膜片中部能靠近或者远离所述第二密封面移动，所述启闭件能靠近或者远离第一密封面移动；

所述第一接头中设置有第一接头腔，所述第一接头腔和第一腔体的入口连通，所述第二接头中设置有第二接头腔，所述第二接头腔和第三腔体的出口连通，第一腔体的顶部为第一腔体的出口，所述第三腔体的顶部为第三腔体的进口，所述启闭件的底部截面大于第一腔体的出口；

所述第一腔体的出口、第二腔体和第三腔体的进口依次连通。

本实用新型与现有技术相比具有以下优点：

1、本实用新型设置阀芯组件，密封效果好，避免污染气体传输介质，提高了隔膜阀的使用寿命，也提高了气体传输介质的纯度。

2、本实用新型设置调节组件包括压盖、压盘和上弹簧，上弹簧推动所述阀芯组件向下移动以使所述流通通道关闭，所述压盘带动所述阀芯组件向上移动以使所述流通通道打开，实现特种气体用隔膜阀打开和关闭，操作便捷。

3、本实用新型所采用的缸体，是为了缸体通过所述弹簧部件挤压阀芯组件中隔膜片，以使隔膜片压紧在阀体机构中的密封面上，提高了密封效果；另外是为了便于气动调节组件的安装，结构紧凑。

综上所述，本实用新型结构紧凑，设计合理，密封效果好，且避免手动操作，操作准确度高，满足高纯及超高纯特种气体的传输控制需要。

下面通过附图和实施例，对本实用新型的技术方案做进一步的详细描述。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图。

图2为本实用新型阀芯组件的结构示意图。

图3为本实用启闭件的结构示意图。

图4为本实用新型阀体机构的结构示意图。

图5为本实用新型缸体和气动调节组件的结构示意图。

附图标记说明:

1—第一密封面； 2—第二密封面； 3—阀芯组件；

3-1—启闭件； 3-1-1—镶块； 3-1-2—外环；

3-1-21—连接部； 3-1-22—竖杆部； 3-2—压紧环；

3-2-1—第一圆环部； 3-2-2—第二圆环部； 3-2-3—第三圆环部；

3-3—下内密封圈； 3-4—垫块； 3-5—轴用挡圈；

3-6—陶瓷球； 3-7—阀杆； 3-7-1—第一阀杆部；

3-7-2—第二阀杆部； 3-7-3—阀杆上凹槽； 3-7-4—阀杆下凹槽；

3-7-5—弧形凸起； 3-8—弹簧； 3-9—隔膜片；

3-9-1—钴膜片； 3-9-2—镍膜片； 4—阀体机构；

4-1—阀体； 4-1-1—第一腔体； 4-1-2—第二腔体；

4-1-3—第三腔体； 4-1-4—隔板； 4-1-5—阀体内螺纹；

4-2—第一套体； 4-2-1—第一安装通道；

4-2-2—第一内螺纹； 4-2-3—第一套环；

4-2-4—第一捡漏孔； 4-3—第二套体； 4-3-1—第二安装通道；

4-3-2—第二内螺纹； 4-3-3—第二套环； 4-3-4—第二捡漏孔；

4-4—第一接头； 4-4-1—第一接头腔； 4-4-2—第一凸缘；

4-5—第二接头； 4-5-1—第二接头腔； 4-5-2—第二凸缘；

5—压盖； 5-1—压盖竖直部； 5-2—压盖连接部；

5-3—水平盖部； 5-4—压盖内螺纹部； 5-5—上连接外螺纹；

5-6—安装孔； 6—压盘； 6-1—压盘竖直部；

6-1-1—第一凹槽； 6-1-2—竖向气体通道； 6-1-3—第三凹槽；

6-1-4—容纳槽； 6-2—压盘环部； 6-2-1—上凹槽；

6-2-2—第二凹槽； 7—上弹簧； 8—缸体；

8-1—泄压孔； 8-2—下螺纹部； 8-3—第一安装腔；

8-4—第二安装腔； 8-5—第三安装腔； 9-1—第一密封圈；

9-2—第二密封圈； 9-3—第三密封圈； 10—下外密封圈。

具体实施方式

如图1至图5所示，本实用新型包括阀体机构4、设置在阀体机构4上的阀芯组件3和设置在所述阀芯组件3上的缸体8，以及设置在所述缸体8内的气动调节组件，所述阀芯组件3内设置有流通通道，所述缸体8的底面挤压所述阀芯组件3；

所述气动调节组件包括设置在缸体8上的压盖5和设置在缸体8内的压盘6，以及穿设在压盘6与压盖5之间的上弹簧7，所述缸体8伸入阀体机构4的部分与阀体机构4螺纹连接，所述压盘6中设置有气体通道6-1-2；

所述上弹簧7推动所述阀芯组件3向下移动以使所述流通通道关闭，所述压盘6带动所述阀芯组件3向上移动以使所述流通通道打开。

如图5所示，本实施例中，所述压盘6包括压盘竖直部6-1和与所述压盘竖直部6-1一体成型的压盘环部6-2，所述气体通道包括设置在盘竖直部6-1中的竖向气体通道6-1-2和与竖向气体通道6-1-2连通的水平气体通道，所述水平气体通道延伸至压盘竖直部6-1的外侧壁，所述气体通道6-1-2的中心线、压盘竖直部6-1的中心线和缸体8的中心线重合。

如图5所示，本实施例中，所述压盖5包括套设在压盘竖直部6-1外的压盖竖直部5-1、与压盖竖直部5-1一体成型的水平盖部5-3和与水平盖部5-3一体成型且与缸体8螺纹连接的压盖连接部5-2，所述上弹簧7套设在压盖竖直部5-1上，所述上弹簧7的一端抵接在水平盖部5-3上，所述上弹簧7的另一端抵接在压盘环部6-2上。

如图5所示，本实施例中，所述压盘竖直部6-1下部外侧壁设置有第一凹槽6-1-1，所述压盘环部6-2外侧壁设置有第二凹槽6-2-2，所述压盘竖直部6-1上部外侧壁设置有第三凹槽6-1-3，所述第一凹槽6-1-1内设置有第一密封圈9-1，所述第二凹槽6-2-2内设置有第二密封圈9-2，所述第三凹槽6-1-3内设置有第三密封圈9-3，所述第一密封圈9-1和第二密封圈9-2的外侧壁均贴合缸体8内侧壁，所述压盘竖直部6-1的顶部伸入压盖5内，所述第三密封圈9-3的外侧壁贴合压盖5内侧壁；

所述压盘环部6-2上设置有上凹槽6-2-1，所述上弹簧7的另一端抵接在上凹槽6-2-1内。

如图4所示，本实施例中，所述阀体机构4包括阀体4-1、设置在阀体4-1一端的第一接头4-4和设置在阀体4-1另一端的第二接头4-5，所述第一接头4-4远离阀体4-1的一端设置有第一凸缘4-4-2，所述第二接头4-5远离阀体4-1的一端设置有第二凸缘4-5-2；

所述第一接头4-4上设置有第一安装套，所述第一安装套包括第一套体4-2和与所述第一套体4-2一体成型且套设在第一接头4-4上的第一套环4-2-3，所述第一套体4-2内设置有第一内螺纹4-2-2，所述第一套体4-2上设置有第一捡漏孔4-2-4；

所述第二接头4-5上设置有第二安装套，所述第二安装套包括第二套体4-3和与所述第二套体4-3一体成型且套设在第二接头4-5上的第二套环4-3-3，所述第二套体4-3内设置有第二内螺纹4-3-2，所述第二套体4-3上设置有第二捡漏孔4-3-4。

如图2和图3所示，本实施例中，所述阀芯组件3包括启闭件3-1、安装在启闭件3-1上的阀杆3-7和套设在阀杆3-7上的弹簧部件，以及连接在所述弹簧部件和所述启闭件3-1之间的隔膜片3-9，所述隔膜片3-9的截面大于所述启闭件3-1的底部截面，所述缸体8通过所述弹簧部件挤压隔膜片3-9；

所述启闭件3-1包括镶块3-1-1和与镶块3-1-1连接的外环3-1-2，所述外环3-1-2包括与镶块3-1-1螺纹连接的连接部3-1-21和与连接部3-1-21垂直布设的竖杆部3-1-22，所述竖杆部3-1-22伸入阀杆3-7内；

所述隔膜片3-9包括套设在竖杆部3-1-22上的镍基膜片3-9-2和钴基膜片3-9-1，所述钴基膜片3-9-1的数量为3个，所述镍基膜片3-9-2和钴基膜片3-9-1相贴合，所述镍基膜片3-9-2和钴基膜片3-9-1的下侧壁均呈劣弧形，所述镍基膜片3-9-2和钴基膜片3-9-1的边缘伸出连接部3-1-21的外侧面，所述钴基膜片3-9-1的外边缘低于钴基膜片3-9-1的内边缘，所述镍基膜片3-9-2的外边缘低于镍基膜片3-9-2的内边缘。

如图2所示，本实施例中，所述弹簧部件包括套设在阀杆3-7上的弹簧3-8、套设在阀杆3-7下端且与弹簧3-8的一端连接的压紧环3-2和套设在阀杆3-7上端且与弹簧3-8的另一端连接的上限位件；

所述上限位件包括套设在阀杆3-7外的垫块3-4和轴用挡圈3-5，所述垫块3-4和弹簧3-8的另一端连接，所述轴用挡圈3-5和垫块3-4相贴合。

如图2所示，本实施例中，所述压紧环3-2包括依次连接且一体成型的第一圆环部3-2-1、第二圆环部3-2-2和第三圆环部3-2-3，所述第一圆环部3-2-1的外径、第二圆环部3-2-2的外径、第三圆环部3-2-3的外径逐渐减少，所述第三圆环部3-2-3的内径包括第一内径段和第二内径段，所述第一圆环部3-2-1的内径、第二圆环部3-2-2的内径和第一内径段的内径相同，所述第二内径段的内径小于第二圆环部3-2-2的内径，所述第一圆环部3-2-1外侧面和第二圆环部3-2-2外侧面的连接处形成第一台阶面，所述第二圆环部3-2-2外侧面和第三圆环部3-2-3外侧面的连接处形成第二台阶面，所述第一内径段的内侧面和第二内径段的内侧面的连接处形成内台阶面。

本实施例中，所述阀杆3-7包括依次连接且一体成型的第一阀杆部3-7-1和第二阀杆部3-7-2，所述第一阀杆部3-7-1的外径大于第二阀杆部3-7-2的外径，所述第一阀杆部3-7-1外侧面和第二阀杆部3-7-2外侧面的连接处形成外台阶面，所述弹簧3-8套设在第二阀杆部3-7-2外；

所述第一阀杆部3-7-1的底部设置有弧形凸起3-7-5，所述第一阀杆部3-7-1外侧壁上设置有阀杆下凹槽3-7-4，所述阀杆下凹槽3-7-4内安装有下内密封圈3-3，所述下内密封圈3-3的外侧壁和第二圆环部3-2-2的内侧壁相贴合；

所述第二阀杆部3-7-2的顶部设置有陶瓷球3-6，所述陶瓷球3-6的顶部高于第二阀杆部3-7-2的顶部；所述压盘竖直部6-1的底部设置有供容纳陶瓷球3-6的容纳槽6-1-4。

如图4所示，本实施例中，所述流通通道包括设置在阀体4-1内的第一腔体4-1-1、第二腔体4-1-2和第三腔体4-1-3，所述第一腔体4-1-1和第三腔体4-1-3之间设置有隔板4-1-4，所述第一腔体4-1-1和第二腔体4-1-2之间设置有上隔板，所述上隔板靠近所述第二腔体4-1-2的表面为第一密封面1，所述第二腔体4-1-2内设置有台阶面，所述台阶面为第二密封面2，所述隔膜片3-9中部能靠近或者远离所述第二密封面2移动，所述启闭件3-1能靠近或者远离第一密封面1移动；

所述第一接头4-4中设置有第一接头腔4-4-1，所述第一接头腔4-4-1和第一腔体4-1-1的入口连通，所述第二接头4-5中设置有第二接头腔4-5-1，所述第二接头腔4-5-1和第三腔体4-1-3的出口连通，第一腔体4-1-1的顶部为第一腔体4-1-1的出口，所述第三腔体4-1-3的顶部为第三腔体4-1-3的进口，所述启闭件3-1的底部截面大于第一腔体4-1-1的出口；

所述第一腔体4-1-1的出口、第二腔体4-1-2和第三腔体4-1-3的进口依次连通。

本实施例中，所述第二圆环部3-2-2外侧壁设置有下外密封圈10，所述下外密封圈10的外侧壁与阀体4-1的内侧壁相贴合。设置下外密封圈10，所述下外密封圈10的外侧壁与阀体4的内侧壁相贴合，提高了压紧环3-2外侧壁和阀体4内侧壁之间的密封。

本实施例中，实际使用时，所述缸体8内设置有依次设置有第一安装腔8-3、第二安装腔8-4和第三安装腔8-5，所述第一安装腔8-3供阀芯组件3安装，所述第二安装腔8-4供压盘竖直部6-1穿设，所述第三安装腔8-5供压盖5、压盘6和上弹簧7安装，所述第二安装腔8-4的内径、第一安装腔8-3的内径至第三安装腔8-5的内径逐渐增大。

本实施例中，实际使用时，所述缸体8上设置有泄压孔8-1，所述缸体8上设置有下螺纹部8-2，所述下螺纹部8-2和第二腔体4-1-2中的阀体内螺纹4-1-5螺纹连接。

本实施例中，实际使用时，设置第三安装腔8-5的内径大于第二安装腔8-4的内径，是为了对压盘环部6-2的下移位置进行限位，进而实现上弹簧7伸长量的限位，确保启闭件3-1中镶块3-1-1向下移动直至压紧第一密封面1，特种气体用气动隔膜阀关闭。

本实施例中，实际使用时，设置压盘6，是为了通过给压盘竖直部6-1中的竖向气体通道6-1-2和水平气体通道通入高纯氮气，压盘环部6-2底面和第三安装腔8-5之间的压力增大，推动压盘环部6-2向上移动挤压上弹簧7伸缩，确保启闭件3-1中镶块3-1-1向上移动远离第一密封面1，特种气体用隔膜阀打开。

本实施例中，当启闭件3-1向上移动远离阀芯组件3中的流通通道，则启闭件3-1控制所述流通通道的打开，实现特种气体用隔膜阀的打开，接通传输介质的流通。

本实施例中，阀芯组件3中设置隔膜片3-9，隔膜片3-9的截面大于所述启闭件3-1的底部截面，从而在启闭件3-1上下移动时，隔膜片3-9能压紧在阀芯组件3中的第二密封面上，以使隔膜片3-9上部的阀杆、弹簧部件均不与所述流通通道连通，从而避免气体传输介质腐蚀阀杆、弹簧部件等阀芯组件，也避免阀芯组件污染气体传输介质，提高了隔膜阀的使用寿命，也提高了传输介质的纯度。

本实施例中，设置陶瓷球3-6，提高了耐磨性和对中性。

本实施例中，设置缸体8，是为了通过缸体8挤压所述弹簧部件中的压紧环3-2而挤压隔膜片3-9，以使隔膜片3-9的外边缘压紧在阀芯组件3中的第二密封面2上，从而将阀芯组件3中第二腔体分割为下腔和上腔，以使阀芯组件3的下腔和上腔的部件隔开。

本实施例中，所述阀杆3-7内设置有供竖杆部3-1-22伸入的螺纹安装孔，所述竖杆部3-1-22上设置有外螺纹部，所述竖杆部3-1-22和阀杆3-7内部螺纹连接。

本实施例中，所述钴基膜片3-9-1和镍基膜片3-9-2之间焊接，所述镍基膜片3-9-2和连接部3-1-21之间焊接。

本实施例中，所述阀杆3-7顶部设置有供陶瓷球3-6安装的凹槽。

本实施例中，所述第一接头4-4靠近阀体4-1的一端和阀体4-1一端焊接，所述第二接头4-5靠近阀体4-1的一端和阀体4-1另一端焊接。

本实施例中，所述启闭件3-1中镶块3-1-1的底部截面大于第一腔体4-1-1的出口截面。

本实施例中，所述镍基膜片3-9-2和钴基膜片3-9-1的外边缘与压紧环3-2的底部边缘相齐平。

本实施例中，设置第一内螺纹4-2-2和第二内螺纹4-3-2，方便该特种气体用隔膜阀的安装或者连接。

本实施例中，所述弹簧3-8的一端抵接在第三圆环部3-2-3上，所述弹簧3-8的一端和垫块3-4连接。

本实施例中，所述垫块3-4靠近弹簧3-8的侧面和阀杆上凹槽3-7-3的上侧壁相齐平。

本实施例中，所述第二阀杆部3-7-2上还设置有供轴用挡圈3-5安装的挡圈凹槽。

本实施例中，所述第一圆环部3-2-1的外径、钴基膜片3-9-1的外边缘和镍基膜片3-9-2的外边缘相齐平。

本实施例中，所述第二阀杆部3-7-2上设置有阀杆上凹槽3-7-3。

本实施例中，所述钴基膜片3-9-1的数量为3个,最下部的钴基膜片3-9-1与镍基膜片3-9-2焊接，另外两个钴基膜片3-9-1贴装在最下部的钴基膜片3-9-1上。

本实施例中，设置连接部3-1-21，是为了便于将外环3-1-2的连接部3-1-21与镶块3-1-1螺纹连接，从而实现外环3-1-2和镶块3-1-1的连接；另外便于镍基膜片3-9-2安装时，将镍基膜片3-9-2的底面与连接部3-1-21的顶部进行环向焊接固定连接；

本实施例中，设置竖杆部3-1-22，是为了便于镍基膜片3-9-2和钴基膜片3-9-1的套装，以使镍基膜片3-9-2和钴基膜片3-9-1的内径中心和竖杆部3-1-22的竖向中心重合，从而提高了镍基膜片3-9-2和钴基膜片3-9-1受力均匀，提高了密封效果。

本实施例中，镍基膜片3-9-2和钴基膜片3-9-1的下侧壁均呈劣弧形，且所述钴基膜片3-9-1的外边缘低于钴基膜片3-9-1的内边缘，所述镍基膜片3-9-2的外边缘低于镍基膜片3-9-2的内边缘，是为了镍基膜片3-9-2和钴基膜片3-9-1的外边缘压紧在第二密封面2上，镍基膜片3-9-2和钴基膜片3-9-1的内边缘能够弹性变形，从而随镶块3-1-1上下移动。

本实施例中，设置弹簧3-8，是为了在压盘竖直部6-1通过陶瓷球3-6带动阀杆3-7上下移动中，通过弹簧3-8收缩或者伸长来带动压紧环3-2挤压隔膜片3-9，提高了隔膜片3-9的密封效果。

本实施例中，设置压紧环3-2，且第二圆环部3-2-2外侧面和第三圆环部3-2-3外侧面的连接处形成第二台阶面，从而以使缸体8的底面与第二台阶面相贴合，这样缸体8的底面通过压紧环3-2而挤压隔膜片3-9的边缘，确保隔膜片3-9的外边缘压紧在第一密封面2上。

本实施例中，第一内径段的内侧面和第二内径段的内侧面的连接处形成内台阶面，所述内台阶面和所述外台阶面相适应，通过内台阶面限制外台阶面向上移动的最大间距，以确保启闭件3-1向上移动到位。

本实施例中，设置下内密封圈3-3，所述下内密封圈3-3的外侧壁和第二圆环部3-2-2的内侧壁相贴合，提高了压紧环3-2内侧壁和阀杆3-7外侧壁之间的密封；

设置第一密封圈9-1，所述第一密封圈9-1的外侧壁和第二安装腔8-4的内侧壁相贴合，提高了压盘竖直部6-1外侧壁和第二圆环部3-2-2内侧壁之间的密封；

设置第二密封圈9-2，第二密封圈9-2的外侧壁与第三安装腔8-5的内侧壁相贴合，提高了缸体8的内侧壁和压盘环部6-2外侧壁之间的密封；

设置第三密封圈9-3，所述第三密封圈9-3的外侧壁与压盖竖直部5-1的内侧壁相贴合，提高了压盘竖直部6-1外侧壁和压盖竖直部5-1内侧壁之间的密封。

本实施例中，设置镍基膜片3-9-2和钴基膜片3-9-1组成隔膜片3-9，提高了隔膜片3-9的密封强度，便于承受不同的传输介质压力。

本实施例中，镍基膜片3-9-2和钴基膜片3-9-1的厚度均为0.1mm。

本实施例中，所述隔板4-1-4的顶部和所述第一密封面1相齐平。

本实施例中，需要说明的是，所述隔板4-1-4和所述上隔板之间的间距小于镶块3-1-1的长度。

本实施例中，该气动隔膜阀是常闭阀，自然状态下启闭件3-1是关闭。

本实施例中，所述第一套体4-2中设置有第一安装通道4-2-1，第二套体4-3中设置有第二安装通道4-3-1。

本实施例中，实际使用时，当安装该气动隔膜阀时，接线管的一端穿过第一安装通道4-2-1与第一凸缘4-4-2密封连接；另一个接线管的一端穿过第二安装通道4-3-1与第二凸缘4-5-2密封连接。

本实施例中，实际使用时，所述第三安装腔8-5内设置有上连接内螺纹，所述压盖连接部5-2上设置有与所述上连接内螺纹配合的上连接外螺纹5-5，所述压盖连接部5-2上还设置供安装工具插入的安装孔5-6。

本实施例中，实际使用时，所述压盖竖直部5-1内设置有供连接快速接头的压盖内螺纹部5-4，通过快速接头连接外接气源，通入0.4MPa～0.8MPa气体，压盘环部6-2向上移动以使上弹簧7压缩，镍基膜片3-9-2和钴基膜片3-9-1内边缘向上移动带动镶块3-1-1向上移动远离第一密封面1，特种气体用隔膜阀打开。

综上所述，本实用新型计合理，结构紧凑，设计合理，密封效果好，且避免手动操作，操作准确度高，满足高纯及超高纯特种气体的传输控制需要。

以上所述，仅是本实用新型的较佳实施例，并非对本实用新型作任何限制，凡是根据本实用新型技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、变更以及等效结构变化，均仍属于本实用新型技术方案的保护范围内。

Claims (10)

1.一种特种气体用气动隔膜阀，其特征在于：包括阀体机构(4)、设置在阀体机构(4)上的阀芯组件(3)和设置在所述阀芯组件(3)上的缸体(8)，以及设置在所述缸体(8)内的气动调节组件，所述阀芯组件(3)内设置有流通通道，所述缸体(8)的底面挤压所述阀芯组件(3)；

所述气动调节组件包括设置在缸体(8)上的压盖(5)和设置在缸体(8)内的压盘(6)，以及穿设在压盘(6)与压盖(5)之间的上弹簧(7)，所述缸体(8)伸入阀体机构(4)的部分与阀体机构(4)螺纹连接，所述压盘(6)中设置有气体通道(6-1-2)；

所述上弹簧(7)推动所述阀芯组件(3)向下移动以使所述流通通道关闭，所述压盘(6)带动所述阀芯组件(3)向上移动以使所述流通通道打开。

2.按照权利要求1所述的一种特种气体用气动隔膜阀，其特征在于：所述压盘(6)包括压盘竖直部(6-1)和与所述压盘竖直部(6-1)一体成型的压盘环部(6-2)，所述气体通道包括设置在盘竖直部(6-1)中的竖向气体通道(6-1-2)和与竖向气体通道(6-1-2)连通的水平气体通道，所述水平气体通道延伸至压盘竖直部(6-1)的外侧壁，所述气体通道(6-1-2)的中心线、压盘竖直部(6-1)的中心线和缸体(8)的中心线重合。

3.按照权利要求1所述的一种特种气体用气动隔膜阀，其特征在于：所述压盖(5)包括套设在压盘竖直部(6-1)外的压盖竖直部(5-1)、与压盖竖直部(5-1)一体成型的水平盖部(5-3)和与水平盖部(5-3)一体成型且与缸体(8)螺纹连接的压盖连接部(5-2)，所述上弹簧(7)套设在压盖竖直部(5-1)上，所述上弹簧(7)的一端抵接在水平盖部(5-3)上，所述上弹簧(7)的另一端抵接在压盘环部(6-2)上。

4.按照权利要求2所述的一种特种气体用气动隔膜阀，其特征在于：所述压盘竖直部(6-1)下部外侧壁设置有第一凹槽(6-1-1)，所述压盘环部(6-2)外侧壁设置有第二凹槽(6-2-2)，所述压盘竖直部(6-1)上部外侧壁设置有第三凹槽(6-1-3)，所述第一凹槽(6-1-1)内设置有第一密封圈(9-1)，所述第二凹槽(6-2-2)内设置有第二密封圈(9-2)，所述第三凹槽(6-1-3)内设置有第三密封圈(9-3)，所述第一密封圈(9-1)和第二密封圈(9-2)的外侧壁均贴合缸体(8)内侧壁，所述压盘竖直部(6-1)的顶部伸入压盖(5)内，所述第三密封圈(9-3)的外侧壁贴合压盖(5)内侧壁；

所述压盘环部(6-2)上设置有上凹槽(6-2-1)，所述上弹簧(7)的另一端抵接在上凹槽(6-2-1)内。

5.按照权利要求1所述的一种特种气体用气动隔膜阀，其特征在于：所述阀体机构(4)包括阀体(4-1)、设置在阀体(4-1)一端的第一接头(4-4)和设置在阀体(4-1)另一端的第二接头(4-5)，所述第一接头(4-4)远离阀体(4-1)的一端设置有第一凸缘(4-4-2)，所述第二接头(4-5)远离阀体(4-1)的一端设置有第二凸缘(4-5-2)；

所述第一接头(4-4)上设置有第一安装套，所述第一安装套包括第一套体(4-2)和与所述第一套体(4-2)一体成型且套设在第一接头(4-4)上的第一套环(4-2-3)，所述第一套体(4-2)内设置有第一内螺纹(4-2-2)，所述第一套体(4-2)上设置有第一捡漏孔(4-2-4)；

所述第二接头(4-5)上设置有第二安装套，所述第二安装套包括第二套体(4-3)和与所述第二套体(4-3)一体成型且套设在第二接头(4-5)上的第二套环(4-3-3)，所述第二套体(4-3)内设置有第二内螺纹(4-3-2)，所述第二套体(4-3)上设置有第二捡漏孔(4-3-4)。

6.按照权利要求5所述的一种特种气体用气动隔膜阀，其特征在于：所述阀芯组件(3)包括启闭件(3-1)、安装在启闭件(3-1)上的阀杆(3-7)和套设在阀杆(3-7)上的弹簧部件，以及连接在所述弹簧部件和所述启闭件(3-1)之间的隔膜片(3-9)，所述隔膜片(3-9)的截面大于所述启闭件(3-1)的底部截面，所述缸体(8)通过所述弹簧部件挤压隔膜片(3-9)；

所述启闭件(3-1)包括镶块(3-1-1)和与镶块(3-1-1)连接的外环(3-1-2)，所述外环(3-1-2)包括与镶块(3-1-1)螺纹连接的连接部(3-1-21)和与连接部(3-1-21)垂直布设的竖杆部(3-1-22)，所述竖杆部(3-1-22)伸入阀杆(3-7)内；

所述隔膜片(3-9)包括套设在竖杆部(3-1-22)上的镍基膜片(3-9-2)和钴基膜片(3-9-1)，所述钴基膜片(3-9-1)的数量为3个，所述镍基膜片(3-9-2)和钴基膜片(3-9-1)相贴合，所述镍基膜片(3-9-2)和钴基膜片(3-9-1)的下侧壁均呈劣弧形，所述镍基膜片(3-9-2)和钴基膜片(3-9-1)的边缘伸出连接部(3-1-21)的外侧面，所述钴基膜片(3-9-1)的外边缘低于钴基膜片(3-9-1)的内边缘，所述镍基膜片(3-9-2)的外边缘低于镍基膜片(3-9-2)的内边缘。

7.按照权利要求6所述的一种特种气体用气动隔膜阀，其特征在于：所述弹簧部件包括套设在阀杆(3-7)上的弹簧(3-8)、套设在阀杆(3-7)下端且与弹簧(3-8)的一端连接的压紧环(3-2)和套设在阀杆(3-7)上端且与弹簧(3-8)的另一端连接的上限位件；

所述上限位件包括套设在阀杆(3-7)外的垫块(3-4)和轴用挡圈(3-5)，所述垫块(3-4)和弹簧(3-8)的另一端连接，所述轴用挡圈(3-5)和垫块(3-4)相贴合。

8.按照权利要求7所述的一种特种气体用气动隔膜阀，其特征在于：所述压紧环(3-2)包括依次连接且一体成型的第一圆环部(3-2-1)、第二圆环部(3-2-2)和第三圆环部(3-2-3)，所述第一圆环部(3-2-1)的外径、第二圆环部(3-2-2)的外径、第三圆环部(3-2-3)的外径逐渐减少，所述第三圆环部(3-2-3)的内径包括第一内径段和第二内径段，所述第一圆环部(3-2-1)的内径、第二圆环部(3-2-2)的内径和第一内径段的内径相同，所述第二内径段的内径小于第二圆环部(3-2-2)的内径，所述第一圆环部(3-2-1)外侧面和第二圆环部(3-2-2)外侧面的连接处形成第一台阶面，所述第二圆环部(3-2-2)外侧面和第三圆环部(3-2-3)外侧面的连接处形成第二台阶面，所述第一内径段的内侧面和第二内径段的内侧面的连接处形成内台阶面。

9.按照权利要求7所述的一种特种气体用气动隔膜阀，其特征在于：所述阀杆(3-7)包括依次连接且一体成型的第一阀杆部(3-7-1)和第二阀杆部(3-7-2)，所述第一阀杆部(3-7-1)的外径大于第二阀杆部(3-7-2)的外径，所述第一阀杆部(3-7-1)外侧面和第二阀杆部(3-7-2)外侧面的连接处形成外台阶面，所述弹簧(3-8)套设在第二阀杆部(3-7-2)外；

所述第一阀杆部(3-7-1)的底部设置有弧形凸起(3-7-5)，所述第一阀杆部(3-7-1)外侧壁上设置有阀杆下凹槽(3-7-4)，所述阀杆下凹槽(3-7-4)内安装有下内密封圈(3-3)，所述下内密封圈(3-3)的外侧壁和第二圆环部(3-2-2)的内侧壁相贴合；

所述第二阀杆部(3-7-2)的顶部设置有陶瓷球(3-6)，所述陶瓷球(3-6)的顶部高于第二阀杆部(3-7-2)的顶部；所述压盘(6)中的压盘竖直部(6-1)的底部设置有供容纳陶瓷球(3-6)的容纳槽(6-1-4)。

10.按照权利要求6所述的一种特种气体用气动隔膜阀，其特征在于：所述流通通道包括设置在阀体(4-1)内的第一腔体(4-1-1)、第二腔体(4-1-2)和第三腔体(4-1-3)，所述第一腔体(4-1-1)和第三腔体(4-1-3) 之间设置有隔板(4-1-4)，所述第一腔体(4-1-1)和第二腔体(4-1-2)之间设置有上隔板，所述上隔板靠近所述第二腔体(4-1-2)的表面为第一密封面(1)，所述第二腔体(4-1-2)内设置有台阶面，所述台阶面为第二密封面(2)，隔膜片(3-9)中部能靠近或者远离所述第二密封面(2)移动，所述启闭件(3-1)能靠近或者远离第一密封面(1)移动；

所述第一接头(4-4)中设置有第一接头腔(4-4-1)，所述第一接头腔(4-4-1)和第一腔体(4-1-1)的入口连通，所述第二接头(4-5)中设置有第二接头腔(4-5-1)，所述第二接头腔(4-5-1)和第三腔体(4-1-3)的出口连通，第一腔体(4-1-1)的顶部为第一腔体(4-1-1)的出口，所述第三腔体(4-1-3)的顶部为第三腔体(4-1-3)的进口，所述启闭件(3-1)的底部截面大于第一腔体(4-1-1)的出口；

所述第一腔体(4-1-1)的出口、第二腔体(4-1-2)和第三腔体(4-1-3)的进口依次连通。

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