CN214147185U - 一种轻型高平行度中空xy滑台装置 - Google Patents

一种轻型高平行度中空xy滑台装置 Download PDF

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张自然
黎艺文
蒋煜
麦明秀
杨智
尹尚军
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Abstract

本实用新型公开了一种轻型高平行度中空XY滑台装置,涉及到移动机构领域,包括平台主体,所述平台主体上相邻的其中两侧分别设置有X轴驱动装置和Y轴驱动装置,所述X轴驱动装置的一端固定连接有第一电机,所述第一电机的输出端通过轴连器固定连接有第一丝杆,所述第一丝杆的中部外侧套接有X向活动块。本实用新型通过在平台主体上设置有X轴驱动装置和Y轴驱动装置,X轴驱动装置上的第一电机通过第一丝杆带动X向活动块移动,Y轴驱动装置上的第二电机通过第二丝杆带动Y向活动块移动,X向活动块移动和Y向活动块配合能够带动需要移动的装置进行X轴和Y轴移动。

Description

一种轻型高平行度中空XY滑台装置
技术领域
本实用新型涉及移动机构领域,特别涉及一种轻型高平行度XY滑台装置。
背景技术
光学检测领域,为提高检测效率,需要一种可以装载较多的镜头,同时能保证所有镜头在该面上移动平行度小于0.01mm以下的滑台。从而确保从待检测镜头照射通过的光标与检测相机间夹角控制在非常微小范围。在滑台满足XY方向行程范围,XY方向驱动结构,尽可能内置或尽极限往XY滑台中心移,避免影响干涉检测相机角度调整。XY滑台驱动电机部分也会影响到检测相机角度调整,因而需要尽可能减轻XY滑台部件质量,以选用更小尺寸的控制电机。为获得高平行度XY滑台,需要使用平行度精度0.004um或以下交叉滚柱导轨,以避免叠加公差后平面平行度精度超过0.01mm;
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种轻型高平行度中空XY滑台装置,以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种轻型高平行度中空XY滑台装置,包括平台主体,所述平台主体上相邻的其中两侧分别设置有X轴驱动装置和Y轴驱动装置,所述X轴驱动装置的一端固定连接有第一电机,所述第一电机的输出端通过轴连器固定连接有第一丝杆,所述第一丝杆的中部外侧套接有X向活动块,所述Y轴驱动装置的一端固定连接有第二电机,所述第二电机的输出端通过另一个轴连器固定连接有第二丝杆,所述第二丝杆的中部外侧套接有Y向活动块。
优选的,所述Y轴驱动装置的一侧内壁上固定连接有导向板,所述导向板与Y向活动块的一侧贴合连接。
优选的,所述平台主体的一端一侧固定连接有链条,所述链条远离平台主体的一端固定连接有连接片。
优选的,所述平台主体的一侧固定连接有底板,所述底板外侧两端均固定连接有底座。
本实用新型的技术效果和优点:
本实用新型通过在平台主体上设置有X轴驱动装置和Y轴驱动装置,X轴驱动装置上的第一电机通过第一丝杆带动X向活动块移动,Y轴驱动装置上的第二电机通过第二丝杆带动Y向活动块移动,X向活动块移动和Y向活动块配合能够带动需要移动的装置进行X轴和Y轴移动。
附图说明
图1为本实用新型的整体结构示意图。
图2为本实用新型的整体结构背面示意图。
图中:1、平台主体;2、X轴驱动装置;3、Y轴驱动装置;4、第一电机;5、轴连器;6、第一丝杆;7、X向活动块;8、第二电机;9、第二丝杆;10、Y向活动块;11、导向板;12、链条;13、连接片;14、底板;15、底座。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
本实用新型提供了如图1-2所示的一种轻型高平行度中空XY滑台装置,如图1所示,包括平台主体1,平台主体1上相邻的其中两侧分别设置有X轴驱动装置2和Y轴驱动装置3,X轴驱动装置2的一端固定连接有第一电机4,第一电机4的输出端通过轴连器5固定连接有第一丝杆6,第一丝杆6的中部外侧套接有X向活动块7,第一电机4通过第一丝杆6能够带动X向活动块7沿X轴方向移动,Y轴驱动装置3的一端固定连接有第二电机8,第二电机8的输出端通过另一个轴连器5固定连接有第二丝杆9,第二丝杆9的中部外侧套接有Y向活动块10,第二电机8通过第二丝杆9带动Y向活动块10沿Y轴方向移动,Y轴驱动装置3的一侧内壁上固定连接有导向板11,导向板11与Y向活动块10的一侧贴合连接,导向板11的设置对Y向活动块10起到了导向的作用,使得Y向活动块10保持线性移动。
如图1和图2所示,平台主体1的一端一侧固定连接有链条12,链条12远离平台主体1的一端固定连接有连接片13,平台主体1的一侧固定连接有底板14,底板14外侧两端均固定连接有底座15,底座15的设置使得本装置防止稳定。
本实用新型工作原理:
本装置在工作时,启动第一电机4,第一电机4通过轴连器5带动第一丝杆6转动,第一丝杆6带动X向活动块7沿X轴方向移动,同时启动第二电机8,第二电机8通过另一个轴连器5带动第二丝杆9转动,第二丝杆9带动Y向活动块10沿Y轴方向移动,使得需要移动的装置能够进行X轴和Y轴移动。
最后应说明的是:以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已,并不用于限制本实用新型,尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明,对于本领域的技术人员来说,其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改,或者对其中部分技术特征进行等同替换,凡在本实用新型的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (4)

1.一种轻型高平行度中空XY滑台装置,包括平台主体(1),其特征在于:所述平台主体(1)上相邻的其中两侧分别设置有X轴驱动装置(2)和Y轴驱动装置(3),所述X轴驱动装置(2)的一端固定连接有第一电机(4),所述第一电机(4)的输出端通过轴连器(5)固定连接有第一丝杆(6),所述第一丝杆(6)的中部外侧套接有X向活动块(7),所述Y轴驱动装置(3)的一端固定连接有第二电机(8),所述第二电机(8)的输出端通过另一个轴连器(5)固定连接有第二丝杆(9),所述第二丝杆(9)的中部外侧套接有Y向活动块(10)。
2.根据权利要求1所述的一种轻型高平行度中空XY滑台装置,其特征在于:所述Y轴驱动装置(3)的一侧内壁上固定连接有导向板(11),所述导向板(11)与Y向活动块(10)的一侧贴合连接。
3.根据权利要求2所述的一种轻型高平行度中空XY滑台装置,其特征在于:所述平台主体(1)的一端一侧固定连接有链条(12),所述链条(12)远离平台主体(1)的一端固定连接有连接片(13)。
4.根据权利要求3所述的一种轻型高平行度中空XY滑台装置,其特征在于:所述平台主体(1)的一侧固定连接有底板(14),所述底板(14)外侧两端均固定连接有底座(15)。
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