CN210817974U - 一种双头大幅面蚀刻机 - Google Patents

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陶雄兵
周欣
徐俊南
赖程飞
李万朋
严达荣
但春果
钱建宣
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Abstract

本申请提供了一种双头大幅面蚀刻机,包括:机架、工作平台、激光器座和激光器系统;所述机架从下往上依次设有底座、立柱和横梁;所述工作平台与所述底座滑动连接,所述工作平台设有用于驱动滑动的第一驱动装置;所述激光器控制箱与所述横梁滑动连接,所述激光器控制箱设有用于驱动滑动的第二驱动装置;所述激光器系统具体包括两个激光器,通过升降驱动装置设置于所述激光器座上。本申请中的一种双头大幅面蚀刻机,能够实现对大幅面板材的蚀刻加工,且工作效率高。

Description

一种双头大幅面蚀刻机
技术领域
本申请属于激光蚀刻技术领域,尤其涉及一种双头大幅面蚀刻机。
背景技术
随着激光蚀刻的技术应用越来越广泛,对激光蚀刻加工幅面大小和加工速度的要求也越来越高,对激光蚀刻加工的自动化程度也相应提出了更高的要求。当蚀刻大幅面板材的时刻,由于大幅面板材的尺寸较大,承载能力不足容易在输送的过程中折断损坏,而且蚀刻效率较低。因此如何解决现有技术中的激光蚀刻机载蚀刻大幅面板材时,容易造成板材损坏、以及蚀刻效率较低的问题,成为本领域技术人员所要解决的技术难题。
实用新型内容
有鉴于此,本申请提供了一种双头大幅面蚀刻机,通过设置双激光器光路,能够加大激光单次加工幅面,待加工工件固定在工作平台上后,调好现场焦距,由激光器系统对待加工工件的某一区域进行蚀刻加工,当该区域加工完成后,通过驱动装置驱动工作平台和激光器系统滑动,使得激光器系统对准工作平台的另一区域,如此反复直至加工完成,能够实现对大幅面板材的蚀刻加工,且工作效率高。
本申请提供了一种双头大幅面蚀刻机,包括:
机架、工作平台、激光器座和激光器系统;
所述机架从下往上依次设有底座、立柱和横梁;
所述工作平台与所述底座滑动连接,所述工作平台设有用于驱动滑动的第一驱动装置;
所述激光器控制箱与所述横梁滑动连接,所述激光器控制箱设有用于驱动滑动的第二驱动装置;
所述激光器系统具体包括两个激光器,通过升降驱动装置设置于所述激光器座上。
优选地,所述激光器系统还包括与所述两个激光器对应设置的激光位移传感器。
优选地,所述第一驱动装置包括直线电机。
优选地,所述第二驱动装置包括直线电机。
优选地,还包括除尘罩,所述除尘罩设于所述激光器座下方。
优选地,所述激光器系统包括分别与所述两个激光器对应的两个扩束镜、两个第一反射镜和两个第二反射镜,所述第二反射镜设于所述激光位移传感器上方,所述第一反射镜设于所述第二反射镜上方,所述扩束镜设于所述第一反射镜前方。
优选地,所述底座的材质具体为大理石。
优选地,所述激光器控制箱与所述激光器系统通过光纤连接。
综上所述,本申请提供了一种双头大幅面蚀刻机,包括:机架、工作平台、激光器座和激光器系统;所述机架从下往上依次设有底座、立柱和横梁;所述工作平台与所述底座滑动连接,所述工作平台设有用于驱动滑动的第一驱动装置;所述激光器控制箱与所述横梁滑动连接,所述激光器控制箱设有用于驱动滑动的第二驱动装置;所述激光器系统具体包括两个激光器,通过升降驱动装置设置于所述激光器座上。
本申请中的一种双头大幅面蚀刻机,通过设置双激光器光路,能够加大激光单次加工幅面,待加工工件固定在工作平台上后,调好现场焦距,由激光器系统对待加工工件的某一区域进行蚀刻加工,当该区域加工完成后,通过驱动装置驱动工作平台和激光器系统滑动,使得激光器系统对准工作平台的另一区域,如此反复直至加工完成,能够实现对大幅面板材的蚀刻加工,且工作效率高。
附图说明
图1为本申请实施例提供的一种双头大幅面蚀刻机的结构示意图;
图2为本申请实施例提供的一种双头大幅面蚀刻机的局部示意图一;
图3为本申请实施例提供的一种双头大幅面蚀刻机的局部示意图二;
其中,附图标记如下:
1、底座;2、工作平台;6、激光器控制箱;7、Z轴;8、X轴;9、双头光路;10立柱;11、除尘罩;91、后板、92、激光头;93、扩束镜;94、第一反射镜、95底板;96、第二反射镜;97、视觉组件;98、激光位移传感器、 99、振镜组件。
具体实施方式
本申请提供的一种双头大幅面蚀刻机,通过设置双激光器光路,能够加大激光单次加工幅面,待加工工件固定在工作平台上后,调好现场焦距,由激光器系统对待加工工件的某一区域进行蚀刻加工,当该区域加工完成后,通过驱动装置驱动工作平台和激光器系统滑动,使得激光器系统对准工作平台的另一区域,如此反复直至加工完成,能够实现对大幅面板材的蚀刻加工,且工作效率高。
下面将结合附图对本申请实施例的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例是本申请实施例一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本申请实施例中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本申请实施例保护的范围。
在本申请实施例的描述中,需要说明的是,术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本申请实施例和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本申请实施例的限制。此外,术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示相对重要性。
在本申请实施例的描述中,需要说明的是,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或一体地连接;可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言,可以具体情况理解上述术语在本申请实施例中的具体含义。
参见图1-图3,图1为本申请实施例提供的一种双头大幅面蚀刻机的结构示意图;图2为本申请实施例提供的一种双头大幅面蚀刻机的局部示意图一;图3为本申请实施例提供的一种双头大幅面蚀刻机的局部示意图二。
本申请提供了一种双头大幅面蚀刻机,包括:
机架、工作平台2、激光器座和激光器系统;
机架从下往上依次设有底座1、立柱10和横梁;
工作平台2与底座1滑动连接,工作平台2设有用于驱动滑动的第一驱动装置;
激光器控制箱6与横梁滑动连接,激光器控制箱6设有用于驱动滑动的第二驱动装置;
激光器系统具体包括两个激光器,通过升降驱动装置设置于激光器座上。
需要说明的是,工作平台2的滑动方向与X轴垂直,激光器控制箱6的滑动方向与Y轴垂直,升降驱动装置的驱动方向与Z轴平行,且工作平台2 的滑动方向和激光器控制箱6的滑动方向都位于XY平面内。上述“X轴”“Y 轴”和“Z轴”分别指的是三维坐标系中的三个坐标轴。
本申请实施例通过设置双激光器光路,能够加大激光单次加工幅面,待加工工件固定在工作平台2上后,调好现场焦距,由激光器系统对待加工工件的某一区域进行蚀刻加工,当该区域加工完成后,通过驱动装置驱动工作平台2和激光器系统滑动,使得激光器系统对准工作平台2的另一区域,如此反复直至加工完成,能够实现对大幅面板材的蚀刻加工,且工作效率高。
工作平台2上分布有多个用于吸附待加工工件的通孔,通孔与真空源相连接。真空源通过提供负压气体,使得负压气体通过通孔将待加工工件吸附在工作平台2上,待加工结束,真空源进行泄压,使得工件从工作平台2取下。并且工作平台2的上料高度仅有950mm,能够降低上料搬运难度,减少板材损坏。
进一步地,激光器系统还包括与两个激光器对应设置的激光位移传感器 98。
需要说明的是,与两个激光器对应设置有激光位移传感器98,能够实时监测并调节激光焦距,保证激光焦距位置,提高激光的加工质量。
进一步地,第一驱动装置包括直线电机。
需要说明的是,第一驱动装置包括直线电机,工作平台2通过直线电机的驱动能够沿导轨方向做平移运动。
进一步地,第二驱动装置包括直线电机。
需要说明的是,第二驱动装置也包括直线电机,上可以设有导轨,激光器控制箱6沿导轨滑动,直线电机用于驱动激光器控制箱6沿导轨往复位移。
进一步地,还包括除尘罩11,除尘罩11设于激光器座下方。
需要说明的是,为了避免蚀刻过程中的粉尘对外界环境造成污染,激光器系统下方设有除尘罩11。加工的时候,除尘罩11与吸尘系统相连接,粉尘被罩在除尘罩11中,通过吸尘系统将其吸收。吸尘系统相当于现有技术中的吸尘器,工作原理不做赘述。
进一步地,激光器系统包括分别与两个激光器对应的两个扩束镜93、两个第一反射镜94和两个第二反射镜96,第二反射镜96设于激光位移传感器 98上方,第一反射镜94设于第二反射镜96上方,扩束镜93设于第一反射镜 94前方。
需要说明的是,如图3所示,两个激光器形成的双头光路9包括有:后板91、激光头92(两套)、扩束镜93(两套)、第一反射镜94(两套)、底板 97、第二反射镜96(两套)、视觉组件97、激光位移传感器98、振镜组件99 (两套)。Z轴7安装在X轴8上,双头光路9安装在Z轴7上,通过上下移动来保证激光的加工精度,激光器控制箱与光路一起安装在Z轴7上;激光控制箱和光路中激光头92连有光纤线,在加工时,激光器控制箱和光路一起运动,使得光纤线不被损坏,提高激光器的使用寿命。
对于光路,第一反射镜94和第二反射镜96安装在光路前端,尤其是第二反射镜96安装在振镜前方,方便调试光路以及观察;由于加工难度,大幅面平台的平面度比较差,高低误差大,光路上安装激光位置传感器,实时监测焦距,并反馈的Z轴,Z轴可以实时调节上下高度,确保激光加工时焦距位置的稳定,提高加工的精度和质量。设置双激光器光路,能够加大激光单次加工幅面,提高加工效率。
进一步地,底座1的材质具体为大理石。
需要说明的是,为了提高底座1的承重能力,底座1选用大理石材料。
进一步地,激光器控制箱与激光器系统通过光纤连接。
需要说明的是,激光器控制箱与激光器系统中的激光头92通过光纤连接。
以上所述,以上实施例仅用以说明本申请的技术方案,而非对其限制;尽管参照前述实施例对本申请进行了详细的说明,本领域的普通技术人员应当理解:其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改,或者对其中部分技术特征进行等同替换;而这些修改或者替换,并不使相应技术方案的本质脱离本申请各实施例技术方案的精神和范围。

Claims (8)

1.一种双头大幅面蚀刻机,其特征在于,包括:
机架、工作平台、激光器座和激光器系统;
所述机架从下往上依次设有底座、立柱和横梁;
所述工作平台与所述底座滑动连接,所述工作平台设有用于驱动滑动的第一驱动装置;
激光器控制箱与所述横梁滑动连接,所述激光器控制箱设有用于驱动滑动的第二驱动装置;
所述激光器系统具体包括两个激光器,通过升降驱动装置设置于所述激光器座上。
2.根据权利要求1所述的双头大幅面蚀刻机,其特征在于,所述激光器系统还包括与所述两个激光器对应设置的激光位移传感器。
3.根据权利要求1所述的双头大幅面蚀刻机,其特征在于,所述第一驱动装置包括直线电机。
4.根据权利要求1所述的双头大幅面蚀刻机,其特征在于,所述第二驱动装置包括直线电机。
5.根据权利要求1所述的双头大幅面蚀刻机,其特征在于,还包括除尘罩,所述除尘罩设于所述激光器座下方。
6.根据权利要求2中所述的双头大幅面蚀刻机,其特征在于,所述激光器系统包括分别与所述两个激光器对应的两个扩束镜、两个第一反射镜和两个第二反射镜,所述第二反射镜设于所述激光位移传感器上方,所述第一反射镜设于所述第二反射镜上方,所述扩束镜设于所述第一反射镜前方。
7.根据权利要求1所述的双头大幅面蚀刻机,其特征在于,所述底座的材质具体为大理石。
8.根据权利要求1所述的双头大幅面蚀刻机,其特征在于,所述激光器控制箱与所述激光器系统通过光纤连接。
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CN111730215A (zh) * 2020-07-24 2020-10-02 苏州天准科技股份有限公司 激光直接成像设备

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