CN110653501A - 一种uv激光加工设备 - Google Patents

Abstract

本发明涉及激光设备技术领域，公开了一种UV激光加工设备。所述UV激光加工设备包括工作平台；移动组件，设置于所述工作平台上，所述移动组件能够相对于所述工作平台运动，所述移动组件能够吸附待加工的工件并移动至加工位；加工组件，设置于所述工作平台上，且被配置为对所述加工位的所述待加工的工件进行加工；光路组件，设置于所述工作平台上且位于所述加工组件的一侧，所述光路组件能向所述加工组件传射激光光束，用于加工所述待加工的工件。本发明的UV激光加工设备，用于加工直径小于100μm的孔。

Description

一种UV激光加工设备

技术领域

本发明涉及激光设备技术领域，尤其涉及一种UV激光加工设备。

背景技术

现有的在薄板上去除材料或者打孔时，一般采用机械加工方式，薄板(如未加工完成的PCB板上去除树脂材料，以便于后续镀铜工艺时)上去除材料时，因加工量小，加工精度要求高，机械加工难以控制，误差大，且加工成本高，不合格品多。而采用机械加工方式打孔时，适用于加工直径大于150μm的孔，机械加工方式的钻头易磨损，磨损后导致加工误差增大，不合格品增多。对于直径范围为100μm-150μm的孔，采用CO2激光打孔。而对于直径小于100μm的孔，机械加工和CO2激光打孔均难以实现。

因此，需要一种UV激光加工设备，用于加工直径小于100μm的孔。

发明内容

本发明的目的在于提供一种UV激光加工设备，用于加工直径小于100μm的孔。

为达此目的，本发明采用以下技术方案：

提供一种UV激光加工设备，包括：

工作平台；

移动组件，设置于所述工作平台上，所述移动组件能够相对于所述工作平台运动，所述移动组件能够吸附待加工的工件并移动至加工位；

加工组件，设置于所述工作平台上，且被配置为对所述加工位的所述待加工的工件进行加工；

光路组件，设置于所述工作平台上且位于所述加工组件的一侧，所述光路组件能向所述加工组件传射激光光束，用于加工所述待加工的工件。

优选地，所述UV激光加工设备还包括X向移动组件，所述加工组件设置于所述X向移动组件，所述X向移动组件能带动所述加工组件相对于所述工作平台沿X向往复运动。

优选地，所述加工组件包括：

安装板，滑动设置于所述X向移动组件；

第一滑台模组，设置于所述安装板且沿Y向延伸；

振镜和场镜，所述振镜和所述场镜能够沿所述第一滑台模组往复滑动；

所述光路组件传射的光路依次经所述振镜和所述场镜后用于加工所述待加工的工件。

优选地，所述加工组件还包括：

吸尘组件，所述吸尘组件设置于所述安装板上，且位于所述场镜下方，所述吸尘组件被配置为吸附加工所述待加工的工件产生的废料。

优选地，所述移动组件包括：

Z向移送组件，设置于所述工作平台上，所述Z向移送组件上设置有工作位，所述Z向移送组件能够带动所述工作位沿Z向往复滑动，以将所述待加工的工件移送至所述加工位，所述Z向、所述X向和所述Y向两两之间相互垂直；

机械手组件，所述机械手组件设置于所述工作平台，所述机械手组件能够将所述待加工的工件移送至所述工作位。

优选地，所述移动组件还包括吸附组件，所述吸附组件设置于所述机械手组件，所述吸附组件用于吸附所述待加工的工件，所述机械手组件带动所述吸附组件所吸附的所述待加工的工件移动并放置于所述工作位。

优选地，所述光路组件包括：

激光器，设置于所述工作平台，所述激光器发射水平方向的光束依次经扩束镜组件、整形镜组件、光阑调整组件、第一反射镜组件以及第二反射镜组件后传递至所述振镜；

所述第一反射镜组件和所述第二反射镜组件均设置于所述安装板上，且所述第二反射镜组件设置于所述第一反射镜组件的下方，所述激光器发射的光束沿X向传射于所述第一反射镜组件后得到沿Y向的光束，所述第二反射镜组件将光束再次转向后沿X向传射于所述振镜；

所述扩束镜组件用于调节激光器发射的激光光束的直径和发散角度，所述整形镜组件能够沿X向往复滑动，所述整形镜组件能够对光束整形，得到预需波形的光束；

所述光阑调整组件被配置为过滤激光光束中的其他光。

优选地，所述光路组件还包括：

第三反射镜组件、第四反射镜组件和第五反射镜组件，所述激光器发射的光束依次传射于所述第三反射镜组件、所述第四反射镜组件和所述第五反射镜组件，得到沿所述Z向的激光光束，所述激光光束传射于所述整形镜组件或所述光阑调整组件；

第六反射镜组件，所述光阑调整组件的激光光束经所述第六反射镜组件处置反射后传递至所述第一反射镜组件；

所述第四反射镜组件、第五反射镜组件、所述整形镜组件、所述光阑调整组件、所述第六反射镜组件均设置于支撑台，所述支撑台设置于所述工作平台上。

优选地，所述UV激光加工设备还包括高压旋涡风机和负压系统，所述高压旋涡风机用于吸附所述加工组件加工所述待加工的工件时产生粉尘和废料；

所述工作位上设置有气通道，所述气通道连通于所述负压系统。

优选地，所述机械手组件包括：

支撑件，设置于所述工作平台上；

X向滑动组件，设置于所述支撑件上；

Y向滑动组件，设置于所述X向滑动组件上，所述吸附组件设置于所述Y向滑动组件上，所述Y向滑动组件能够驱动所述吸附组件沿Y向往复运动，所述X向滑动组件能够驱动所述Y向滑动组件和所述吸附组件沿X向往复滑动。

本发明的有益效果：本发明中通过移动组件将待加工的工件移动至加工位上，以待加工组件加工。光路组件发射的激光光束传射于加工组件，加工组件利用激光光束加工待加工的工件。本实施例中的UV激光加工设备利用激光光束加工待加工的工件，相比机械加工，能够加工机械加工无法加工的结构，尤其是更有利于切割直径小于100μm的孔及此类孔形成的微孔群，此外，激光加工，激光头无需接触工件，不存在工具磨损的问题，加工精度高，降低废品率，且能够提高生产效率。

附图说明

图1是本发明的UV激光加工设备的结构示意图；

图2是本发明的工作平台上的加工组件、光路组件和X向移动组件的结构示意图；

图3是本发明的工作平台上的X向移动组件和加工组件的结构示意图；

图4是本发明的加工组件的一个角度的结构示意图；

图5是本发明的加工组件的另一个角度的结构示意图；

图6是本发明的工作平台上的光路组件的结构示意图；

图7是本发明的工作平台上的Z向移动组件的结构示意图；

图8是本发明的工作位的结构示意图；

图9是本发明的机械手组件和吸附组件的结构示意图。

图中：

100-加工位；200-工作位；300-上料位；400-下料位；500-废料位；

1-工作平台；11-机架；

2-加工组件；21-安装板；22-第一滑台模组；221-第一电机；222-第一滑台；23-振镜；24-场镜；25-吸尘组件；

3-待加工的工件；

4-移动组件；41-Z向移送组件；4111-底板；4112-面板；412-第二滑动组件；4121-第二滑轨；4122-第二滑块；

42-机械手组件；421-支撑件；422-X向滑动组件；423-Y向滑动组件；43-吸附组件；431-安装支撑板；432-盖板；433-吸附底板；434-第二密封垫；435-吸嘴；44-测试到位组件；441-固定板；442-测试销；443-传感器；

5-光路组件；50-第一滑动组件；51-激光器；52-整形镜组件；521-调整支架；522-整形镜；523-固定支架；

53-光阑调整组件；531-光阑；532-支撑座；54-第一反射镜组件；55-第二反射镜组件；56-第三反射镜组件；57-第四反射镜组件；58-第五反射镜组件；59-第六反射镜组件；60-扩束镜组件；601-扩束镜；602-扩束镜支撑座；600-支撑台；526-第二滑台模组；

6-X向移动组件；61-横梁；62-动力件；621-定子；622-动子；63-左垫块；64-右垫块；65-第一检测传感器；67-第一滑轨；69-第一光栅尺；

7-高压旋涡风机；

8-暂存台组件；81-提篮；

9-摄像组件。

具体实施方式

下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本发明的技术方案。

为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本发明实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。

因此，以下对在附图中提供的本发明的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本发明的范围，而是仅仅表示本发明的选定实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。

在本发明的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该发明产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。在本发明的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。

在本发明的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

在本发明中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

下面详细描述本发明的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本发明，而不能理解为对本发明的限制。

本实施例中在加工薄板，如对PCB板上树脂材料或金属材质进行切削，以备后续镀铜，或对PCB打孔，还可以对金属薄板切削加工或打孔。因加工尺寸小，尤其是在薄板上加工直径小于100μm的微孔群，为保证加工后的精度及降低生产成本，降低废品率，本实施例中提供一种UV激光打孔设备，因激光打孔设备有更高的分辨率和能够加工更小直径的孔，同时因激光头不与工件接触，不存在工具磨损问题，有显著的成本优势。

如图1所示，上述UV激光加工设备一侧设置有暂存台组件8，暂存台组件8包括：多层支撑架，每层支撑架上均设置有提篮81，待加工的工件3放置于提篮81内。

上述UV激光设备包括工作平台1、加工组件2、移动组件4、光路组件5和控制组件。其中，工作平台1由花岗岩制成，并由机架11支撑，如图1所示，机架11由方管焊接而成，花岗岩设置于机架11上，保证花岗岩的上表面的水平度，以保证设备整体结构的水平度和加工精度，同时采用花岗岩还具有成本低，易于加工，加工后得到的水平面的精度较高的优点。

上述加工组件2设置于工作平台1上，加工组件2被配置为对加工位100上的待加工的工件3进行加工。移动组件4设置于工作平台1上，移动组件4能够相对于工作平台1运动，移动组件4能够吸附待加工的工件3并移动至加工组件2的加工位100，以待加工组件2加工。光路组件5设置于工作平台1上，且设置于加工组件2的一侧，光路组件5能够向加工组件2传射激光光束，用于加工待加工的工件3。加工组件2、移动组件4和光路组件5均电连接于控制组件，通过控制组件控制各个组件之间的相互协调工作及信息交互。本实施例中的控制组件为常规的控制程序，因本发明中的技术重点不在此，在此不再赘述。

具体地，上述移动组件4、光路组件5均安装于花岗岩的上表面。

本实施例中通过移动组件4将待加工的工件3移动至加工位100上，以待加工组件2加工。光路组件5发射的激光光束传射于加工组件2，加工组件2利用激光光束加工待加工的工件3。本实施例中的UV激光加工设备利用激光光束加工待加工的工件3，相比机械加工，能够加工机械加工无法加工的结构，尤其是更有利于切割直径小于100μm的孔及此类孔形成的微孔群，此外，激光加工，激光头无需接触工件，不存在工具磨损的问题，加工精度高，降低废品率，且能够提高生产效率。

如图2所示，上述UV激光加工设备还包括X向移动组件6，加工组件2设置于X向移动组件6，加工组件2能够相对于工作平台1沿X向往复运动，X向指水平方向。通过X向移动组件6能够带动加工组件2沿X向移动，可以调整加工组件2沿X向相对于待加工的工件3的位置，使加工组件2至适合加工工件的位置。

具体地，如图3所示，上述X向移动组件6包括横梁61和动力件62，横梁61的两端通过左垫块63和右垫块64的支撑固定连接于工作平台1上，横梁61上设置有动力件62，动力件62为加工组件2沿X向往复滑动提供动力。其中，动力件62连接于控制组件，控制组件控制动力件62工作，动力件62包括固定于横梁61上的定子621和与定子621沿X向滑动配合的动子622，定子621的长度沿X向设置，加工组件2固定于动子622上，从而加工组件2实现沿X向往复滑动。

为进一步保证滑动的精度和顺畅性，X向移动组件6还包括相互配合滑动的第一滑轨67和第一滑块(图中未示出)，第一滑轨67固定于横梁61上，第一滑轨67的长度方向沿X向设置，加工组件2连接于第一滑块(图中未示出)上，通过第一滑块(图中未示出)沿第一滑轨67滑动，为加工组件2提供导向。

此外，为了精确控制加工组件2沿X向的运动位置，在横梁61上还设置有第一光栅尺69及用于感应第一光栅尺69的第一检测传感器65，其中第一检测传感器65连接于加工组件2，并能够随加工组件2沿X向同步运动。在运动过程中，第一检测传感器65通过第一光栅尺69获取加工组件2的当前位置及运动距离。本实施例中上述第一光栅尺69设置于横梁61的上表面。

具体地，如图4和图5所示，上述加工组件2包括安装板21、第一滑台模组22、振镜23和场镜24，其中，安装板21滑动设置于X向移动组件6。具体地，安装板21连接于动子622，同时，安装板21连接于第一滑块，从而安装板21能够相对于横梁61沿X向滑动。上述第一检测传感器65设置于安装板21上，第一光栅尺69位于第一检测传感器65正下方，在第一检测传感器65沿X向运动过程中，通过第一光栅尺69确定当前运动位置。第一滑台模组22设置于安装板21上且沿Y向延伸。振镜23和场镜24能够沿第一滑台模组22沿Y向往复滑动，Y向指竖直方向。光路组件5传射的光路依次经振镜23和场镜24后用于加工待加工的工件3。第一滑台模组22包括第一电机221和第一滑台222，振镜23设置于第一滑台222上，场镜24安装于振镜23上，第一电机221驱动第一滑台222动作时，振镜23和场镜24沿Y同步往复滑动。

为保证加工过程中产生的废料对待加工的工件3造成影响，或者影响操作视野。上述加工组件2还包括吸尘组件25，其中吸尘组件25设置于安装板21上，且位于场镜24下方，吸尘组件25被配置为吸附加工待加工的工件3产生的废料、灰尘、杂质等。

如图1所示，UV激光加工设备还包括高压旋涡风机7，高压旋涡风机7用于吸附加工组件2加工待加工的工件3时产生粉尘和废料。如图3所示，上述吸尘组件25连接于高压旋涡风机7，吸尘组件25为四边形中空结构，吸尘组件25的侧面上设置有连接高压旋涡风机7的连接口。吸尘组件25套设于场镜24的下端。

此外，如图4所示，上述安装板21上还设置有摄像组件9，摄像组件9包括相机，相机安装于振镜23上，且相机和安装板21分别位于振镜23的相对两侧，相机被配置为拍摄待加工的工件3是否到达加工位100，以及对待加工的工件3的加工过程中各个工序后进行拍照监控，以控制待加工的工件3加工过程中各个加工工序后产品的状态，同时，对工件拍照后通过控制组件判断是否合格，并留档。控制组件内预先设定有各个工序加工完成后的图像，通过相机组件实时获取的图像与预先设定的图像进行比较，得知工件在各个工序加工后是否合格。

为保证加工后的产品的可追溯性，在每个产品上设置有二维码。上述安装板21上还设置有二维码扫描器，在待加工的产品到达加工位100后，先对该产品进行扫描并记录到控制组件的系统中，之后开始对产品拍照、加工。

如图5-6所示，上述加工组件2所需的激光光束由光路组件5提供，光路组件5包括扩束镜组件60、激光器51、整形镜组件52、光阑调整组件53、第一反射镜组件54和第二反射镜组件55。其中，第一反射镜组件54和第二反射镜组件55均设置于安装板21上，且第二反射镜组件55设置于第一反射镜组件54的下方。激光器51设置于工作平台1，激光器51、扩束镜组件60、整形镜组件52、光阑调整组件53、第一反射镜组件54均位于设置于同一直线上时，激光器51发射水平方向的光束依次经扩束镜组件60、整形镜组件52、光阑调整组件53、第一反射镜组件54，第二反射镜组件55后传递至振镜23。激光器51发射的激光光束沿X向传射于扩束镜组件60、第一反射镜组件54后得到沿Y向的激光光束，第二反射镜组件55将光束再次转向后激光光束沿X向传射于振镜23。扩束镜组件60用于调节激光器51发射的激光光束的直径和发散角度，通过扩束镜组件的调节使激光光束变为准直(平行)光束，才能利用其后设置的各个组件获得细小的高功率密度光斑。

整形镜组件52能够沿X向往复滑动，以使激光光束通过或不通过整形镜组件52，以获取两种波形的激光光束。当激光光束经过整形镜组件52时，整形镜组件52能够对光束整形，得到预需波形的光束。光阑调整组件53被配置为过滤激光光束中的其他光，同时，激光光束能够在光缆调整组件上能够显示出光点，依此位置调整激光光束的传射路径。

为使上述激光器51能够安装在机壳内部，减小占用空间，上述光路组件5还包括第三反射镜组件56、第四反射镜组件57、第五反射镜组件58和第六反射镜组件59。激光器51设置于工作平台1，激光器51位于横梁61的左侧。第四反射镜组件57、第五反射镜组件58、整形镜组件52、光阑调整组件53、第六反射镜组件59均设置于支撑台600，支撑台600设置于工作平台1上。激光器51发射的光束依次传射于第三反射镜组件56、第四反射镜组件57和第五反射镜组件58，激光器51发射沿Z向的光束，经第一反射镜组件54转向后，得到沿Y向的激光光束，传射进入第三反射镜组件56，经垂直转向后，得到沿X的激光管束，再传射进入第五反射镜组件58，经垂直转向后，得到沿Z向的激光光束，激光光束之后再传射于整形镜组件52或光阑调整组件53。之后激光光束经第六反射镜组件59处置反射后传递至第一反射镜组件54。

为使上述整形镜组件52能够沿X向往复滑动，在整形镜组件52与支撑台600之间设置有第二滑台模组526，使自第五反射镜组件58传射过来的激光光束可以通过整形镜组件52，也可以不经过，以此得到两种不同波形的激光光束。具体地，上述第二滑台模组526包括第二滑台和第二电机，整形镜组件52设置于第二滑台上，第二电机驱动第二滑台沿X向往复滑动。

上述第一反射镜组件54、第三反射镜组件56、第四反射镜组件57、第五反射镜组件58、扩束镜组件60、光阑调整组件53、第六反射镜组件59的下方均设置有第一滑动组件50，以方便调整各个反射镜组件的位置。其中第一滑动组件50为滑轨滑块组件。第一反射镜组件54能够沿Y向滑动调节，第三反射镜组件56能够沿Z向滑动调节，第四、第五反射镜组件能够沿Z向滑动调节，光阑调整组件53和第六反射镜组件59均能够沿X向滑动调节。

其中，如图6所示，扩束镜组件60包括设置于工作平台1上的扩束镜支撑座602以及设置扩束镜支撑座602上的扩束镜601，扩束镜支撑座601连接于第一滑动组件50，带动扩束镜601同步沿X向调节，扩束镜支撑座601自身结构调整能够使扩束镜601沿Z向的位置调整。光阑调整组件53包括光阑531和用于支撑和调节光阑531的支撑座532。支撑座532通过第一滑动组件50滑动设置于支撑台600上，光阑531用于显示激光光束的位置，同时用于过滤其他不易控制能量的光线。整形镜组件52包括调整支架521、整形镜522和固定支架523，固定支架523设置于第二滑台上，整形镜522的一端可拆卸连接于固定支架523，调整支架521设置于固定支架523上，用于支撑整形镜522的另一端。激光光束能够传射于整形镜522。

此外，为保护上述位于支撑台600上的各个反射镜组件、整形镜组件52和光阑调整组件53外部设置有保护壳，防止灰尘污染各个光学元件，影响工作效果。

如图1所示，上述移动组件4包括Z向移送组件41和机械手组件42。其中，如图7-9所示，Z向移送组件41设置于工作平台1上，Z向移送组件41上设置有工作位200，Z向移送组件41能够带动工作位200沿Z向往复滑动，以将待加工的工件3移送至加工位100，Z向与X向、Y向两两之间相互垂直。

上述工作平台1上沿X向且位于横梁61的前方设置并列设置有上料位300、下料位400、工作位200和废料位500。其中工作位200设置于Z向移送组件41上，工作位200两侧分别设置为上料位300和废料位500，下料位400和工作位200分别位于上料位300的两侧。通过机械手组件42将待加工的工件3自上料位300移送至工作位200。

上述Z向移送组件41包括吸附平台和第二滑动组件412，吸附平台作为待加工的工件3的工作位200，且设置于第二滑动组件412上。UV激光加工设备还包括负压系统，工作位200上设置有气通道，气通道连通于负压系统，通过负压系统产生吸力，工作位200能够吸附机械手组件42移送的待加工的工件3。

第二滑动组件412包括相互配合滑动的第二滑轨4121和第二滑块4122，第二滑轨4121的长度沿Z向设置与工作平台1上，吸附平台连接于第二滑块4122，吸附平台包括自下而上依次设置底板4111、面板4112，以及设置于底板4111和面板4112之间的第一密封垫。面板4112上设置若干个小孔，用于吸附待加工的工件3，底板4111连接于第二滑块4122，第一密封垫用于密封底板4111和面板4112之间的间隙，防止漏气。

为能够准确得知吸附平台的运动过程中的位置，在吸附平台下方设置第二光栅尺，具体地，在吸附平台的下方的工作平台1上设置凹槽，第二光栅尺设置在凹槽内，第二检测传感器443设置于底板4111的下方。

移动组件4还包括吸附组件43，吸附组件43设置于机械手组件42，吸附组件43上设置有气通道，气通道连通于负压系统，用于吸附待加工的工件3，机械手组件42带动吸附组件43所吸附的待加工的工件3移动至工作位200。本实施例中，吸附组件43将待加工的工件3自上料位300移动至工作位200，或自工作位200移动下料位400或废料位500。

上述机械手组件42设置于工作平台1,机械手组件42包括支撑件421、X向滑动组件422和Y向滑动组件423。其中，支撑件421设置于工作平台1上。X向滑动组件422设置于支撑件421上。Y向滑动组件423设置于X向滑动组件422上，吸附组件43设置于Y向滑动组件423上，Y向滑动组件423能够驱动吸附组件43沿Y向往复运动，X向滑动组件422能够驱动Y向滑动组件423和吸附组件43沿X向往复滑动。其中X向滑动组件422和Y向滑动组件423均包括电机和滑台，与上述第一滑台模组22和第二滑台模组526的结构类似。

吸附组件43包括自上而下依次设置的安装支撑板431、盖板432、第二密封垫434、吸附底板433和吸嘴435，安装支撑板431设置于Y向滑动组件423上，盖板432设置于安装支撑板431上，第二密封垫434夹设于盖板432和吸附底板433之间，吸附底板433上设置若干个吸嘴435，吸嘴435吸附待加工的工件3，将上料位300的待加工的工件3吸附移动至工作位200，或将工作位200的工件吸附移动至下料位400或废料位500。

显然，本发明的上述实施例仅仅是为了清楚说明本发明所作的举例，而并非是对本发明的实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。凡在本发明的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本发明权利要求的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种UV激光加工设备，其特征在于，包括：

工作平台(1)；

移动组件(4)，设置于所述工作平台(1)上，所述移动组件(4)能够相对于所述工作平台(1)运动，所述移动组件(4)能够吸附待加工的工件(3)并移动至加工位(100)；

加工组件(2)，设置于所述工作平台(1)上，且被配置为对所述加工位(100)的所述待加工的工件(3)进行加工；

光路组件(5)，设置于所述工作平台(1)上且位于所述加工组件(2)的一侧，所述光路组件(5)能向所述加工组件(2)传射激光光束，用于加工所述待加工的工件(3)。

2.根据权利要求1所述的UV激光加工设备，其特征在于，所述UV激光加工设备还包括X向移动组件(6)，所述加工组件(2)设置于所述X向移动组件(6)，所述X向移动组件(6)能带动所述加工组件(2)相对于所述工作平台(1)沿X向往复运动。

3.根据权利要求2所述的UV激光加工设备，其特征在于，所述加工组件(2)包括：

安装板(21)，滑动设置于所述X向移动组件(6)；

第一滑台模组(22)，设置于所述安装板(21)且沿Y向延伸；

振镜(23)和场镜(24)，所述振镜(23)和所述场镜(24)能够沿所述第一滑台模组(22)往复滑动；

所述光路组件(5)传射的光路依次经所述振镜(23)和所述场镜(24)后用于加工所述待加工的工件(3)。

4.根据权利要求3所述的UV激光加工设备，其特征在于，所述加工组件(2)还包括：

吸尘组件(25)，所述吸尘组件(25)设置于所述安装板(21)上，且位于所述场镜(24)下方，所述吸尘组件(25)被配置为吸附加工所述待加工的工件(3)产生的废料。

5.根据权利要求3所述的UV激光加工设备，其特征在于，所述移动组件(4)包括：

Z向移送组件(41)，设置于所述工作平台(1)上，所述Z向移送组件(41)上设置有工作位(200)，所述Z向移送组件(41)能够带动所述工作位(200)沿Z向往复滑动，以将所述待加工的工件(3)移送至所述加工位(100)，所述Z向、所述X向和所述Y向两两之间相互垂直；

机械手组件(42)，所述机械手组件(42)设置于所述工作平台(1)，所述机械手组件(42)能够将所述待加工的工件(3)移送至所述工作位(200)。

6.根据权利要求5所述的UV激光加工设备，其特征在于，所述移动组件(4)还包括吸附组件(43)，所述吸附组件(43)设置于所述机械手组件(42)，所述吸附组件(43)用于吸附所述待加工的工件(3)，所述机械手组件(42)带动所述吸附组件(43)所吸附的所述待加工的工件(3)移动并放置于所述工作位(200)。

7.根据权利要求5所述的UV激光加工设备，其特征在于，所述光路组件(5)包括：

激光器(51)，设置于所述工作平台(1)，所述激光器(51)发射水平方向的光束依次经扩束镜组件(60)、整形镜组件(52)、光阑调整组件(53)、第一反射镜组件(54)以及第二反射镜组件(55)后传递至所述振镜(23)；

所述第一反射镜组件(54)和所述第二反射镜组件(55)均设置于所述安装板(21)上，且所述第二反射镜组件(55)设置于所述第一反射镜组件(54)的下方，所述激光器(51)发射的光束沿X向传射于所述第一反射镜组件(54)后得到沿Y向的光束，所述第二反射镜组件(55)将光束再次转向后沿X向传射于所述振镜(23)；

所述扩束镜组件(60)用于调节激光器(51)发射的激光光束的直径和发散角度，所述整形镜组件(52)能够沿X向往复滑动，所述整形镜组件(52)能够对光束整形，得到预需波形的光束；

所述光阑调整组件(53)被配置为过滤激光光束中的其他光。

8.根据权利要求7所述的UV激光加工设备，其特征在于，所述光路组件(5)还包括：

第三反射镜组件(56)、第四反射镜组件(57)和第五反射镜组件(58)，所述激光器(51)发射的光束依次传射于所述第三反射镜组件(56)、所述第四反射镜组件(57)和所述第五反射镜组件(58)，得到沿所述Z向的激光光束，所述激光光束传射于所述整形镜组件(52)或所述光阑调整组件(53)；

第六反射镜组件(59)，所述光阑调整组件(53)的激光光束经所述第六反射镜组件(59)处置反射后传递至所述第一反射镜组件(54)；

所述第四反射镜组件(57)、第五反射镜组件(58)、所述整形镜组件(52)、所述光阑调整组件(53)、所述第六反射镜组件(59)均设置于支撑台(600)，所述支撑台(600)设置于所述工作平台(1)上。

9.根据权利要求5所述的UV激光加工设备，其特征在于，所述UV激光加工设备还包括高压旋涡风机(7)和负压系统，所述高压旋涡风机(7)用于吸附所述加工组件(2)加工所述待加工的工件(3)时产生粉尘和废料；

所述工作位(200)上设置有气通道，所述气通道连通于所述负压系统，所述工作位(200)能够吸附所述机械手组件(42)移送的所述待加工的工件(3)。

10.根据权利要求6所述的UV激光加工设备，其特征在于，所述机械手组件(42)包括：

支撑件(421)，设置于所述工作平台(1)上；

X向滑动组件(422)，设置于所述支撑件(421)上；

Y向滑动组件(423)，设置于所述X向滑动组件(422)上，所述吸附组件(43)设置于所述Y向滑动组件(423)上，所述Y向滑动组件(423)能够驱动所述吸附组件(43)沿Y向往复运动，所述X向滑动组件(422)能够驱动所述Y向滑动组件(423)和所述吸附组件(43)沿X向往复滑动。

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