CN214097300U - 一种超纯氨在线分析装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及一种超纯氨在线分析装置，包括依次连接的气源单元、气源接入单元，分析控制单元和检测单元；所述检测单元包括氦离子化气相色谱检测单元和微水分分析仪检测单元；所述分析控制单元包括连接氦离子化气相色谱单元的第一分析单元和连接微水分分析仪检测单元的第二分析单元。本实用新型能够以在线检测的形式，定时检测工艺中超纯氨气体杂质，避免采样过程中带来的污染对测量结果的影响。
Description
技术领域
本实用新型涉及气体分析领域，具体涉及一种超纯氨在线分析装置。
背景技术
超纯氨现在广泛应用于LED、TFT、集成电路等领域，在近年来高速增长的LED产业中，超纯氨作为其上游产业中LED蓝绿光外延芯片制造最主要的原材料之一，其纯度对LED的亮度、颜色和电学属性有着极大的影响。在PV行业，超纯氨则是作为晶体硅太阳能电池中氮化硅薄膜的重要氮源，它的质量对太阳能电池起着至关重要的作用，因此超纯氨分析技术也愈发重要。
发明内容
有鉴于此，本实用新型的目的在于提供一种超纯氨在线分析装置，能够以在线检测的形式，定时检测工艺中超纯氨气体杂质，避免采样过程中带来的污染对测量结果的影响。
为实现上述目的本实用新型采用以下技术方案实现：
一种超纯氨在线分析装置，包括依次连接的气源单元、气源接入单元，分析控制单元和检测单元；所述检测单元包括氦离子化气相色谱检测单元和微水分分析仪检测单元；所述分析控制单元包括连接氦离子化气相色谱单元的第一分析单元和连接微水分分析仪检测单元的第二分析单元。
进一步的，所述气源单元包括超纯氨工艺的各精馏塔，超纯氨成品罐、超纯氨槽车、氮气源以及氦气源。
进一步的，所述气源接入单元包括第一气源接入单元和第二气源接入单元。
进一步的，所述第一气源接入单元包括截止阀MV13、压力表PG05、截止阀MV14、调压阀REG03、压力表PG03和过滤器LF04；所述氮气通过截止阀进入管路，并与截止阀MV13和压力表PG05分别相连；氮气在管路中通过截止阀MV13排空，或经过压力表PG05后通过调压阀REG03调节压力后进入过滤器LF04，并随后进入分析控制单元。
进一步的，所述第二气源接入单元包括截止阀MV15、截止阀MV16、截止阀MV17、压力表PG06、压力表PG07、调压阀REG04、压力表PG04、过滤器LF05；所述氦气通过旋塞阀进入管路，并与截止阀MV16和压力表PG06，PG07分别连接；氦气在管路中通过截止阀MV16排空或经过压力表PG06/PG07后通过调压阀REG04调节压力后再经过过滤器LF05进入分析控制单元；其中调压阀REG04与压力表PG06，PG07之间以截止阀MV15，MV17控制氦气的通过性，调压阀REG04与过滤器LF05之间设有压力表PG04用以观察调节后的气体压力。
进一步的，所述各精馏塔、超纯氨成品罐、超纯氨槽车作为要分析的取样点，分别与截止阀MV01和截止阀MV07相连接；超纯氨经过截止阀MV01后进入第一分析控制单元；经过截止阀MV07后进入第二分析控制单元。
进一步的，所述过滤阀LF05传输来的氮气通过截止阀MV02和止回阀CV03后于截止阀MV04前与超纯氨输送管道汇合其目的在于对管道进行吹扫、置换；被取样来的超纯氨在经过截止阀MV01后进入第一控制单元，依次通过过滤器LF01、截止阀MV03和止回阀CV04后经截止阀MV04后由调压阀REG01调节压力，经过压力表FG01观察合适后继续输送；压力表FG01分别于截止阀MV05和截止阀MV06连接；管道剩余气体经过MV05后通过止回阀CV05和流量计FM01后直接排空；氦气通过过滤器LF06输送后作为色谱仪载气，要取样分析的超纯氨通过截止阀MV06后至氦离子气相色谱单元取样。
进一步的，所述经过过滤器LF04传输来的氮气依次通过减压阀过滤器LF02、截止阀MV08和止回阀CV07后在截止阀MV10前与超纯氨输送管道汇合用于吹扫、置换管道；待取样分析的超纯氨在经过截止阀MV07后进入分析控制面板区，依次经过过滤器LF03、截止阀MV09和止回阀CV08后经过截止阀MV10由调压阀REG02调节压力，经过压力表PG02观察合适后继续输送；压力表PG03分别与截止阀MV11和截止阀MV12连接；压力表PG02输送的气体在不需要分析时可以在经过截止阀MV11、止回阀CV09和流量计FM02后直接排空；需要进行分析的气体经过截止阀MV12后直接进入微水分分析单元进行分析；测试后的气体经过止回阀CV10后排空。
进一步的，所述阀门、管路、仪表均采用耐腐蚀、EP级内壁超洁净材料。
本实用新型与现有技术相比具有以下有益效果：
1、本实用新型能够以在线检测的形式，定时检测工艺中超纯氨气体杂质，避免采样过程中带来的污染对测量结果的影响。
2、本实用新型可以实时跟踪超纯氨的纯度。
附图说明
图1是本实用新型装置结构示意图。
具体实施方式
下面结合附图及实施例对本实用新型做进一步说明。
请参照图1本实施例提供一种超纯氨在线分析装置，包括依次连接的气源单元、气源接入单元，分析控制单元和检测单元；所述检测单元包括氦离子化气相色谱检测单元和微水分分析仪检测单元；所述分析控制单元包括连接氦离子化气相色谱单元的第一分析单元和连接微水分分析仪检测单元的第二分析单元。
在本实施例中，气源单元包括超纯氨工艺的各精馏塔，超纯氨成品罐、超纯氨槽车、氮气源以及氦气源。
氮气通过截止阀进入管路，并与截止阀MV13和压力表PG05分别相连；氮气在管路中通过截止阀MV13排空，或经过压力表PG05后通过调压阀REG03调节压力后进入过滤器LF04，并随后进入分析控制单元。其中调压阀REG03与压力表PG05之间以截止阀MV14来控制气体通过性，调压阀REG03与过滤器LF04之间有压力表PG05用以观察调节后的气体压力。
氦气在管路中通过截止阀MV16排空或经过压力表PG06/PG07后通过调压阀REG04调节压力后再经过过滤器LF05进入分析控制单元；其中调压阀REG04与压力表PG06，PG07之间以截止阀MV15，MV17控制氦气的通过性，调压阀REG04与过滤器LF05之间设有压力表PG04用以观察调节后的气体压力。
各精馏塔、超纯氨成品罐、超纯氨槽车作为要分析的取样点，分别与截止阀MV01和截止阀MV07相连接；超纯氨经过截止阀MV01后进入第一分析控制单元；经过截止阀MV07后进入第二分析控制单元。
在本实施中，在氦离子气相色谱仪测试前的第一分析控制单元，过滤阀LF05传输来的氮气通过截止阀MV02和止回阀CV03后于截止阀MV04前与超纯氨输送管道汇合其目的在于对管道进行吹扫、置换；被取样来的超纯氨在经过截止阀MV01后进入第一控制单元，依次通过过滤器LF01、截止阀MV03和止回阀CV04后经截止阀MV04后由调压阀REG01调节压力，经过压力表FG01观察合适后继续输送；压力表FG01分别于截止阀MV05和截止阀MV06连接；管道剩余气体经过MV05后通过止回阀CV05和流量计FM01后直接排空；氦气通过过滤器LF06输送后作为色谱仪载气，要取样分析的超纯氨通过截止阀MV06后至氦离子气相色谱单元取样。
在本实施例中，当进行微水分分析仪分析时，经过过滤器LF04传输来的氮气依次通过减压阀过滤器LF02、截止阀MV08和止回阀CV07后在截止阀MV10前与超纯氨输送管道汇合用于吹扫、置换管道；待取样分析的超纯氨在经过截止阀MV07后进入分析控制面板区，依次经过过滤器LF03、截止阀MV09和止回阀CV08后经过截止阀MV10由调压阀REG02调节压力，经过压力表PG02观察合适后继续输送；压力表PG03分别与截止阀MV11和截止阀MV12连接；压力表PG02输送的气体在不需要分析时可以在经过截止阀MV11、止回阀CV09和流量计FM02后直接排空；需要进行分析的气体经过截止阀MV12后直接进入微水分分析单元进行分析；测试后的气体经过止回阀CV10后排空。
优选的，上述所有的阀门、管路、仪表均采用耐腐蚀、EP级内壁超洁净材料。
以上所述仅为本实用新型的较佳实施例，凡依本实用新型申请专利范围所做的均等变化与修饰，皆应属本实用新型的涵盖范围。
Claims (8)
1.一种超纯氨在线分析装置，其特征在于，包括依次连接的气源单元、气源接入单元，分析控制单元和检测单元；所述检测单元包括氦离子化气相色谱检测单元和微水分分析仪检测单元；所述分析控制单元包括连接氦离子化气相色谱单元的第一分析单元和连接微水分分析仪检测单元的第二分析单元。
2.根据权利要求1所述的一种超纯氨在线分析装置，其特征在于，所述气源单元包括超纯氨工艺的各精馏塔，超纯氨成品罐、超纯氨槽车、氮气源以及氦气源。
3.根据权利要求2所述的一种超纯氨在线分析装置，其特征在于，所述气源接入单元包括第一气源接入单元和第二气源接入单元。
4.根据权利要求3所述的一种超纯氨在线分析装置，其特征在于，所述第一气源接入单元包括截止阀MV13、压力表PG05、截止阀MV14、调压阀REG03、压力表PG03和过滤器LF04；所述氮气通过截止阀进入管路，并与截止阀MV13和压力表PG05分别相连；氮气在管路中通过截止阀MV13排空，或经过压力表PG05后通过调压阀REG03调节压力后进入过滤器LF04，并随后进入分析控制单元。
5.根据权利要求3所述的一种超纯氨在线分析装置，其特征在于，所述第二气源接入单元包括截止阀MV15、截止阀MV16、截止阀MV17、压力表PG06、压力表PG07、调压阀REG04、压力表PG04、过滤器LF05；所述氦气通过旋塞阀进入管路，并与截止阀MV16和压力表PG06，PG07分别连接；氦气在管路中通过截止阀MV16排空或经过压力表PG06/PG07后通过调压阀REG04调节压力后再经过过滤器LF05进入分析控制单元；其中调压阀REG04与压力表PG06，PG07之间以截止阀MV15，MV17控制氦气的通过性，调压阀REG04与过滤器LF05之间设有压力表PG04用以观察调节后的气体压力。
6.根据权利要求2所述的一种超纯氨在线分析装置，其特征在于，所述各精馏塔、超纯氨成品罐、超纯氨槽车作为要分析的取样点，分别与截止阀MV01和截止阀MV07相连接；超纯氨经过截止阀MV01后进入第一分析控制单元；经过截止阀MV07后进入第二分析控制单元。
7.根据权利要求5所述的一种超纯氨在线分析装置，其特征在于，所述过滤器LF05传输来的氮气通过截止阀MV02和止回阀CV03后于截止阀MV04前与超纯氨输送管道汇合其目的在于对管道进行吹扫、置换；被取样来的超纯氨在经过截止阀MV01后进入第一控制单元，依次通过过滤器LF01、截止阀MV03和止回阀CV04后经截止阀MV04后由调压阀REG01调节压力，经过压力表FG01观察合适后继续输送；压力表FG01分别于截止阀MV05和截止阀MV06连接；管道剩余气体经过MV05后通过止回阀CV05和流量计FM01后直接排空；氦气通过过滤器LF06输送后作为色谱仪载气，要取样分析的超纯氨通过截止阀MV06后至氦离子气相色谱单元取样。
8.根据权利要求4所述的一种超纯氨在线分析装置，其特征在于，所述经过过滤器LF04传输来的氮气依次通过减压阀过滤器LF02、截止阀MV08和止回阀CV07后在截止阀MV10前与超纯氨输送管道汇合用于吹扫、置换管道；待取样分析的超纯氨在经过截止阀MV07后进入分析控制面板区，依次经过过滤器LF03、截止阀MV09和止回阀CV08后经过截止阀MV10由调压阀REG02调节压力，经过压力表PG02观察合适后继续输送；压力表PG03分别与截止阀MV11和截止阀MV12连接；压力表PG02输送的气体在不需要分析时可以在经过截止阀MV11、止回阀CV09和流量计FM02后直接排空；需要进行分析的气体经过截止阀MV12后直接进入微水分分析单元进行分析；测试后的气体经过止回阀CV10后排空。
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| CN202120001307.9U CN214097300U (zh) | 2021-01-04 | 2021-01-04 | 一种超纯氨在线分析装置 |
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