CN219475500U - 一种电子特气分析系统 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提出一种电子特气分析系统，主要针对电子特气气体中氯化物，氮氧化物及碳氢化合物等杂质进行分析，包括气源区、控制区、检测区、尾气区；所述检测区包括气相色谱和傅里叶变换红外分析仪；气源区与检测区相连气路处设有由控制区控制的检测阀门；所述控制区通过对检测阀门的控制，使气源区的待测气体同时进入气相色谱与傅里叶变换红外光谱仪；本实用新型检测效率高，准确性好，能快速提供电子特气的分析结果。
Description
技术领域
本发明涉及气体分析技术领域，尤其是一种电子特气分析系统。
背景技术
电子特气现在广泛应用于LED、面板、太阳能、集成电路，军工等领域，随着在近年来科技产业的快速发展，电子特气被广泛的运用在蚀刻、离子注入、离子掺杂、薄膜沉积、高纯无机材料合成等方面广泛运用。国家科技的快速发展，科技行业生产工艺越来越高，也对电子特气产品的纯度要求也越来越高。因此提供一种高效准确的电子特气分析系统是必要的。
如何提升电子特气分析系统的效率和准确性，是一个研究方向。
发明内容
本实用新型提出一种电子特气分析系统，检测效率高，准确性好，能快速提供电子特气的分析结果。
本实用新型采用以下技术方案。
一种电子特气分析系统，主要针对电子特气气体中氯化物，氮氧化物及碳氢化合物等杂质进行分析，包括气源区、控制区、检测区、尾气区；所述检测区包括气相色谱和傅里叶变换红外分析仪；气源区与检测区相连气路处设有由控制区控制的检测阀门；所述控制区通过对检测阀门的控制，使气源区的待测气体同时进入气相色谱与傅里叶变换红外光谱仪。
所述气源区包括制备电子特气的精馏塔A和精馏塔B，还包括用于存放待分析电子特气的第一气瓶、第二气瓶，以及用于吹扫的氮气源和氦气源。
所述控制区通过控制检测阀门的启闭，使气源区的待测气体进入检测区并在一次取样内完成全部分析。
气源区与检测区相连气路处的检测阀门可手动控制启闭。
所述尾气区包括尾气系统和真空系统。
尾气区的输入端与检测区相连，输出端与尾气吸收塔相连。
所述气源区、控制区、检测区、尾气区之间通过气路管道相连接，所述气路管道以控制阀门、流量计对其内部的气体流量进行控制。
所述控制阀门包括截止阀、减压阀、针阀。
所述流量计包括质量流量计、浮子流量计。
本实用新型相对于现有技术，具有如下的优点及有益效果：
（1）本实用新型所述的一种电子特气分析系统，具备分析准确，分析效率高方面的优点。
（2）本实用新型所述的一种电子特气分析系统直接与分析点通过管道连接，避免气体取样过程中气体泄漏，污染等因素影响检测结果。
（3）本实用新型所述的一种电子特气分析系统，结构清晰，易于配备。
附图说明
下面结合附图和具体实施方式对本实用新型进一步详细的说明：
附图1是本实用新型的示意图；
图中：1-第一气瓶；2-第二气瓶；3-精馏塔A；4-精馏塔B；5-气源区；6-检测区。
具体实施方式
如图所示，一种电子特气分析系统，主要针对电子特气气体中氯化物，氮氧化物及碳氢化合物等杂质进行分析，包括气源区5、控制区、检测区6、尾气区；所述检测区包括气相色谱和傅里叶变换红外分析仪；气源区与检测区相连气路处设有由控制区控制的检测阀门；所述控制区通过对检测阀门的控制，使气源区的待测气体同时进入气相色谱与傅里叶变换红外光谱仪。
所述气源区包括制备电子特气的精馏塔A 3和精馏塔B 4，还包括用于存放待分析电子特气的第一气瓶1、第二气瓶2，以及用于吹扫的氮气源和氦气源。
所述控制区通过控制检测阀门的启闭，使气源区的待测气体进入检测区并在一次取样内完成全部分析。
气源区与检测区相连气路处的检测阀门可手动控制启闭。
所述尾气区包括尾气系统和真空系统。
尾气区的输入端与检测区相连，输出端与尾气吸收塔相连。
所述气源区、控制区、检测区、尾气区之间通过气路管道相连接，所述气路管道以控制阀门、流量计对其内部的气体流量进行控制。
所述控制阀门包括截止阀、减压阀、针阀。
所述流量计包括质量流量计、浮子流量计。
实施例：
如图所示，一种电子特气分析系统，包括气源区、混合区、检测区和尾气区。其中气源区分别有制备电子特气的精馏塔A，B、待分析的电子特气气瓶1,2、管道吹扫用的氮气，氦气。混合区包括气相色谱和傅里叶变换红外光谱前管道与阀门。检测区分别为气相色谱和傅里叶变换红外光谱。尾气区包含尾气系统和真空系统。
氦气在是由前端集中供气系统减压后提供，氦气进入系统由截止阀MV11控制，用于整个系统的置换以及气相色谱吹扫。
氮气也是由由前端集中供气系统减压后提供，氮气进入系统由截止阀MV20控制，用于傅里叶红外光谱吹扫使用。精馏塔A/B,气瓶1/2,为待检气源，由MV01-MV04控制。
气相色谱通过截止阀MV12与外接标气进行连接，进行仪器标定，傅里叶变换红外光谱通过截止阀MV21与外接标气进行连接，进行仪器标定。
在检测前，开启截止阀MV11，MV13，并调节针法NV01，使经过气相色谱的氦气压力达到要求值。开启截止阀MV20,MV23，通过调节流量计FM01的开度，使经过傅里叶红外光谱的氮气压力达到要求值。此时气相色谱与红外光谱处于待使用状态。
检测精馏塔B样品时，开启截止阀MV05,MV14,MV09,关闭截止阀MV11,NV01,MV13。然后开启截止阀MV11，观察压力表PG01PG02的压力值，当压力稳定不变时，关闭截止阀MV11，开启截止阀MV10，管道内的氮气通过截止阀MV10与真空系统连通，排放到尾气吸收塔。重复截止阀MV11，与截止阀MV10的开启关闭15-20次，将待测管道充分置换干净，最后保持管道内PG01，PG02示数为负，关闭截止阀MV11，MV10。开启截止阀MV01,MV13,调节针阀NV01，使精馏塔B的样品经过气相色谱的压力满足气相色谱分析需求。关闭截止阀MV20,开启截止阀MV18，调节流量计FM01，使精馏塔B的样品经过傅里叶变换红外光谱仪的压力符合要求。
此时精馏塔B的样品同时经过气相色谱与傅里叶变换红外光谱仪，点击仪器开始检测按钮，仪器进行分析检测。检测完毕后，关闭截止阀MV18，开启截止阀MV20使傅里叶变换红外光谱处于氮气吹扫状态。
氮气吹扫时，关闭针阀NV01，截止阀MV01,开启截止阀MV10使压力表PG01，PG02的示数处于负状态，并保持不变，关闭截止阀MV10，开启截止MV11,使PG01，PG02压力显示稳定。重复截止阀MV10，MV11开启与关闭15-20次，将管道内的样品置换干净。最后保持截止阀MV10关闭，截止阀MV11开启，压力表示数为“正”。关闭截止阀MV05,MV14,MV09，开启并调节针法NV01，保持氦气经过气相色谱排放到尾气系统。
以上完成精馏塔B样品分析检测。
上述所有的阀门、管路、仪表等均为市场通用型号。
以上所述仅是对本发明的较佳实施方式而已，并非对本发明作任何形式上的限制，凡是依据本发明的技术实质对以上实施例所做的任何简单修改，等同变化与修饰，均属于本发明技术方案的范围内。
Claims (9)
1.一种电子特气分析系统，主要针对电子特气气体中氯化物，氮氧化物及碳氢化合物的杂质进行分析，其特征在于：包括气源区、控制区、检测区、尾气区；所述检测区包括气相色谱和傅里叶变换红外分析仪；气源区与检测区相连气路处设有由控制区控制的检测阀门；所述控制区通过对检测阀门的控制，使气源区的待测气体同时进入气相色谱与傅里叶变换红外光谱仪。
2.根据权利要求1所述的一种电子特气分析系统，其特征在于：所述气源区包括制备电子特气的精馏塔A和精馏塔B，还包括用于存放待分析电子特气的第一气瓶、第二气瓶，以及用于吹扫的氮气源和氦气源。
3.根据权利要求1所述的一种电子特气分析系统，其特征在于：所述控制区通过控制检测阀门的启闭，使气源区的待测气体进入检测区并在一次取样内完成全部分析。
4.根据权利要求1所述的一种电子特气分析系统，其特征在于：气源区与检测区相连气路处的检测阀门可手动控制启闭。
5.根据权利要求1所述的一种电子特气分析系统，其特征在于：所述尾气区包括尾气系统和真空系统。
6.根据权利要求5所述的一种电子特气分析系统，其特征在于：尾气区的输入端与检测区相连，输出端与尾气吸收塔相连。
7.根据权利要求1所述的一种电子特气分析系统，其特征在于：所述气源区、控制区、检测区、尾气区之间通过气路管道相连接，所述气路管道以控制阀门、流量计对其内部的气体流量进行控制。
8.根据权利要求7所述的一种电子特气分析系统，其特征在于：所述控制阀门包括截止阀、减压阀、针阀。
9.根据权利要求7所述的一种电子特气分析系统，其特征在于：所述流量计包括质量流量计、浮子流量计。
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Publications (1)
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2023
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