CN213989548U

CN213989548U - 一种带环激光光刻管

Info

Publication number: CN213989548U
Application number: CN202023352439.0U
Authority: CN
Inventors: 王竺健
Original assignee: Individual
Current assignee: Individual
Priority date: 2020-12-31
Filing date: 2020-12-31
Publication date: 2021-08-17
Anticipated expiration: 2030-12-31

Abstract

本实用新型公开了一种带环激光光刻管，包括依次套装相连的外管、水冷管和放电管，外管与水冷管之间形成气体腔，水冷管与放电管之间形成冷却腔，放电管内部设置有激光发生通道，激光发生通道的内壁上等间距设置有光刻环，光刻环的宽度为0.5‑1mm，均匀分布的光刻环能够起到聚光效果；放电管上套设有石墨套，石墨套具有耐高温性，而且热膨胀系数小、导热性好，石墨套配合上支撑架对放电管进行支撑固定，使放电管射出的激光更加稳定；扩大管内可以容纳更多的冷却水，从而使放电管得到更快的冷却，玻璃支撑柱的设置使扩大管更加牢固，不易炸裂。

Description

一种带环激光光刻管

技术领域

本实用新型涉及面料领域，具体涉及一种带环激光光刻管。

背景技术

激光管，全称为玻璃封离式CO2激光器，因结构为玻璃管封装而成，因此被俗称为激光管。激光管是激光切割装置的主要部件，激光管的质量直接影响到激光切割装置的效果和功率。激光玻璃管是激光管的外壳，因此激光玻璃管的直线性和聚光效果也会极大的影响激光管的质量。由于激光玻璃管的工作温度很高，对于较长的玻璃管来说，长时间处于高温下会出现玻璃管的变形，影响激光管的正常工作。

发明内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中的问题，提供一种带环激光光刻管，放电管不易变形，而且聚光效果好。

为了达到上述目的，本实用新型的技术方案是：

一种带环激光光刻管，包括依次套装相连的外管、水冷管和放电管，所述外管与水冷管之间形成气体腔，所述外管的外壁上设置有与气体腔相连通的排气管，所述水冷管与放电管之间形成冷却腔，放电管内部设置有激光发生通道，所述激光发生通道的内壁上等间距设置有光刻环；所述外管的两端分别安装有第一连接管和第二连接管，所述第一连接管和第二连接管的侧面上均安装有电极柱，所述第一连接管伸入外管内与放电管的一端相连通，所述第二连接管与气体腔相连通；所述水冷管外缠绕设置有回气管，所述回气管的一端与第一连接管相连通，所述回气管的另一端与气体腔相连通。

优选的，所述水冷管靠近第一连接管的一端安装有与冷却腔连通的进水接头，所述进水接头延伸至外管外；所述水冷管靠近第二连接管的一端设置有与冷却腔连通的扩大管，所述扩大管上安装有延伸至外管外的出水接头，所述放电管远离第一连接管一端穿过扩大管并与气体腔连通。

优选的，所述扩大管的外侧面上周向设置有至少三根玻璃支撑柱，所述玻璃支撑柱均与外管的内壁固定相连。

优选的，所述放电管上套设有石墨套，所述石墨套的外侧面上轴向设置有至少三根支撑架，所述支撑架均与水冷管的内壁固定相连。

优选的，所述石墨套的数量为两个。

本实用新型的有益效果是：本实用新型的一种带环激光光刻管，包括依次套装相连的外管、水冷管和放电管，外管与水冷管之间形成气体腔，水冷管与放电管之间形成冷却腔，放电管内部设置有激光发生通道，激光发生通道的内壁上等间距设置有光刻环，光刻环的宽度为0.5-1mm，均匀分布的光刻环能够起到聚光效果；放电管上套设有石墨套，石墨套具有耐高温性，而且热膨胀系数小、导热性好，石墨套配合上支撑架对放电管进行支撑固定，使放电管射出的激光更加稳定；扩大管内可以容纳更多的冷却水，从而使放电管得到更快的冷却，玻璃支撑柱的设置使扩大管更加牢固，不易炸裂。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为本实用新型放电管的局部结构示意图。

具体实施方式

为了使本技术领域的人员更好地理解本实用新型方案，下面结合附图和实施方式对本发明创造作进一步的详细说明。

如图1-2所示的一种带环激光光刻管，包括依次套装相连的外管1、水冷管2和放电管3，所述外管1与水冷管2之间形成气体腔4，所述外管1的外壁上设置有与气体腔4相连通的排气管44，气体腔4内通过排气管44抽真空，然后再往里面输入二氧化碳、氦气、氖气等工作气体。所述水冷管2与放电管3之间形成冷却腔5，放电管3内部设置有激光发生通道6，所述激光发生通道6的内壁上等间距设置有光刻环61。光刻环61的宽度为0.5-1mm，均匀分布的光刻环61能够起到聚光效果。

所述外管1的两端分别安装有第一连接管7和第二连接管71，所述第一连接管7和第二连接管71的侧面上均安装有电极柱77，所述第一连接管7伸入外管1内与放电管3的一端相连通，所述第二连接管71与气体腔4相连通。所述放电管3上套设有石墨套31，所述石墨套31的外侧面上轴向设置有至少三根支撑架33，所述支撑架33均与水冷管2的内壁固定相连。石墨套31具有耐高温性，而且热膨胀系数小、导热性好，石墨套31配合上支撑架33对放电管3进行支撑固定，使放电管3射出的激光更加稳定。所述石墨套31的数量为两个，根据玻璃管的长度也可以适当增加。

所述水冷管2外缠绕设置有回气管91，所述回气管91的一端与第一连接管7相连通，所述回气管91的另一端与气体腔4相连通。回气管91连通气体腔4与激光发生通道6，使气体腔4与激光发生通道6内都能够充满工作气体。

所述水冷管2靠近第一连接管7的一端安装有与冷却腔5连通的进水接头8，所述进水接头8延伸至外管1外。所述水冷管2靠近第二连接管71的一端设置有与冷却腔5连通的扩大管78，所述扩大管78上安装有延伸至外管1外的出水接头81，所述放电管3远离第一连接管7一端穿过扩大管78并与气体腔4连通。冷却腔5内通过进水接头8和出水接头81不断的输入排出冷却水来实现冷却降温。所述扩大管78的外侧面上周向设置有至少三根玻璃支撑柱9，所述玻璃支撑柱9均与外管1的内壁固定相连。扩大管78内可以容纳更多的冷却水，从而使放电管3得到更快的冷却，玻璃支撑柱9的设置使扩大管78更加牢固，不易炸裂。

以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。

Claims

1.一种带环激光光刻管，其特征在于：包括依次套装相连的外管（1）、水冷管（2）和放电管（3），所述外管（1）与水冷管（2）之间形成气体腔（4），所述外管（1）的外壁上设置有与气体腔（4）相连通的排气管（44），所述水冷管（2）与放电管（3）之间形成冷却腔（5），放电管（3）内部设置有激光发生通道（6），所述激光发生通道（6）的内壁上等间距设置有光刻环（61）；所述外管（1）的两端分别安装有第一连接管（7）和第二连接管（71），所述第一连接管（7）和第二连接管（71）的侧面上均安装有电极柱（77），所述第一连接管（7）伸入外管（1）内与放电管（3）的一端相连通，所述第二连接管（71）与气体腔（4）相连通；所述水冷管（2）外缠绕设置有回气管（91），所述回气管（91）的一端与第一连接管（7）相连通，所述回气管（91）的另一端与气体腔（4）相连通。

2.根据权利要求1所述的带环激光光刻管，其特征在于：所述水冷管（2）靠近第一连接管（7）的一端安装有与冷却腔（5）连通的进水接头（8），所述进水接头（8）延伸至外管（1）外；所述水冷管（2）靠近第二连接管（71）的一端设置有与冷却腔（5）连通的扩大管（78），所述扩大管（78）上安装有延伸至外管（1）外的出水接头（81），所述放电管（3）远离第一连接管（7）一端穿过扩大管（78）并与气体腔（4）连通。

3.根据权利要求2所述的带环激光光刻管，其特征在于：所述扩大管（78）的外侧面上周向设置有至少三根玻璃支撑柱（9），所述玻璃支撑柱（9）均与外管（1）的内壁固定相连。

4.根据权利要求1所述的带环激光光刻管，其特征在于：所述放电管（3）上套设有石墨套（31），所述石墨套（31）的外侧面上轴向设置有至少三根支撑架（33），所述支撑架（33）均与水冷管（2）的内壁固定相连。

5.根据权利要求4所述的带环激光光刻管，其特征在于：所述石墨套（31）的数量为两个。