CN213958917U - 一种可翻转扩膜机 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及扩膜机技术领域，尤其涉及一种可翻转扩膜机，包括机座、支撑架和扩膜平台；机座的中部中空形成扩膜腔；机座上设置有收集盒，收集盒位于扩膜腔的底部；机座的一侧设置有控制面板；机座的内部设置有伸缩臂；伸缩臂上设置有连接件；扩膜平台位于扩膜腔内；扩膜平台的两侧均设置有滑槽；滑槽上滑动设置有连接轴；连接轴为圆弧形；连接件与连接轴配合安装；连接轴上设置有吸附块；扩膜平台的顶部设置有支撑板，支撑板上设置有安装台；安装台上配套设置有绷紧内环和绷紧外环；支撑架安装在机座上；支撑架上设置有液压缸；支撑架的底部设置有压紧盖板；本实用新型扩膜平台能够翻转，有利于取出扩膜时产生的碎削，提高扩膜的效果。

Description

一种可翻转扩膜机

技术领域

本实用新型涉及扩膜机技术领域，尤其涉及一种可翻转扩膜机。

背景技术

扩膜机是专门用于晶圆、LED等切割后的扩膜工序；可均匀的扩张晶粒之间的间距；现有技术中的扩膜机扩膜时晶圆正面向上，没有办法正面向下进行扩膜；扩膜过程中会产生碎削留在晶圆表面，需要使用额外的清理设备进行清理；清理过程中容易污损晶圆，影响扩膜质量。

为解决上述问题，本申请中提出一种可翻转扩膜机。

实用新型内容

(一)实用新型目的

为解决背景技术中存在的现有技术中的扩膜机扩膜时晶圆正面向上，没有办法正面向下进行扩膜；扩膜过程中会产生碎削留在晶圆表面，需要使用额外的清理设备进行清理；清理过程中容易污损晶圆，影响扩膜质量的技术问题，本实用新型提出一种可翻转扩膜机，具有扩膜平台能够翻转，有利于取出扩膜时产生的碎削，提高扩膜的效果的特点。

(二)技术方案

为解决上述技术问题，本实用新型提供了一种可翻转扩膜机，包括机座、支撑架和扩膜平台；

机座的中部中空形成扩膜腔；机座上设置有收集盒，收集盒位于扩膜腔的底部；机座的一侧设置有控制面板；机座的内部设置有伸缩臂，伸缩臂沿着竖直方向上下伸缩；伸缩臂上设置有连接件；

扩膜平台位于扩膜腔内；扩膜平台的两侧均设置有滑槽；滑槽的上半部为弧形，下半部为矩形；滑槽的内壁上设置有电磁铁；滑槽上滑动设置有连接轴；连接轴为圆弧形；连接件与连接轴配合安装；连接件上设置有驱动连接轴转动的驱动电机；连接轴上设置有吸附块，吸附块与电磁铁配合卡接，且吸附块与电磁铁磁性相吸；扩膜平台的顶部设置有支撑板，支撑板上设置有安装台；安装台上配套设置有绷紧内环和绷紧外环；支撑板上转动设置有片环；片环扣在安装台上；

支撑架安装在机座上；支撑架上设置有液压缸；支撑架的底部设置有压紧盖板；液压缸驱动压紧盖板沿着竖直方向上下运动；支撑架上设置有多个导向杆；导向杆从压紧盖板中穿过；压紧盖板位于安装台的正上方。

优选的，机座朝向扩膜腔的一侧设置有观察窗。

优选的，扩膜腔的内部设置有去离子装置。

优选的，扩膜腔的内部设置有排风装置。

优选的，扩膜平台的安装台上集成有加热温控系统。

优选的，扩膜平台上设置有限位板；机座的扩膜腔中设置有安装槽；扩膜平台的底部卡入安装槽中。

本实用新型的上述技术方案具有如下有益的技术效果：

1、机座朝向扩膜腔的一侧设置有观察窗。观察窗便于观察扩膜时的工作状态。

2、扩膜平台上设置有限位板；机座的扩膜腔中设置有安装槽；扩膜平台的底部卡入安装槽中。扩膜平台的底部卡入安装槽中，保证扩膜平台位置固定，便于放置晶圆。

3、扩膜时产生的碎削在重力的作用下落入收集盒中，定时对收集盒进行清理即可。扩膜平台能够翻转，有利于取出扩膜时产生的碎削，提高扩膜的效果。

附图说明

图1为本实用新型的整体结构示意图；

图2为本实用新型中扩膜平台的结构示意图；

图3为本实用新型中连接轴与滑槽的位置结构示意图之一；

图4为本实用新型中连接轴与滑槽的位置结构示意图之二。

附图标记：1、机座；2、收集盒；3、观察窗；4、控制面板；5、扩膜平台；6、支撑板；7、安装台；8、片环；9、压紧盖板；10、液压缸；11、导向杆；12、支撑架；13、扩膜腔；14、限位板；15、伸缩臂；16、安装槽；17、连接件；18、驱动电机；19、滑槽；191、电磁铁；20、连接轴；201、吸附块。

具体实施方式

为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚明了，下面结合具体实施方式并参照附图，对本实用新型进一步详细说明。应该理解，这些描述只是示例性的，而并非要限制本实用新型的范围。此外，在以下说明中，省略了对公知结构和技术的描述，以避免不必要地混淆本实用新型的概念。

如图1-4所示，本实用新型提出的一种可翻转扩膜机，包括机座1、支撑架12和扩膜平台5；

机座1的中部中空形成扩膜腔13；机座1上设置有收集盒2，收集盒2位于扩膜腔13的底部；机座1的一侧设置有控制面板4；机座1的内部设置有伸缩臂15，伸缩臂15沿着竖直方向上下伸缩；伸缩臂15上设置有连接件17；

扩膜平台5位于扩膜腔13内；扩膜平台5的两侧均设置有滑槽19；滑槽19的上半部为弧形，下半部为矩形；滑槽19的内壁上设置有电磁铁191；滑槽19上滑动设置有连接轴20；连接轴20为圆弧形；连接件17与连接轴20配合安装；连接件17上设置有驱动连接轴20转动的驱动电机18；连接轴20上设置有吸附块201，吸附块201与电磁铁191配合卡接，且吸附块201与电磁铁191磁性相吸；扩膜平台5的顶部设置有支撑板6，支撑板6上设置有安装台7；安装台7上配套设置有绷紧内环和绷紧外环；支撑板6上转动设置有片环8；片环8扣在安装台7上；

支撑架12安装在机座1上；支撑架12上设置有液压缸10；支撑架12的底部设置有压紧盖板9；液压缸10驱动压紧盖板9沿着竖直方向上下运动；支撑架12上设置有多个导向杆11；导向杆11从压紧盖板9中穿过；压紧盖板9位于安装台7的正上方。

在本实施例中，机座1朝向扩膜腔13的一侧设置有观察窗3。

需要说明的是，观察窗3便于观察扩膜时的工作状态。

在本实施例中，扩膜腔13的内部设置有去离子装置。

在本实施例中，扩膜腔13的内部设置有排风装置。

在本实施例中，扩膜平台5的安装台7上集成有加热温控系统。

在本实施例中，扩膜平台5上设置有限位板14；机座1的扩膜腔13中设置有安装槽16；扩膜平台5的底部卡入安装槽16中。

需要说明的是，扩膜平台5的底部卡入安装槽16中，保证扩膜平台位置固定，便于放置晶圆。

本实用新型的工作原理及使用流程：把需要扩膜的晶圆正面向上放置到扩膜平台5上；手动放置紧绷内环和紧绷外环；之后手动放置需要扩膜的片环8；并通过液压缸10驱动压紧盖板9将片环8压紧；之后通过控制面板4控制设备启动；液压缸10带动压紧盖板9复位；伸缩臂15带动连接轴20向上运动到达滑槽19的圆弧段时，驱动电机18驱动连接件17和连接轴20转动；滑槽19上的电磁铁191得电产生磁力；随着连接轴20的转动；连接轴20上的吸附块201与电磁铁191接触卡接，并通过磁力磁性相吸；此时如图4所示状态，连接轴20为椭圆形，卡在滑槽19的圆弧段；此时连接轴20继续旋转，即可带动整个扩膜平台5翻转180度；使得晶圆正面向下；按照预设程序扩膜。扩膜完成后，自动翻转回位，晶圆正面向上；取下扩膜好的晶圆，扩膜时产生的碎削在重力的作用下落入收集盒2中，定时对收集盒2进行清理即可。本实用新型扩膜平台5能够翻转，有利于取出扩膜时产生的碎削，提高扩膜的效果。

应当理解的是，本实用新型的上述具体实施方式仅仅用于示例性说明或解释本实用新型的原理，而不构成对本实用新型的限制。因此，在不偏离本实用新型的精神和范围的情况下所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。此外，本实用新型所附权利要求旨在涵盖落入所附权利要求范围和边界、或者这种范围和边界的等同形式内的全部变化和修改例。

Claims (6)

1.一种可翻转扩膜机，其特征在于，包括机座(1)、支撑架(12)和扩膜平台(5)；

机座(1)的中部中空形成扩膜腔(13)；机座(1)上设置有收集盒(2)，收集盒(2)位于扩膜腔(13)的底部；机座(1)的一侧设置有控制面板(4)；机座(1)的内部设置有伸缩臂(15)，伸缩臂(15)沿着竖直方向上下伸缩；伸缩臂(15)上设置有连接件(17)；

扩膜平台(5)位于扩膜腔(13)内；扩膜平台(5)的两侧均设置有滑槽(19)；滑槽(19)的上半部为弧形，下半部为矩形；滑槽(19)的内壁上设置有电磁铁(191)；滑槽(19)上滑动设置有连接轴(20)；连接轴(20)为圆弧形；连接件(17)与连接轴(20)配合安装；连接件(17)上设置有驱动连接轴(20)转动的驱动电机(18)；连接轴(20)上设置有吸附块(201)，吸附块(201)与电磁铁(191)配合卡接，且吸附块(201)与电磁铁(191)磁性相吸；扩膜平台(5)的顶部设置有支撑板(6)，支撑板(6)上设置有安装台(7)；安装台(7)上配套设置有绷紧内环和绷紧外环；支撑板(6)上转动设置有片环(8)；片环(8)扣在安装台(7)上；

支撑架(12)安装在机座(1)上；支撑架(12)上设置有液压缸(10)；支撑架(12)的底部设置有压紧盖板(9)；液压缸(10)驱动压紧盖板(9)沿着竖直方向上下运动；支撑架(12)上设置有多个导向杆(11)；导向杆(11)从压紧盖板(9)中穿过；压紧盖板(9)位于安装台(7)的正上方。

2.根据权利要求1所述的一种可翻转扩膜机，其特征在于，机座(1)朝向扩膜腔(13)的一侧设置有观察窗(3)。

3.根据权利要求1所述的一种可翻转扩膜机，其特征在于，扩膜腔(13)的内部设置有去离子装置。

4.根据权利要求1所述的一种可翻转扩膜机，其特征在于，扩膜腔(13)的内部设置有排风装置。

5.根据权利要求1所述的一种可翻转扩膜机，其特征在于，扩膜平台(5)的安装台(7)上集成有加热温控系统。

6.根据权利要求1所述的一种可翻转扩膜机，其特征在于，扩膜平台(5)上设置有限位板(14)；机座(1)的扩膜腔(13)中设置有安装槽(16)；扩膜平台(5)的底部卡入安装槽(16)中。

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