CN213958913U - 一种蓝膜剥离装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开一种蓝膜剥离装置，包括机架，机架上按铁环加工顺序依次设置有第一蓝膜剥离机构、第二蓝膜剥离机构和脱模机构；第一蓝膜剥离机构和第二蓝膜剥离机构分别从两个不同的十字方向将蓝膜边缘脱离铁环，第一蓝膜剥离机构和第二蓝膜剥离机构均包括固定底座和移动剥膜装置，移动剥膜装置包括双层固定架、伸缩内轴和侧滑块；伸缩内轴穿过并设置在双层固定架底部，伸缩内轴下部为向下收缩的圆台，四个的侧滑块滑动设置在双层固定架底部的四边，侧滑块上设置有与伸缩内轴接触的滑轮，侧滑块底部设置有供铁环上蓝膜接触的摩擦片；伸缩内轴向下运动时，伸缩内轴推动四个的侧滑块呈十字方向向外水平运动。本方案的膜环分离更加均匀。

Description

一种蓝膜剥离装置

技术领域

本实用新型涉及晶圆生产技术领域，特别涉及一种蓝膜剥离装置。

背景技术

铁环是在晶圆生产中极为重要的一个部件，生产过程中，铁环会包覆着蓝膜，在生产过后需要将铁环与蓝膜分开。

在半导体行业，膜环分离是靠外力将内环脱离，然后在将外环与残膜进行剥离的方式进行，并且对分离后的内环、外环、残膜分开单独收集。目前行业内大部分采用人工进行拆环动作，人工拆环的速度低，很难保证内环、外环朝向一致，影响加工效率，增加企业生产成本，存在不足。

申请号为CN201910923835.7的中国专利，提出了一种发光二极管晶圆膜环分离自动化生产设备。

该方案提出的膜环分离的办法未先将膜的边缘与环的边缘剥离，导致在膜环分离时，膜受到的吸力过大，会使得膜产生形变。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种蓝膜剥离装置，克服上述缺陷，膜环分离更加均匀。

为达成上述目的，本实用新型的解决方案为：一种蓝膜剥离装置，包括机架，机架上按铁环加工顺序依次设置有第一蓝膜剥离机构、第二蓝膜剥离机构和脱模机构；所述第一蓝膜剥离机构和第二蓝膜剥离机构分别从两个不同的十字方向将蓝膜边缘脱离铁环，

所述第一蓝膜剥离机构和第二蓝膜剥离机构均包括固定底座和移动剥膜装置，移动剥膜装置包括双层固定架、伸缩内轴和侧滑块；

伸缩内轴穿过并设置在双层固定架底部，伸缩内轴下部为向下收缩的圆台，四个所述的侧滑块滑动设置在双层固定架底部的四边，所述侧滑块上设置有与伸缩内轴接触的滑轮，所述侧滑块底部设置有供铁环上蓝膜接触的摩擦片；所述伸缩内轴向下运动时，伸缩内轴推动四个所述的侧滑块呈十字方向向外水平运动。

优选的，所述脱模机构包括脱模架、上移动限位器和下吸附脱膜器，所述脱模架上下分别设置上移动限位器和下吸附脱膜器，所述上移动限位器下部边缘有多个限位凸杆呈环形排布，所述下吸附脱膜器上部有多个真空吸口呈环形排布。

优选的，所述的第一蓝膜剥离机构、第二蓝膜剥离机构和脱模机构的外侧设置蓝膜铁环移动架，该蓝膜铁环移动架上设置三个气动夹持机械手，气动夹持机械手将铁环依次运送到第一蓝膜剥离机构、第二蓝膜剥离机构和脱模机构上。

采用上述方案后，本实用新型的有益效果在于：本案完整实现了铁环和蓝膜的自动分离，自动化程度高，可大大节省人工；本案使用两组的蓝膜剥离机构分别从不同方向将蓝膜从铁环的边缘剥离，使得后续的蓝膜从铁环上分离的效果好，蓝膜从铁环上分离更加均匀，可减少少分离时蓝膜的损伤。

附图说明

图1是本实用新型的立体图；

图2是本实用新型第一蓝膜剥离机构的立体图一；

图3是本实用新型第一蓝膜剥离机构的立体图二；

图4是本实用新型第一蓝膜剥离机构的剖视图；

图5是本实用新型侧滑块的立体图一；

图6是本实用新型侧滑块的立体图二；

图7是本实用新型脱模机构的结构图；

图8是本实用新型蓝膜铁环移动架的立体图一；

图9是本实用新型蓝膜铁环移动架的立体图二。

标号说明：机架(1)、第一蓝膜剥离机构(4)、第二蓝膜剥离机构(5)、脱模机构(6)、固定底座(41)、移动剥膜装置(42)、双层固定架(43)、伸缩内轴(44)、侧滑块(45)、滑轮(451)、摩擦片(452)、脱模架(61)、上移动限位器(62)、下吸附脱膜器(63)、限位凸杆(621)、真空吸口(631)、蓝膜铁环移动架(456)、气动夹持机械手(450)。

具体实施方式

以下结合附图及具体实施例对本实用新型做详细的说明。

如图1-9所示，本实用新型提供一种蓝膜剥离装置，包括机架1，机架1上按铁环加工顺序依次设置有第一蓝膜剥离机构4、第二蓝膜剥离机构5和脱模机构6；所述第一蓝膜剥离机构4和第二蓝膜剥离机构5分别从两个不同的十字方向将蓝膜边缘脱离铁环，第一蓝膜剥离机构4和第二蓝膜剥离机构5所涉及的“剥离”的步骤，是指蓝膜的边缘与铁环的边缘分开，经剥离后，蓝膜主体还是与铁环在一起。

所述第一蓝膜剥离机构4和第二蓝膜剥离机构5均包括固定底座41和移动剥膜装置 42，移动剥膜装置42包括双层固定架43、伸缩内轴44和侧滑块45；

伸缩内轴44穿过并设置在双层固定架43底部，伸缩内轴44下部为向下收缩的圆台，四个所述的侧滑块45滑动设置在双层固定架43底部的四边，所述侧滑块45上设置有与伸缩内轴44接触的滑轮451，所述侧滑块45底部设置有供铁环上蓝膜接触的摩擦片 452；所述伸缩内轴44向下运动时，伸缩内轴44推动四个所述的侧滑块45呈十字方向向外水平运动。在本案中，第一蓝膜剥离机构4和第二蓝膜剥离机构5是两个安装在同一平面，但安装角度不同的两个机构。这样设置的目的是为了在同一平面上从多个角度将蓝膜从铁环上进行剥离，可大大减小在后续的分离步骤中蓝膜的形变程度。在本案中，伸缩内轴44下部设置成收缩的圆台形，这样的设置是可以使得让伸缩内轴44在向下运动时，利用圆台形的侧面均匀地将侧滑块45横向推出，可以缓和剥离的力量。

脱模机构6包括脱模架61、上移动限位器62和下吸附脱膜器63，所述脱模架61 上下分别设置上移动限位器62和下吸附脱膜器63，所述上移动限位器62下部边缘有多个限位凸杆621呈环形排布，所述下吸附脱膜器63上部有多个真空吸口631呈环形排布。限位凸杆621是为了放置在脱膜的过程中，铁环发生移动；真空吸口631是为了在蓝膜上均匀设置吸力，将蓝膜与铁环分离。

第一蓝膜剥离机构4、第二蓝膜剥离机构5和脱模机构6的外侧设置蓝膜铁环移动架456，该蓝膜铁环移动架456上设置三个气动夹持机械手450，气动夹持机械手450 将铁环依次运送到第一蓝膜剥离机构4、第二蓝膜剥离机构5和脱模机构6上。在本案中，气动夹持机械手450使用伸缩气缸和滑轨的设置来运送铁环。

工作原理：

待加工的为包覆着蓝膜的铁环，本方案的目的是完成蓝膜与铁环脱离，便于后续的加工。

剥离：启动机器，移动剥膜装置42朝固定底座41运动，在移动剥膜装置42接近固定底座41后，其中的伸缩内轴44开始运动，伸缩内轴44下部为向下收缩的圆台，在伸缩内轴44向下运动时，会将贴在伸缩内轴44的侧滑块45向外推。侧滑块45下的摩擦片452会将蓝膜边缘与铁环边缘剥离。使用第一蓝膜剥离机构4和第二蓝膜剥离机构 5从两个不同的方向上对蓝膜与铁环进行剥离，可以使得蓝膜边缘与铁环边缘剥离效果更好，在后续的脱膜过程中，减少脱膜时膜的损伤。

脱膜：剥离后的蓝膜与铁环进入脱膜机构6进行充分分离，上移动限位器62上的限位凸杆621挡住铁环不被带走，下吸附脱膜器63上的真空吸口631吸住蓝膜并向下撕扯开，完成脱膜动作。此时，脱膜机构6将蓝膜与铁环完全分离。

以上所述仅为本实用新型的较佳实施例，并非对本案设计的限制，凡依本案的设计关键所做的等同变化，均落入本案的保护范围。

Claims (3)

1.一种蓝膜剥离装置，包括机架(1)，其特征在于：机架(1)上按铁环加工顺序依次设置有第一蓝膜剥离机构(4)、第二蓝膜剥离机构(5)和脱模机构(6)；所述第一蓝膜剥离机构(4)和第二蓝膜剥离机构(5)分别从两个不同的十字方向将蓝膜边缘脱离铁环，

所述第一蓝膜剥离机构(4)和第二蓝膜剥离机构(5)均包括固定底座(41)和移动剥膜装置(42)，移动剥膜装置(42)包括双层固定架(43)、伸缩内轴(44)和侧滑块(45)；

伸缩内轴(44)穿过并设置在双层固定架(43)底部，伸缩内轴(44)下部为向下收缩的圆台，四个所述的侧滑块(45)滑动设置在双层固定架(43)底部的四边，所述侧滑块(45)上设置有与伸缩内轴(44)接触的滑轮(451)，所述侧滑块(45)底部设置有供铁环上蓝膜接触的摩擦片(452)；所述伸缩内轴(44)向下运动时，伸缩内轴(44)推动四个所述的侧滑块(45)呈十字方向向外水平运动。

2.如权利要求1所述一种蓝膜剥离装置，其特征在于：所述脱模机构(6)包括脱模架(61)、上移动限位器(62)和下吸附脱膜器(63)，所述脱模架(61)上下分别设置上移动限位器(62)和下吸附脱膜器(63)，所述上移动限位器(62)下部边缘有多个限位凸杆(621)呈环形排布，所述下吸附脱膜器(63)上部有多个真空吸口(631)呈环形排布。

3.如权利要求1所述一种蓝膜剥离装置，其特征在于：所述的第一蓝膜剥离机构(4)、第二蓝膜剥离机构(5)和脱模机构(6)的外侧设置蓝膜铁环移动架(456)，该蓝膜铁环移动架(456)上设置三个气动夹持机械手(450)，气动夹持机械手(450)将铁环依次运送到第一蓝膜剥离机构(4)、第二蓝膜剥离机构(5)和脱模机构(6)上。

Images