CN213956054U - 一种光刻机用水循环冷却结构 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种光刻机用水循环冷却结构，包括进水管、出水管、冷却排和温度传感器；冷却排包括外壳、风扇基座、管道基座和降温风扇，进水管与出水管的一端弯折后进入所述外壳，外壳上设有安装孔，温度传感器固定安装在所述安装孔上；风扇基座盖设在外壳上，使进水管与出水管限定在外壳和风扇基座之间；管道基座设置在外壳和风扇基座的一端，并分别与进水管与出水管连接；降温风扇固定安装在风扇基座上；其中，降温风扇设有两组，两组降温风扇分别沿进水管与出水管的方向呈直线排列。本实用新型在冷却液进入冷却目标之前对冷却液进行降温处理，保证其在进入冷却目标时的温度为预设温度。

Description

一种光刻机用水循环冷却结构

技术领域

本实用新型涉及冷却循环系统技术领域，具体为一种光刻机用水循环冷却结构。

背景技术

冷却循环系统一般利用出水管与进水管对冷却液进行输送，而在输送过程中，冷却液的温度会随着输送距离的增大而与预设温度的差值越来越大，导致冷却液在进入冷却目标时的温度达不到预期，影响冷却效率。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种光刻机用水循环冷却结构，在冷却液进入冷却目标之前对冷却液进行降温处理，保证其在进入冷却目标时的温度为预设温度。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种光刻机用水循环冷却结构，包括进水管、出水管、冷却排和温度传感器，所述冷却排套设在所述进水管和出水管的一端，并与所述进水管和出水管连通；

所述冷却排包括外壳、风扇基座、管道基座和降温风扇，所述进水管与出水管的一端弯折后进入所述外壳，所述外壳上设有安装孔，所述温度传感器固定安装在所述安装孔上；所述风扇基座盖设在所述外壳上，使所述进水管与出水管限定在所述外壳和风扇基座之间；所述管道基座设置在所述外壳和风扇基座的一端，并分别与所述进水管与出水管连接；所述降温风扇固定安装在所述风扇基座上；

其中，所述降温风扇设有两组，两组所述降温风扇分别沿进水管与出水管的方向呈直线排列。

在其中一个实施例中，所述管道基座的底部设有第一开口，所述管道基座的一侧设有进水接口和出水接口，所述进水管贯穿所述第一开口并与所述进水接口连接，所述出水管贯穿所述第一开口并与所述出水接口连接。

在其中一个实施例中，所述第一开口的内壁上设有密封固定件。

在其中一个实施例中，所述风扇基座的顶部设有连接部，所述连接部通过螺丝与所述管道基座固定连接。

在其中一个实施例中，所述外壳的一侧相对设置有两个卡条，所述风扇基座的两侧设有分别与两个所述卡条相适配的卡槽，所述风扇基座通过所述卡条与卡槽卡接而与限定在所述外壳中。

在其中一个实施例中，所述卡条上设有第一螺丝孔，所述风扇基座上设有与所述第一螺丝孔相适配的第二螺丝孔。

在其中一个实施例中，所述管道基座上还设有与所述第一开口相对的第二开口，所述第二开口上盖设连接有顶板。

在其中一个实施例中，还包括连接侧板，所述连接侧板固定连接在所述管道基座的一侧。

本实用新型光刻机用水循环冷却结构中，进水管与出水管的端部均内置在冷却排中，通过降温风扇对冷却排进行降温，温度传感器监控冷却排中的温度，使冷却排中的温度控制在一个阈值范围内，从而实现冷却排对进水管中冷却液的降温，以保证冷却液进入冷却目标时的温度为预设温度。

附图说明

图1为本实用新型的立体结构示意图；

图2为本实用新型的立体装配图；

11、进水管；12、出水管；20、冷却排；21、外壳；211、卡条；22、风扇基座；221、连接部；222、卡槽；23、管道基座；231、进水接口；232、出水接口；233、密封固定件；234、第二开口；24、降温风扇；25、顶板；30、温度传感器；31、安装孔；41、第一螺丝孔；42、第二螺丝孔；50、连接侧板。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

一种光刻机用水循环冷却结构，包括进水管11、出水管12、冷却排20和温度传感器30，所述冷却排20套设在所述进水管11和出水管12的一端，并与所述进水管11和出水管12连通。

所述冷却排20包括外壳21、风扇基座22、管道基座23和降温风扇24，所述进水管11与出水管12的一端弯折后进入所述外壳21，所述外壳21上设有安装孔31，所述温度传感器30固定安装在所述安装孔31上；所述风扇基座22盖设在所述外壳21上，使所述进水管11与出水管12限定在所述外壳21和风扇基座22之间；所述管道基座23设置在所述外壳21和风扇基座22的一端，并分别与所述进水管11与出水管12连接；所述降温风扇24固定安装在所述风扇基座22上。

其中，所述降温风扇24设有两组，两组所述降温风扇24分别沿进水管11与出水管12的方向呈直线排列。

降温风扇24使冷却排20中的温度控制在一个阈值范围内，当冷却液流经冷却排20中的进水管11，冷却排20对冷却液进行二次降温，以保证冷却液进入冷却目标时的温度为预设温度；两组降温风扇24分别沿进水管11与出水管12的方向呈直线排列，分别针对进水管11和出水管12中的冷却液进行降温，有效降低出水管12中的冷却液的温度对进水管11中的冷却液造成的影响。

具体的，所述管道基座23的底部设有第一开口(图中未视出)和与所述第一开口相对的第二开口234，所述第二开口234上盖设连接有顶板25。所述管道基座23的一侧设有进水接口231和出水接口232，所述进水管11贯穿所述第一开口并与所述进水接口231连接，所述出水管12贯穿所述第一开口并与所述出水接口232连接。其中，所述第一开口的内壁上设有密封固定件233。

所述风扇基座22的顶部设有连接部221，所述连接部221通过螺丝与所述管道基座23固定连接；所述外壳21的一侧相对设置有两个卡条211，所述风扇基座22的两侧设有分别与两个所述卡条211相适配的卡槽222，所述风扇基座22通过所述卡条211与卡槽222卡接而与限定在所述外壳21中。具体的，所述卡条211上设有第一螺丝孔41，所述风扇基座22上设有与所述第一螺丝孔41相适配的第二螺丝孔42。

在组装时，降温风扇24安装在风扇基座22上，进水管11的一端和出水管12的一端内嵌在外壳21中，外壳21中的卡条211插入风扇基座22的卡槽222中，并利用螺丝穿过第一螺丝孔41和第二螺丝孔42，使卡条211与风扇基座22实现固定连接，从而使外壳21和风扇基座22实现固定连接；进水管11和出水管12从第一开口进入管道基座23，并分别与进水接口231和出水接口232连接，密封固定件233将进水管11和出水管12限定在管道基座23中；风扇基座22通过连接部221与管道基座23实现固定连接。

在一个实施例中，该光刻机用水循环冷却结构还包括连接侧板50，所述连接侧板50固定连接在所述管道基座23的一侧，用于与冷却目标连接。

本实用新型光刻机用水循环冷却结构中，进水管11与出水管12的端部均内置在冷却排20中，通过降温风扇24对冷却排20进行降温，温度传感器30监控冷却排20中的温度，使冷却排20中的温度控制在一个阈值范围内，从而实现冷却排20对进水管11中冷却液的降温，以保证冷却液进入冷却目标时的温度为预设温度。

以上实施例仅表达了本实用新型的若干优选实施方式，其描述较为具体和详细，应当理解本实用新型并非局限于本文所披露的形式，不应看作是对其他实施例的排除，而可用于各种其他组合、修改和环境，并能够在本文所述实用新型构想范围的内，通过上述教导或相关领域的技术或知识进行改动，并不能因此而理解为对本实用新型范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，本领域人员所进行的改动和变化不脱离本实用新型的精神和范围，这些都属于本实用新型所附权利要求的保护范围。因此，本实用新型专利的保护范围应以所附权利要求为准。

Claims (8)

1.一种光刻机用水循环冷却结构，其特征在于，包括进水管、出水管、冷却排和温度传感器，所述冷却排套设在所述进水管和出水管的一端，并与所述进水管和出水管连通；

所述冷却排包括外壳、风扇基座、管道基座和降温风扇，所述进水管与出水管的一端弯折后进入所述外壳，所述外壳上设有安装孔，所述温度传感器固定安装在所述安装孔上；所述风扇基座盖设在所述外壳上，使所述进水管与出水管限定在所述外壳和风扇基座之间；所述管道基座设置在所述外壳和风扇基座的一端，并分别与所述进水管与出水管连接；所述降温风扇固定安装在所述风扇基座上；

其中，所述降温风扇设有两组，两组所述降温风扇分别沿进水管与出水管的方向呈直线排列。

2.根据权利要求1所述的光刻机用水循环冷却结构，其特征在于，所述管道基座的底部设有第一开口，所述管道基座的一侧设有进水接口和出水接口，所述进水管贯穿所述第一开口并与所述进水接口连接，所述出水管贯穿所述第一开口并与所述出水接口连接。

3.根据权利要求2所述的光刻机用水循环冷却结构，其特征在于，所述第一开口的内壁上设有密封固定件。

4.根据权利要求1所述的光刻机用水循环冷却结构，其特征在于，所述风扇基座的顶部设有连接部，所述连接部通过螺丝与所述管道基座固定连接。

5.根据权利要求4所述的光刻机用水循环冷却结构，其特征在于，所述外壳的一侧相对设置有两个卡条，所述风扇基座的两侧设有分别与两个所述卡条相适配的卡槽，所述风扇基座通过所述卡条与卡槽卡接而与限定在所述外壳中。

6.根据权利要求5所述的光刻机用水循环冷却结构，其特征在于，所述卡条上设有第一螺丝孔，所述风扇基座上设有与所述第一螺丝孔相适配的第二螺丝孔。

7.根据权利要求2所述的光刻机用水循环冷却结构，其特征在于，所述管道基座上还设有与所述第一开口相对的第二开口，所述第二开口上盖设连接有顶板。

8.根据权利要求1所述的光刻机用水循环冷却结构，其特征在于，还包括连接侧板，所述连接侧板固定连接在所述管道基座的一侧。

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