CN213853429U - 基板湿制程的剥膜药剂过滤装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型为一种基板湿制程的剥膜药剂过滤装置，包括剥膜机体、振动机体及过滤结构。该剥膜机体包含药剂槽及喷洒机构。振动机体包含振动台及振动机构，振动机构包含一对致动器、受该对致动器带动的一对偏心机构及连接该对偏心机构的连杆。过滤结构设置在振动台上，且包含过滤网及框围过滤网的过滤框，过滤框连接连杆且过滤框的一部分延伸至药剂槽及喷洒机构之间而承接通过剥膜作业的废膜药剂；借此达到缩小剥膜药剂过滤装置整体体积的目的。

Description

基板湿制程的剥膜药剂过滤装置

技术领域

本实用新型是有关于基板湿制程技术领域，尤其是指一种基板湿制程的剥膜药剂过滤装置。

背景技术

一般电路板湿制程包含上膜、制板及洗膜等流程，其中，洗膜是利用化学药剂将成型于线路表面上的干膜以喷洗方式令干膜剥离。前述化学药剂在经过洗膜后通常包含有化学药剂以及干膜等剥离固体，因此，洗膜后的化学药剂需先进行过滤，借以将化学药剂与干膜等废料加以过滤后才得以再回收利用。

再者，目前针对洗膜后的化学药剂进行过滤的方式是在基板湿制程设备(剥膜槽)的旁侧另外连接一过滤槽，并利用过滤设备对化学药剂及干膜废料进行分离程序。待将滤除干膜废料后的化学药剂溶液加以收集后，可再利用泵浦送回剥膜槽的喷洒设备，借此达到循环使用的目的。然而，现有的基板湿制程设备再另外连接过滤槽的整体体积较为庞大，导致所占用的空间过大而不利设置，故需加以改善。

有鉴于此，本创作人遂针对上述现有技术，特潜心研究并配合学理的运用，尽力解决上述的问题点，即成为本创作人改良的目标。

实用新型内容

本实用新型的一目的，在于提供一种基板湿制程的剥膜药剂过滤装置，借此达到缩小剥膜药剂过滤装置整体体积的目的。

为了达成上述的目的，本实用新型提供了一种基板湿制程的剥膜药剂过滤装置，包括剥膜机体、振动机体及过滤结构。剥膜机体包含用以装载剥膜药剂的药剂槽及设置在药剂槽上方的喷洒机构，剥膜药剂通过喷洒机构而对基板进行剥膜作业。振动机体包含振动台及设置在该振动台的振动机构，振动机构包含位于药剂槽相对侧的一对致动器、受该对致动器带动的一对偏心机构及连接该对偏心机构的连杆。过滤结构设置在振动台上，过滤结构包含过滤网及框围过滤网的过滤框，过滤框连接连杆且过滤框的一部分延伸至药剂槽及喷洒机构之间而承接通过剥膜作业的废膜药剂。

作为本实用新型的另一种实施，该剥膜药剂过滤装置还包括承接该废膜药剂的一导引结构，该导引结构设置在该喷洒机构及该基板的下方。

本实用新型的一目的，在于提供一种基板湿制程的剥膜药剂过滤装置，其振动机体是于振动台的底部设置阻尼器，以吸收振动台在振动机构的运作下所产生的振动，并可借此降低噪音。

作为本实用新型的另一种实施，该振动机体还包括一承接盘及一回流管，该承接盘对应设置在该过滤网的下方，该回流管的一端连接该承接盘，该回流管的另一端连接至该药剂槽。

作为本实用新型的另一种实施，该振动机构还包括一对皮带，该对致动器是通过该对皮带而带动该对偏心机构。

作为本实用新型的另一种实施，该对致动器分别为一电动马达。

作为本实用新型的另一种实施，该振动机体还包括一支撑架及至少一缓冲组件，该支撑架连接该振动台并延伸至该过滤框的下方，该至少一缓冲组件设置在该支撑架上并弹性抵接该过滤框。

作为本实用新型的另一种实施，该缓冲组件为一压缩弹簧。

作为本实用新型的另一种实施，该振动机体还包括一对导引轮及一对止挡板，该对导引轮设置在该过滤框相对的两外侧，该对止挡板固定在该支撑架上并相对位于该对导引轮的一侧边。

作为本实用新型的另一种实施，各该止挡板具有一凸挡部，该凸挡部的截面呈三角形。

作为本实用新型的另一种实施，该导引结构包含交错相接的两导斜片。

作为本实用新型的另一种实施，该过滤框还包括一对导向板，该对导向板设置在该过滤框远离该导引结构的一端，该对导向板相对呈斜向设置在该过滤网上而缩减该过滤框的一侧开口。

相较于已知技术，本实用新型的基板湿制程的剥膜药剂过滤装置是将振动机体设置在剥膜机体的一侧边，且过滤结构设置在剥膜机体及振动机体之间，其中，导引结构设置在喷洒机构及基板的下方，借以承接经过剥膜作业后所形成的带有剥离膜的药剂，并将废膜药剂导引至过滤结构而进行过滤作业，以利回收再利用剥膜药剂，借此达到缩小剥膜药剂过滤装置整体体积的目的，以增加本实用新型的实用性。

附图说明

图1为本实用新型的基板湿制程的剥膜药剂过滤装置的侧视图。

图2为本实用新型中的过滤结构的上视图。

图3为本实用新型中的喷洒机构的上视图。

图4为本实用新型中的振动机体的局部侧视图。

附图中的符号说明：

1:剥膜药剂过滤装置；2:剥膜药剂；3:基板；10:剥膜机体；11:药剂槽；12:喷洒机构；121:喷嘴；20:振动机体；21:振动台；22:振动机构；221:致动器；222:偏心机构；223:连杆；224:皮带；23:阻尼器；24:承接盘；25:回流管；26:支撑架；27:缓冲组件；28:导引轮；29:止挡板；291:凸挡部；30:导引结构；31:导斜片；40:过滤结构；41:过滤网；42:过滤框；420:开口；421:导向板。

具体实施方式

有关本实用新型的详细说明及技术内容，配合图式说明如下，然而所附图式仅提供参考与说明用，并非用来对本实用新型加以限制。

请参照图1至图3，分别为本实用新型的基板湿制程的剥膜药剂过滤装置的侧视图、过滤结构的上视图及喷洒机构的上视图。本实用新型为一种基板湿制程的剥膜药剂过滤装置1，包含一剥膜机体10、一振动机体20及一过滤结构40。该振动机体20设置在该剥膜机体10的一侧边。该过滤结构40设置在该剥膜机体10及该振动机体20之间，该过滤结构40在该振动机体20的带动下会产生反复振动。据此，废膜药剂通过该过滤结构40的振动而进行过滤，借此回收剥膜药剂并达到再利用的目的。更详细描述该基板湿制程的剥膜药剂过滤装置1的结构如后。

请参照图1，该剥膜机体10包含用以装载一剥膜药剂2的一药剂槽11及设置在该药剂槽11上方的一喷洒机构12。该剥膜药剂2是通过该喷洒机构12而对一基板3进行一剥膜作业。较佳地，该喷洒机构12包含平行且间隔排列的数个喷嘴121(另参阅图3)。要说明的是，自该喷洒机构12喷出的剥膜药剂2在经过剥膜作业后会形成带有剥离膜的药剂(以下称废膜药剂)。

该振动机体20包含一振动台21及设置在该振动台21的一振动机构22。该振动机构22包含位于该药剂槽11相对侧的一对致动器221、受该对致动器221带动的一对偏心机构222及连接该对偏心机构222的一连杆223。较佳地，该对致动器221是位于该药剂槽11相对的两外侧。

于本实用新型的一实施例中，该对致动器221分别为一电动马达；该振动机构22还包括一对皮带224。该对致动器221是通过该对皮带224而带动该对偏心机构222。具体来说，该偏心机构222是通过CNC车削加工而形成的偏心结构。

较佳地，该振动机体20还包括一阻尼器23。该阻尼器23是设置在该振动台21的底部，以吸收该振动台21在该振动机构22的运作下所产生的振动，并可借此降低噪音。

再者，该过滤结构40设置在该振动台21上。如图2所示，该过滤结构40包含一过滤网41及框围该过滤网41的一过滤框42。该过滤框42连接该振动机构22的连杆223，且该过滤框42的一部分延伸至该药剂槽11及该喷洒机构12之间而承接废膜药剂。

更详细地说，该过滤框42还包括一对导向板421。该对导向板421是设置在该过滤框远离该导引结构的一端，该对导向板421是相对呈斜向设置在该过滤网41上而缩减该过滤框42的一侧开口420，用以收集剥离膜并废弃。

较佳地，该剥膜药剂过滤装置1还包括承接该废膜药剂的一导引结构30。于本实施例中，该导引结构30设置在该喷洒机构12及该基板3的下方，借以承接废膜药剂并导引至该过滤结构40。

具体而言，该导引结构30包含交错相接的两导斜片31。该导引结构30承接通过剥膜作业的废膜药剂(未图示)，并将废膜药剂导引至该过滤结构40进行过滤作业，以利回收剥膜药剂2后再利用。

请参照图4，为本实用新型的振动机体的局部侧视图。于本实施例中，该振动机体20还包括一承接盘24及一回流管25。该承接盘24是对应设置在该过滤网41的下方。该回流管25的一端连接该承接盘24，其另一端连接至该药剂槽11。据此，废膜药剂在通过该过滤结构40进行过滤作业后，剥离膜会残留在该过滤网41上，过滤后的剥膜药剂2会有一部分直接滴落至该药剂槽11，残余部分则会滴落在该承接盘24，最后再通过该回流管25流入该药剂槽11，借此回收剥膜药剂2而再使用。

进一步而言，该振动机体20还包括一支撑架26及至少一缓冲组件27。于本实施例中，该支撑架26连接该振动台21并延伸至该过滤框42的下方。该缓冲组件27为一压缩弹簧，且该缓冲组件27是设置在该支撑架26上并弹性抵接该过滤框42，借此支撑该过滤框42伸入该药剂槽11的一侧。

另外要说明的是，在本实用新型的一实施例中，该振动机体20还包括一对导引轮28及一对止挡板29；较佳地，各该止挡板29具有一凸挡部291，该凸挡部291的截面形状呈三角形。此外，该对导引轮28设置在该过滤框42相对的两外侧，且各该止挡板29固定在该支撑架26并相对位于各该导引轮28的一侧边。

据此，当该过滤结构40受到该振动机体20的带动而振动时，该过滤结构40可通过该对导引轮28受到该对止挡板29的挡抵而不致发生后退的状况。此外，当废剥离膜汇集到一定量或需要清洗时，该过滤结构40可取出倾倒或进行清洗。此时，该过滤框42可通过该对导引轮28沿着该凸挡部291的边缘爬升并退出该药剂槽11，据此通过省力的方式将该过滤结构40自该剥膜机体10上抽离，增加本实用新型在使用上的便利性。

以上所述仅为本实用新型的较佳实施例，并非用以限定本实用新型的专利范围，其他运用本实用新型的专利精神的等效变化，均应俱属本实用新型的专利范围。

Claims (12)

1.一种基板湿制程的剥膜药剂过滤装置，其特征在于，包括:

一剥膜机体，包含用以装载一剥膜药剂的一药剂槽及设置在该药剂槽上方的一喷洒机构，该剥膜药剂是通过该喷洒机构而对一基板进行一剥膜作业；

一振动机体，包含一振动台及设置在该振动台的一振动机构，该振动机构包含位于该药剂槽相对侧的一对致动器、受该对致动器带动的一对偏心机构及连接该对偏心机构的一连杆；以及

一过滤结构，设置在该振动台上，该过滤结构包含一过滤网及框围该过滤网的一过滤框，该过滤框连接该连杆且该过滤框的一部分延伸至该药剂槽及该喷洒机构之间而承接通过该剥膜作业的一废膜药剂。

2.根据权利要求1所述的基板湿制程的剥膜药剂过滤装置，其特征在于，还包括承接该废膜药剂的一导引结构，该导引结构设置在该喷洒机构及该基板的下方。

3.根据权利要求1所述的基板湿制程的剥膜药剂过滤装置，其特征在于，该振动机体还包括一阻尼器，该阻尼器设置在该振动台的底部。

4.根据权利要求1所述的基板湿制程的剥膜药剂过滤装置，其特征在于，该振动机体还包括一承接盘及一回流管，该承接盘对应设置在该过滤网的下方，该回流管的一端连接该承接盘，该回流管的另一端连接至该药剂槽。

5.根据权利要求1所述的基板湿制程的剥膜药剂过滤装置，其特征在于，该振动机构还包括一对皮带，该对致动器是通过该对皮带而带动该对偏心机构。

6.根据权利要求1所述的基板湿制程的剥膜药剂过滤装置，其特征在于，该对致动器分别为一电动马达。

7.根据权利要求1所述的基板湿制程的剥膜药剂过滤装置，其特征在于，该振动机体还包括一支撑架及至少一缓冲组件，该支撑架连接该振动台并延伸至该过滤框的下方，该至少一缓冲组件设置在该支撑架上并弹性抵接该过滤框。

8.根据权利要求7所述的基板湿制程的剥膜药剂过滤装置，其特征在于，该缓冲组件为一压缩弹簧。

9.根据权利要求7所述的基板湿制程的剥膜药剂过滤装置，其特征在于，该振动机体还包括一对导引轮及一对止挡板，该对导引轮设置在该过滤框相对的两外侧，该对止挡板固定在该支撑架上并相对位于该对导引轮的一侧边。

10.根据权利要求9所述的基板湿制程的剥膜药剂过滤装置，其特征在于，各该止挡板具有一凸挡部，该凸挡部的截面呈三角形。

11.根据权利要求2所述的基板湿制程的剥膜药剂过滤装置，其特征在于，该导引结构包含交错相接的两导斜片。

12.根据权利要求2所述的基板湿制程的剥膜药剂过滤装置，其特征在于，该过滤框还包括一对导向板，该对导向板设置在该过滤框远离该导引结构的一端，该对导向板相对呈斜向设置在该过滤网上而缩减该过滤框的一侧开口。

Images