CN213816073U - 一种全自动晶圆片点测机 - Google Patents

Abstract

实用新型公开了一种全自动晶圆片点测机，包括底板和第三固定板，所述底板的顶端左右两侧均固定连接有第一固定块，所述保护壳的内部下端固定连接有旋转气缸，所述底板的顶端固定连接有第一气缸，所述第二固定块的顶端下方固定连接有点测机主体，所述第二气缸的活塞杆处固定连接有第三固定块。本实用新型中，首先通过第二气缸带动连接块进行前后移动，连接块前后移动带动刷子进行对放置板的清理，从而保证放置板没有异物在其中，提高点测机主体对晶圆片的检测质量，其次在晶圆片检测过程中放置板下端的旋转气缸运作带动放置板的旋转，从而方便点测机主体更加精密的对晶圆片进行点测，大大提高了点测机主体对晶圆片点测的精密度，值得大力推广。

Description

一种全自动晶圆片点测机

技术领域

本实用新型涉及点测机技术领域，尤其涉及一种全自动晶圆片点测机。

背景技术

晶圆片点测机时芯片加工中不可缺少的设备。

但是目前的晶圆片点测机当进行晶圆片检测时由于放置板位置较固定，常常导致点测机主体对晶圆片的检测不够快速全面，导致晶圆片的点测不够精密，其次放置台由于裸露在外面容易进入一下异物很大程度上影响了晶圆片点测的质量。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种全自动晶圆片点测机。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：一种全自动晶圆片点测机，包括底板和第三固定板，所述底板的顶端左右两侧均固定连接有第一固定块，所述第一固定块的顶部均设置有第一滑槽，所述第一滑槽的内部均滑动连接有第一滑块，所述第一滑块的顶端均固定连接在第二固定板的下端，所述第二固定板的顶端固定连接有保护壳，所述保护壳的内部下端固定连接有旋转气缸，所述旋转气缸的顶端固定连接有放置板，所述第二固定板的下端固定连接有第二连接块，所述底板的顶端固定连接有第一气缸，所述第一气缸的活塞杆处固定连接有第一连接块，所述第一连接块的另一端固定连接在第二连接块的后端，所述底板的后端上方固定连接有第二固定块，所述第二固定块的顶端下方固定连接有点测机主体，所述第二固定块的下端前方固定连接有第二气缸，所述第二气缸的活塞杆处固定连接有第三固定块，所述第三固定块的前端固定连接有第三连接块，所述第三连接块的左右两侧均固定连接有第二滑块。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述底板的下端固定连接有三个第一固定板。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述第三连接块的下端固定连接有刷子。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述第二滑块滑动连接在第二滑槽内。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述第一气缸固定连接在两个第一固定块之间。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述第一固定块的大小相等，所述第三固定板的大小相等。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述放置板滑动连接在保护壳内。

本实用新型具有如下有益效果：

1、本实用新型中，首先通过第二气缸带动连接块进行前后移动，连接块前后移动带动刷子进行对放置板的清理，从而保证放置板没有异物在其中，当晶圆片放置在放置板上可以保证晶圆片的稳定与整洁，提高点测机主体对晶圆片的检测质量。

2、本实用新型中，其次当进行晶圆片检测时，第一气缸运作带动第二固定板滑动至送料机构处，晶圆片经送料机构落在放置板上后，点测机主体进行对晶圆片的检测，在检测过程中放置板下端的旋转气缸运作带动放置板的旋转，从而方便点测机主体更加精密的对晶圆片进行点测，大大提高了点测机主体对晶圆片点测的精密度，值得大力推广。

附图说明

图1为本实用新型提出的一种全自动晶圆片点测机的立体图；

图2为本实用新型提出的一种全自动晶圆片点测机的爆炸图；

图3为本实用新型提出的一种全自动晶圆片点测机的正视图。

图例说明：

1、底板；2、第一固定板；3、第一固定块；4、第一滑槽；5、第一滑块； 6、第二固定板；7、保护壳；8、旋转气缸；9、放置板；10、第三固定板；11、第二滑槽；12、第一气缸；13、第一连接块；14、第二固定块；15、点测机主体；16、第二气缸；17、第三固定块；18、第二滑块；19、第三连接块；20、刷子；21、第二连接块。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制；术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性，此外，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

参照图1-3，本实用新型提供的一种实施例：一种全自动晶圆片点测机，包括底板1和第三固定板10，底板1的顶端左右两侧均固定连接有第一固定块3，第一固定块3的顶部均设置有第一滑槽4，第一滑槽4的内部均滑动连接有第一滑块5，第一滑块5的顶端均固定连接在第二固定板6的下端，第二固定板6的顶端固定连接有保护壳7，保护壳7的内部下端固定连接有旋转气缸8，旋转气缸8的顶端固定连接有放置板9，第二固定板6的下端固定连接有第二连接块21，底板1的顶端固定连接有第一气缸12，第一气缸12的活塞杆处固定连接有第一连接块13，第一连接块13的另一端固定连接在第二连接块21的后端，底板1的后端上方固定连接有第二固定块14，第二固定块 14的顶端下方固定连接有点测机主体15，第二固定块14的下端前方固定连接有第二气缸16，第二气缸16的活塞杆处固定连接有第三固定块17，第三固定块17的前端固定连接有第三连接块19，第三连接块19的左右两侧均固定连接有第二滑块18。

底板1的下端固定连接有三个第一固定板2，通过第一固定板2可以使底板1的放置更稳定，第三连接块19的下端固定连接有刷子20，通过第二气缸 16带动第三连接块19进行前后移动，第三连接块19前后移动带动刷子20进行对放置板9的清理，从而保证放置板9没有异物在其中，当晶圆片放置在放置板9上可以保证晶圆片的稳定与整洁，提高点测机主体15对晶圆片的检测质量，第二滑块18滑动连接在第二滑槽11内，第一气缸12固定连接在两个第一固定块3之间，第一固定块3的大小相等，第三固定板10的大小相等，放置板9滑动连接在保护壳7内，首先当进行晶圆片检测时，第一气缸12运作带动第二固定板6滑动至送料机构处，晶圆片经送料机构落在放置板9上后，点测机主体15进行对晶圆片的检测，在检测过程中放置板9下端的旋转气缸8运作带动放置板9的旋转，从而方便点测机主体15更加精密的对晶圆片进行点测，大大提高了点测机主体15对晶圆片点测的精密度。

工作原理：首先当进行晶圆片检测时，第一气缸12运作带动第二固定板 6滑动至送料机构处，晶圆片经送料机构落在放置板9上后，点测机主体15 进行对晶圆片的检测，在检测过程中放置板9下端的旋转气缸8运作带动放置板9的旋转，从而方便点测机主体15更加精密的对晶圆片进行点测，大大提高了点测机主体15对晶圆片点测的精密度，检测完毕后，第二气缸16带动第三连接块19进行前后移动，第三连接块19前后移动带动刷子20进行对放置板9的清理，从而保证放置板9没有异物在其中，便于对下一个晶圆片点测。

最后应说明的是：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (7)

1.一种全自动晶圆片点测机，包括底板(1)和第三固定板(10)，其特征在于：所述底板(1)的顶端左右两侧均固定连接有第一固定块(3)，所述第一固定块(3)的顶部均设置有第一滑槽(4)，所述第一滑槽(4)的内部均滑动连接有第一滑块(5)，所述第一滑块(5)的顶端均固定连接在第二固定板(6)的下端，所述第二固定板(6)的顶端固定连接有保护壳(7)，所述保护壳(7)的内部下端固定连接有旋转气缸(8)，所述旋转气缸(8)的顶端固定连接有放置板(9)，所述第二固定板(6)的下端固定连接有第二连接块(21)，所述底板(1)的顶端固定连接有第一气缸(12)，所述第一气缸(12)的活塞杆处固定连接有第一连接块(13)，所述第一连接块(13)的另一端固定连接在第二连接块(21)的后端，所述底板(1)的后端上方固定连接有第二固定块(14)，所述第二固定块(14)的顶端下方固定连接有点测机主体(15)，所述第二固定块(14)的下端前方固定连接有第二气缸(16)，所述第二气缸(16)的活塞杆处固定连接有第三固定块(17)，所述第三固定块(17)的前端固定连接有第三连接块(19)，所述第三连接块(19)的左右两侧均固定连接有第二滑块(18)。

2.根据权利要求1所述的一种全自动晶圆片点测机，其特征在于：所述底板(1)的下端固定连接有三个第一固定板(2)。

3.根据权利要求1所述的一种全自动晶圆片点测机，其特征在于：所述第三连接块(19)的下端固定连接有刷子(20)。

4.根据权利要求1所述的一种全自动晶圆片点测机，其特征在于：所述第二滑块(18)滑动连接在第二滑槽(11)内。

5.根据权利要求1所述的一种全自动晶圆片点测机，其特征在于：所述第一气缸(12)固定连接在两个第一固定块(3)之间。

6.根据权利要求1所述的一种全自动晶圆片点测机，其特征在于：所述第一固定块(3)的大小相等，所述第三固定板(10)的大小相等。

7.根据权利要求1所述的一种全自动晶圆片点测机，其特征在于：所述放置板(9)滑动连接在保护壳(7)内。

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