CN213814299U

CN213814299U - 剥离液回收设备以及显示面板光阻剥离系统

Info

Publication number: CN213814299U
Application number: CN202023342825.1U
Authority: CN
Inventors: 邓皓
Original assignee: LG Display Optoelectronics Technology China Co Ltd
Current assignee: LG Display Optoelectronics Technology China Co Ltd
Priority date: 2020-12-30
Filing date: 2020-12-30
Publication date: 2021-07-27
Anticipated expiration: 2030-12-30

Abstract

本实用新型涉及一种剥离液回收设备以及显示面板光阻剥离系统，剥离液回收设备包括依次连接的集液装置、光阻剂固化装置、光阻剂过滤装置和储液装置，光阻剂固化装置用于对剥离液中的光阻剂进行固化处理并形成凝聚物，光阻剂过滤装置用于过滤剥离液中的凝聚物，光阻剂过滤装置包括多个依次连接的过滤器，且位于两端的过滤器分别与光阻剂固化装置和储液装置连通，由靠近光阻剂固化装置的一端朝向靠近储液装置的一端，多个过滤器的滤网目数依次递增。通过设置多个滤网目数依次递增的过滤器，以使多个过滤器依次从大尺寸凝聚物至小尺寸凝聚物进行分级捕获，具有降低过滤器更换频率和保证剥离液流量的特点。

Description

剥离液回收设备以及显示面板光阻剥离系统

技术领域

本实用新型涉及显示技术领域，尤其涉及一种剥离液回收设备以及包含该剥离液回收设备的显示面板光阻剥离系统。

背景技术

在半导体显示制造过程中，显示面板包括滤光器阵列基板和TFT阵列基板，(TFT，Thin Film Transistor，薄膜晶体管)，TFT阵列基板的制作过程包含剥离工艺，即把定义图形的光阻(photorisist，简称PR)用剥离液(例如显影液)去除的工艺。剥离液回收设备用于对剥离液以及溶于剥离液中的光阻剂进行回收，通过对剥离液进行固化处理，使溶于剥离液中的光阻剂形成胶状凝聚物，再通过过滤器对剥离液进行过滤处理，实现剥离液与光阻凝聚物分离。现有的过滤处理方式为将过滤器接入剥离液的输送管道，过滤器的孔径为设计要求的最小孔径30μm，以保证过滤后的剥离液符合回收要求。当过滤器内的光阻凝聚物达到一定数量时，大量的光阻凝聚物对过滤器的过滤孔造成堵塞，使剥离液无法正常通过过滤器，因此需要频繁的更换过滤器。同时，随着过滤器内光阻凝聚物的增加，会使输送管道的流量逐渐降低，进而影响整个回收设备的作业效率。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提出一种剥离液回收设备以及显示面板光阻剥离系统，其过滤器更换频率低，可保证剥离液的流量。

为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：

提供的一种剥离液回收设备，包括依次连接的集液装置、光阻剂固化装置、光阻剂过滤装置和储液装置，所述光阻剂固化装置用于对所述剥离液中的光阻剂进行固化处理并形成凝聚物，所述光阻剂过滤装置用于过滤所述剥离液中的所述凝聚物，其特征在于，所述光阻剂过滤装置包括多个依次连接的过滤器，且位于两端的所述过滤器分别与光阻剂固化装置和所述储液装置连通，由靠近所述光阻剂固化装置的一端朝向靠近所述储液装置的一端，多个所述过滤器的滤网目数依次递增。

作为剥离液回收设备的一种优选方案，所述光阻剂过滤装置为至少两个，所有的所述光阻剂过滤装置的进液端均与所述光阻剂固化装置连接，所有的所述光阻剂过滤装置的出液端均与所述储液装置连接。

作为剥离液回收设备的一种优选方案，所述过滤器的进液端均设置有进液阀门。

作为剥离液回收设备的一种优选方案，所述光阻剂过滤装置包括三个所述过滤器，三个所述过滤器分别为第一过滤器、第二过滤器和第三过滤器，所述第一过滤器与所述光阻剂固化装置连接，所述第三过滤器与所述储液装置连接，所述第二过滤器位于所述第一过滤器和所述第三过滤器之间，所述第一过滤器的滤网目数为60～80，所述第二过滤器的滤网目数为110～180，所述第三过滤器的滤网目数为425～500。

作为剥离液回收设备的一种优选方案，所述光阻剂过滤装置为两个，每个所述光阻剂过滤装置的进液端通过进液支管道与所述光阻剂固化装置连接，所述进液支管道上设置有进液阀门，每个所述光阻剂过滤装置的出液端通过出液支管道与所述储液装置连接，所述出液支管道上设置有流量计，所述流量计用于检测所述出液支管道内所述剥离液的流量。

作为剥离液回收设备的一种优选方案，每个所述过滤器的出口端均设置有流量计。

作为剥离液回收设备的一种优选方案，还包括金属离子过滤装置，所述金属离子过滤装置设置于所述光阻剂过滤装置与所述储液装置之间，所述金属离子过滤装置用于去除所述剥离液内的金属离子。

作为剥离液回收设备的一种优选方案，还包括驱动装置，所述驱动装置设置于所述光阻剂过滤装置与所述储液装置之间。

作为剥离液回收设备的一种优选方案，所述过滤器包括外壳和设置于所述外壳内的滤网，所述滤网与所述外壳可拆卸连接。

还提供一种显示面板光阻剥离系统，包括上述的剥离液回收设备。

本实用新型相比于现有技术的有益效果：

本实用新型的剥离液回收设备以及显示面板光阻剥离系统，通过设置多个滤网目数依次递增的过滤器，以使多个过滤器依次从大尺寸凝聚物至小尺寸凝聚物进行分级捕获，避免不同大小的凝聚物全部集中在一个过滤器中，该方式有利于延长过滤器的更换时间，提高过滤作业效率。同时，由于设置有多个过滤器，每个过滤器对不同尺寸的凝聚物进行阻挡，可避免在一个过滤器中随着凝聚物的增加而使流量降低。该结构具有降低过滤器更换频率和保证剥离液流量的特点。

附图说明

图1为实施例的剥离液回收设备的示意图。

图中：

1、集液装置；2、光阻剂固化装置；3、光阻剂过滤装置；31、第一过滤器；32、第二过滤器；33、第三过滤器；34、进液支管道；35、出液支管道；36、进液阀门；37、流量计；4、储液装置。

具体实施方式

参考下面结合附图详细描述的实施例，本实用新型的优点和特征以及实现它们的方法将变得显而易见。然而，本实用新型不限于以下公开的实施例，而是可以以各种不同的形式来实现，提供本实施例仅仅是为了完成本实用新型的公开并且使本领域技术人员充分地了解本实用新型的范围，并且本实用新型仅由权利要求的范围限定。相同的附图标记在整个说明书中表示相同的构成要素。

以下，参照附图来详细描述本实用新型。

实施例一

参照图1所示，提供一种剥离液回收设备，包括依次连接的集液装置1、光阻剂固化装置2、光阻剂过滤装置3和储液装置4。其中，集液装置1用于对使用后的剥离液进行收集和储存，剥离液即为显影液，在剥离工艺中，剥离液被喷洒在面板的表面，剥离液与面板表面被曝光的光阻反应，进而使光阻剂溶于剥离液中，并使面板表面未被曝光的光阻形成所需要的图形。反应后的剥离液收集在集液装置1中。光阻剂固化装置2与集液装置1通过输液管道连接，集液装置1内的剥离液流向光阻剂固化装置2，光阻剂固化装置2对剥离液进行固化处理，使溶于剥离液中的光阻剂形成胶状的凝聚物，以便于通过过滤的方式对凝聚物进行去除。光阻剂过滤装置3的进液端与光阻剂固化装置2通过输液管道连接，光阻剂过滤装置3的出液端与储液装置4通过输液管道连接，光阻剂过滤装置3用于对剥离液中的凝聚物进行过滤处理，以实现对剥离液中光阻剂的去除。过滤后的剥离液排放至储液装置4进行储存，以便于作其他处理，以及循环使用。光阻剂过滤装置3包括多个依次连接的过滤器，即多个过滤器以串联的方式连接在光阻剂固化装置2和储液装置4之间。位于两端的过滤器分别与光阻剂固化装置2和储液装置4连通，以使光阻剂固化装置2内的剥离液依次通过多个过滤器流向储液装置4。过滤器用于过滤剥离液中的凝聚物，过滤器包括外壳和设置于外壳内的滤网，滤网与外壳可拆卸连接，剥离液中的凝聚物能够被滤网阻挡，以实现凝聚物与剥离液分离。当滤网上的凝聚物达到一定数量时，对滤网进行更换。多个过滤器中，从靠近光阻剂固化装置2的一端至靠近储液装置4的一端，多个过滤器的滤网目数依次递增。滤网的不同目数对应滤网的不同规格，目数越大，即能够捕获的凝聚物的尺寸越小，相反，目数越小，即能够捕获的凝聚物的尺寸越大。本实施例中，通过设置多个滤网目数依次递增的过滤器，以使多个过滤器依次从大尺寸凝聚物至小尺寸凝聚物进行分级捕获，避免不同大小的凝聚物全部集中在一个过滤器中，该方式有利于延长过滤器的更换时间，提高过滤作业效率。同时，由于设置有多个过滤器，每个过滤器对不同尺寸的凝聚物进行阻挡，可避免在一个过滤器中随着凝聚物的增加而使流量降低。该结构具有降低过滤器更换频率和保证剥离液流量的特点。

具体地，光阻剂过滤装置3为两个或多个，所有的光阻剂过滤装置3的进液端均与光阻剂固化装置2连接，所有的光阻剂过滤装置3的出液端均与储液装置4连接。可以理解的，设置两个或多个光阻剂过滤装置3，且两个或多个光阻剂过滤装置3以并联的方式设置在光阻剂固化装置2与储液装置4之间。该方式可使光阻剂固化装置2中的剥离液沿一个光阻剂过滤装置3或者同时沿两个或者多个光阻剂过滤装置3流向储液装置4。当其中一个光阻剂固化装置2中的过滤器因凝聚物沉积量增加而使剥离液的流量减小时，可通过其他的光阻剂过滤装置3流通，进而保证剥离液的总体流量符合设计要求，保证该剥离液回收设备的工作效率。本实施例中，光阻剂过滤装置3为两个，每个光阻剂过滤装置3的进液端通过进液支管道34与光阻剂固化装置2连接，进液支管道34上设置有用于控制进液支管道34的通断的进液阀门36，每个光阻剂过滤装置3的出液端通过出液支管道35与储液装置4连接，出液支管道35上设置有流量计37，流量计37用于检测出液支管道35内的剥离液的流量。过滤时，可利用流量计37实施监控对应的出液支管道35中的流量，当其中一个光阻剂过滤装置3因过滤器内的凝聚物增多而使流量减小时，可打开另一个光阻剂过滤装置3对应的进液阀门36，以保证剥离液的总体流量。当然，在对某一个光阻剂过滤装置3更换滤网时，也可以通过进液阀门36截断对应的光阻剂过滤装置3，利用另一个光阻剂过滤装置3进行过滤作用，避免更换滤网时中断过滤作业，进而提高工作效率。

具体地，光阻剂过滤装置3包括三个过滤器，三个过滤器分别为第一过滤器31、第二过滤器32和第三过滤器33，第一过滤器31与光阻剂固化装置2连接，第三过滤器33与储液装置4连接，第二过滤器32位于第一过滤器31和第三过滤器33之间，且每个过滤器的进液端均设置有进液阀门36。本实施例中，第一过滤器31的滤网目数小于第二过滤器32的滤网目数，第二过滤器32的滤网目数小于第三过滤器33的滤网目数，当剥离液从光阻剂固化装置2流向储液装置4时，首先通过第一过滤器31对大尺寸的凝聚物过滤分离，然后通过第二过滤器32对中等尺寸的凝聚物过滤分离，最后通过第三过滤器33对小尺寸的凝聚物过滤分离。作为选择方案，第一过滤器31的滤网目数为60～80，第二过滤器32的滤网目数为110～180，第三过滤器33的滤网目数为425～500。当然，在其他实施例中，滤网的目数可根据剥离液中的凝聚物实际尺寸进行分级，以使每个过滤器对应过滤一种尺寸范围的凝聚物，以达到提高过滤效率的目的。同时，在每个过滤器的进液端均设置进液阀门36，有利于对光阻剂过滤装置3中的单个过滤器进行更换。可以理解的是，剥离液中各个尺寸的凝聚物的数量不同，三个过滤器分别对不同尺寸范围的凝聚物进行过滤，因此每个过滤器相应的具有一个凝聚物沉积量的上限值，当沉积量达到上限值时需要对过滤器的滤网进行更换。每个过滤器的凝聚物沉积量到达上限值的时间不同，因此，该结构有利于在某一个过滤器的凝聚物沉积量到达上限值时对该过滤器进行更换，避免对光阻剂过滤装置3中所有的过滤器进行更换，有利于节约设备成本。

具体地，每个过滤器的出口端均设置有流量计37。可以理解的是，通过每个过滤器出口端的流量计37监控对应的过滤器的流量，以便于当剥离液的流量到达设定值时对过滤器的滤网进行更换。

具体地，该剥离液回收设备还包括金属离子过滤装置(图中未示出)，金属离子过滤装置设置于光阻剂过滤装置3与储液装置4之间，金属离子过滤装置用于去除剥离液内的金属离子。本实施例中，反应后的剥离液中还存在TFT阵列基板制造中遗留的金属离子，包括Cu2+，Al3+，Mo4+，Ti3+等，通过金属离子过滤装置对金属离子进行去除，金属离子过滤装置可采用半透膜过滤、电场过滤或电化学金属离子净化的方式。

具体地，还包括驱动装置(图中未示出)，驱动装置为驱动泵，驱动装置设置于光阻剂过滤装置3与储液装置4之间。由于光阻剂过滤装置3与储液装置4之间的剥离液不含凝聚物，将驱动装置设置在该位置，可避免凝聚物沉积在驱动装置内部而影响驱动装置的正常工作。

实施例二

参照图1所示，还提供一种显示面板光阻剥离系统，该系统包括上述的剥离液回收设备和剥离槽，剥离槽内安装有若干个雾化喷头，雾化喷头与供液装置连接。供液装置与储液装置4通过管道连接，以使过滤处理后的剥离液循环使用。剥离槽内反应后的剥离液流入集液装置1。该系统由于将光阻剂过滤装置3设为多个依次连接的过滤器，降低了过滤器的更换频率以及保证剥离液的流量，进而提高工作效率。

本实施例的技术效果为：通过设置多个滤网目数依次递增的过滤器，以使多个过滤器依次从大尺寸凝聚物至小尺寸凝聚物进行分级捕获，避免不同大小的凝聚物全部集中在一个过滤器中，该方式有利于延长过滤器的更换时间，提高过滤作业效率。同时，由于设置有多个过滤器，每个过滤器对不同尺寸的凝聚物进行阻挡，可避免在一个过滤器中随着凝聚物的增加而使流量降低。该结构具有降低过滤器更换频率和保证剥离液流量的特点。

尽管上面已经参考附图描述了本实用新型的实施例，但是本实用新型不限于以上实施例，而是可以以各种形式制造，并且本领域技术人员将理解，在不改变本实用新型的技术精神或基本特征的情况下，可以以其他特定形式来实施本实用新型。因此，应该理解，上述实施例在所有方面都是示例性的而不是限制性的。

Claims

1.一种剥离液回收设备，包括依次连接的集液装置、光阻剂固化装置、光阻剂过滤装置和储液装置，所述光阻剂固化装置用于对所述剥离液中的光阻剂进行固化处理并形成凝聚物，所述光阻剂过滤装置用于过滤所述剥离液中的所述凝聚物，其特征在于，所述光阻剂过滤装置包括多个依次连接的过滤器，且位于两端的所述过滤器分别与光阻剂固化装置和所述储液装置连通，由靠近所述光阻剂固化装置的一端朝向靠近所述储液装置的一端，多个所述过滤器的滤网目数依次递增。

2.根据权利要求1所述的剥离液回收设备，其特征在于，所述光阻剂过滤装置为至少两个，所有的所述光阻剂过滤装置的进液端均与所述光阻剂固化装置连接，所有的所述光阻剂过滤装置的出液端均与所述储液装置连接。

3.根据权利要求1所述的剥离液回收设备，其特征在于，所述过滤器的进液端均设置有进液阀门。

4.根据权利要求3所述的剥离液回收设备，其特征在于，所述光阻剂过滤装置包括三个所述过滤器，三个所述过滤器分别为第一过滤器、第二过滤器和第三过滤器，所述第一过滤器与所述光阻剂固化装置连接，所述第三过滤器与所述储液装置连接，所述第二过滤器位于所述第一过滤器和所述第三过滤器之间，所述第一过滤器的滤网目数为60～80，所述第二过滤器的滤网目数为110～180，所述第三过滤器的滤网目数为425～500。

5.根据权利要求2所述的剥离液回收设备，其特征在于，所述光阻剂过滤装置为两个，每个所述光阻剂过滤装置的进液端通过进液支管道与所述光阻剂固化装置连接，所述进液支管道上设置有进液阀门，每个所述光阻剂过滤装置的出液端通过出液支管道与所述储液装置连接，所述出液支管道上设置有流量计，所述流量计用于检测所述出液支管道内所述剥离液的流量。

6.根据权利要求1所述的剥离液回收设备，其特征在于，每个所述过滤器的出口端均设置有流量计。

7.根据权利要求1所述的剥离液回收设备，其特征在于，还包括金属离子过滤装置，所述金属离子过滤装置设置于所述光阻剂过滤装置与所述储液装置之间，所述金属离子过滤装置用于去除所述剥离液内的金属离子。

8.根据权利要求1所述的剥离液回收设备，其特征在于，还包括驱动装置，所述驱动装置设置于所述光阻剂过滤装置与所述储液装置之间。

9.根据权利要求1所述的剥离液回收设备，其特征在于，所述过滤器包括外壳和设置于所述外壳内的滤网，所述滤网与所述外壳可拆卸连接。

10.一种显示面板光阻剥离系统，其特征在于，包括权利要求1至9任一项所述的剥离液回收设备。