CN213670231U - 匀胶机配件和生产系统 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种匀胶机配件和生产系统，其中，所述匀胶机配件包括载物台和匀胶仓，所述载物台具有固定匀胶件的承载面；所述匀胶仓环设于所述载物台的周缘，并形成有罩盖所述匀胶件的匀胶腔，所述匀胶仓与所述载物台同步旋转。本实用新型技术方案的匀胶机配件可有效解决大面积的晶圆匀胶不均匀或缺胶问题。

Description

匀胶机配件和生产系统

技术领域

本实用新型涉及半导体加工技术领域，尤其涉及一种匀胶机配件和生产系统。

背景技术

匀胶，以其特有的成膜快、膜层厚度均匀性高等优点，已经发展成为半导体加工工艺中最常用、最普遍的涂胶方式之一，匀胶具体是通过电机带动晶圆载物台从而带动晶圆匀速旋转，滴在晶圆表面的胶水通过离心力的作用均匀平铺在晶圆表面。现阶段，为了降低成本，提高产能，半导体工艺逐渐开始发展面积较大的晶圆进行晶圆级生产，例如广泛应用的8寸和12寸，然而，针对大面积晶圆，当转速较高时，边缘位置线速度较高，与空气摩擦较大，从而导致胶水成膜特性差，而出现匀胶不均匀甚至是边缘缺胶的情况，导致匀胶失败。

实用新型内容

本实用新型的主要目的在于提供一种匀胶机配件，旨在改善大面积的晶圆匀胶不均匀或缺胶的问题。

为实现上述目的，本实用新型实施例提供的匀胶机配件包括：

载物台，所述载物台具有固定匀胶件的承载面；和

匀胶仓，所述匀胶仓环设于所述载物台的周缘，并形成有罩盖所述匀胶件的匀胶腔，所述匀胶仓与所述载物台同步旋转。

可选的实施例中，所述匀胶仓与所述载物台为一体成型结构。

可选的实施例中，所述匀胶腔的内壁面与所述载物面的周缘形成有间隙。

可选的实施例中，在垂直于所述承载面的方向上，所述载物面的高度大于所述匀胶腔的底壁高度。

可选的实施例中，所述匀胶仓连接于所述载物台远离所述承载面的端部。

可选的实施例中，所述匀胶仓包括仓体和盖体，所述仓体围合形成有所述匀胶腔，所述仓体于朝向所述承载面的表面开设有与所述匀胶腔连通的盖合口，所述盖体可活动连接于所述盖合口的周缘，以具有盖合所述盖合口的状态和打开所述盖合口的状态。

可选的实施例中，所述承载面上设有真空吸盘口，所述匀胶件通过所述真空吸盘口吸附固定于所述承载面。

可选的实施例中，所述承载面上设置有至少两机械卡件，所述机械卡件形成有卡固所述匀胶件的卡槽。

可选的实施例中，所述匀胶仓连接有抽真空设备，以使所述匀胶腔为真空状态。

本实用新型又提出一种生产系统，所述生产系统包括如上所述的匀胶机配件。

本实用新型技术方案中，匀胶机配件包括固定匀胶件的载物台，该载物台被驱动可以绕其中心线旋转，同时在载物台的周缘环设有匀胶仓，使得匀胶仓和匀胶件均同时旋转，该匀胶仓形成有罩盖匀胶件的封闭的匀胶腔，如此，可以使得匀胶件周围的空气与之以相同的角速度运转，达到旋转平衡，从而减小或消除了匀胶件的周缘与空气的摩擦力，在胶滴到匀胶件上时，能够有效保证胶体成膜，避免匀胶失败的现象发生，提高匀胶均匀性。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图示出的结构获得其他的附图。

图1为本实用新型匀胶机配件一实施例的剖视图。

附图标号：

标号	名称	标号	名称
				100	匀胶机配件	70	匀胶仓
10	载物台	70a	匀胶腔
				11	承载面	71	仓体
30	驱动装置	711	盖合口
				50	匀胶件	73	盖体

本实用新型目的的实现、功能特点及优点将结合实施例，参照附图做进一步说明。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

需要说明，本实用新型实施例中所有方向性指示仅用于解释在某一特定姿态下各部件之间的相对位置关系、运动情况等，如果该特定姿态发生改变时，则该方向性指示也相应地随之改变。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“连接”、“固定”等应做广义理解，例如，“固定”可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

另外，在本实用新型中如涉及“第一”、“第二”等的描述仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示其相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。另外，各个实施例之间的技术方案可以相互结合，但是必须是以本领域普通技术人员能够实现为基础，当技术方案的结合出现相互矛盾或无法实现时应当认为这种技术方案的结合不存在，也不在本实用新型要求的保护范围之内。

本实用新型提出一种匀胶机配件100，用于晶圆的匀胶。

请参照图1，在本实用新型的一实施例中，匀胶机配件100包括：

载物台10，所述载物台10具有固定匀胶件50的承载面11；和

匀胶仓70，所述匀胶仓70环设于所述载物台10的周缘，并形成有罩盖所述匀胶件50的匀胶腔70a，所述匀胶仓70与所述载物台10同步旋转。

在半导体加工领域，需要将掩模版上的图形转移到晶圆上从而形成芯片，这就需要在晶圆上形成有光刻胶，而匀胶机配件100就是配合驱动装置以及其他控制装置等将光刻胶能够均匀分布在晶圆上的部件。本实施例中，匀胶件50具体为晶圆，晶圆的材质可以是硅片、碳化硅或者其他半导体材质，当然，也可以是其他需要均匀分布胶体的元器件。载物台10具有承载面11，该承载面11的面积可以与匀胶件50的表面积相同，也可以大于该匀胶件50的表面积，在此不作限定。此处，匀胶仓70与载物台10同步旋转需要借助驱动装置30，具体地，该驱动装置30连接于载物台10背离承载面11的端部，从而使得载物台10沿其中心线实现周向旋转，驱动装置30可以是电机，电机的转轴与载物台10的端部固定连接。

同时，在载物台10的周缘还设置有匀胶仓70，该匀胶仓70环设于与载物台10的周缘，并形成有罩盖匀胶件50的匀胶腔70a，该匀胶腔70a为封闭结构，从而减少设于载物面的匀胶件50与外部空气的接触。

具体地，当该匀胶仓70与载物台10同步运转时，设置该匀胶仓70的材质为塑料，优选为特氟龙，结构稳定性好，且材质轻，能够有效降低该匀胶机配件100的驱动装置30的驱动力，节约能耗，也可以有效降低成本。当然，该匀胶仓70也可以是其他质量较轻且结构强度高的，例如钛合金等。匀胶仓70与载物台10的连接可以是可拆卸连接，也可以固定连接，在此不作限定。

本实用新型技术方案中，匀胶机配件100包括固定匀胶件50的载物台10，该载物台10由驱动装置30驱动可以绕其中心线旋转，同时在载物台10的周缘环设有匀胶仓70，使得匀胶仓70和匀胶件50均同时旋转，该匀胶仓70形成有封闭的匀胶腔70a，如此，可以使得匀胶件50周围的空气与之以相同的角速度运转，达到旋转平衡，从而减小或消除了匀胶件50的周缘与空气的摩擦力，在胶滴到匀胶件50上时，能够有效保证胶体成膜，避免匀胶失败的现象发生，提高匀胶均匀性。该匀胶机配件100可以针对大面积的匀胶件50进行匀胶，例如直径在8寸、12寸甚至更大的晶圆，适用范围广。

可选的实施例中，所述匀胶仓70与所述载物台10为一体成型结构。

本实施例中，设置匀胶仓70与载物台10为一体成型结构，故载物台10也为塑料材质，两者通过模具成型，一方面方便批量加工，降低加工成本，提高加工效率，另一方面也可以增强匀胶仓70与载物台10之间的连接结构强度，有效保证匀胶腔70a的密封性，使得匀胶仓70与载物台10的旋转更加同步。

在该实施例的基础上，所述匀胶仓70包括仓体71和盖体73，所述仓体71围合形成有所述匀胶腔70a，所述仓体71于朝向所述承载面11的表面开设有与所述匀胶腔70a连通的盖合口711，所述盖体73可活动连接于所述盖合口711的周缘，以具有盖合所述盖合口711的状态和打开所述盖合口711的状态。

本实施例中，为了方便取放匀胶件50，该匀胶仓70包括有围合形成匀胶腔70a的仓体71，和与匀胶腔70a连通的盖合口711，在盖合口711处活动连接有盖体73，该盖体73在需要取放晶圆时打开，在滴胶后盖合，从而使得匀胶腔70a处于封闭匀胶状态。具体地，该盖体73可与仓体71可转动连接，如，在盖体73和盖合口711的周缘中的一者开设有轴孔，另一者凸设有转轴，通过轴孔与转轴的配合，从而使得盖体73在盖合和打开盖合口711的状态之间转换，方便快捷，也可以避免盖体73的丢失。当然，该盖体73也可以滑动打开盖合口711，或者通过铰链的方式。同时，盖合口711的位置开设在仓体71朝向承载面11的表面上，即与承载面11相对的位置上，从而能够方便通过该盖合口711将胶滴到匀胶件50上，实现后续的匀胶过程。

优选的实施例中，该匀胶件50设于承载面11的中部，盖合口711也开设在仓体71的中部，与匀胶件50的中心位置相对，从而使得胶体滴入匀胶件50的中心，使得胶体分布更加均匀。

可选的实施例中，所述匀胶腔70a的内壁面与所述载物面的周缘形成有间隙。

本实施例中，匀胶腔70a的内壁面与载物面的周缘形成有间隙，该间隙可以根据载物台10和匀胶件50的尺寸来进行设定，在不过度增加成本的基础上尽可能增大该间隙的尺寸，因为匀胶件50在旋转过程中，会出现将表面的胶体甩出去的情况，该间隙能够防止甩出去的胶体撞击到匀胶腔70a的内壁面上时重新反弹到匀胶件50表面，从而能够防止影响匀胶质量，提高匀胶过程中胶体的均匀性。

具体地，一般匀胶件50为晶圆，圆形片状，故设置载物台10也呈圆柱体状，从而与匀胶件50相适配，提高空间利用率。对应的，设置匀胶仓70呈圆筒状，故此处为匀胶仓70的内径尺寸大于载物台10的直径，形成的间隙尺寸较大，保证反弹的胶体不会落到匀胶件50上即可。当然，载物台10与匀胶仓70还可以是其他形状，例如正方体状或多边形状。

可选的实施例中，在垂直于所述承载面11的方向上，所述载物面的高度大于所述匀胶腔70a的底壁高度。

本实施例中，在垂直于承载面11的方向上，也就是匀胶仓70的高度方向上，载物面的高度大于匀胶腔70a的底壁高度，两者的高度差可以在不增加产品材料成本的情况下尽可能大，从而使得甩到匀胶腔70a内壁上的胶体能够顺着壁面滑落到底部，底部可以沉积落下的胶体，不会对匀胶件50产生影响，增加了匀胶件50匀胶的成功率。

可选的实施例中，所述匀胶仓70连接于所述载物台10远离所述承载面11的端部。如此，承载面11的高度与匀胶仓70的底部的高度差最高，增加收集胶体的空间，便于收集较多的甩出去的胶体，同时也进一步减少胶体对匀胶件50的影响，提高匀胶成功率。

在上述结构的基础上，匀胶件50可以通过不同的方式固定在承载面11上，例如，在一实施例中，所述承载面11上设有真空吸盘口(未图示)，所述匀胶件50通过所述真空吸盘口吸附固定于所述承载面11。

本实施例中，在承载面11的中部开设有真空吸盘口，该真空吸盘口与抽真空的装置相连通，从而能够使得真空吸盘口的表面呈负压状，将匀胶件50通过真空吸附方式固定在载物台10上，当固定方式可以通过盖合口711放入匀胶件50后，通过抽真空实现固定，简单方便，提高固定效率。

当然，于另外一实施例中，所述承载面11上设置有至少两机械卡件(未图示)，所述机械卡件形成有卡固所述匀胶件50的卡槽。

本实施例中，在载物台10上的承载面11上设置有至少两机械卡件，两个机械卡件形成有卡固匀胶件50的卡槽，从而将该匀胶件50固定于卡槽内，结构稳定性好，同时能够节约能耗。当然，该机械卡件也可以设置有三个或三个以上，从而进一步提高固定的稳定性。且根据机械卡件的移动动力不同，可以分为手动式、气缸式、电机式以及液压式等，在此不作限定。

在匀胶件50为机械卡件固定时，可选的实施例中，所述匀胶仓70连接有抽真空设备(未图示)，以使所述匀胶腔70a为真空状态。本实施例中，该匀胶仓70连接有抽真空设备，可以将匀胶腔70a内的气体抽空，从而实现真空状态，在匀胶件50随着载物台10转动时，没有了空气的存在，边缘部分也就不存在空调摩擦影响，更进一步提高了匀胶的成功率。

本实用新型又提出一种生产系统(未图示)，包括匀胶机配件100，所述匀胶机配件100参照上述实施例的具体结构。由于该生产系统的匀胶机配件100采用了上述所有实施例的全部技术方案，因此至少具有上述实施例的技术方案所带来的所有有益效果，在此不再一一赘述。

其中，该匀胶机配件100为生成系统的一个工种，生产系统还可以包括裁剪装置、运输线等，通过将匀胶件50，例如晶圆的原材料进行裁剪后运输到该匀胶机配件100处，并将匀胶件50安装固定于匀胶机配件100的载物台10上，并配合驱动装置和滴胶装置进而对匀胶件50进行滴胶和匀胶，完成匀胶后，还可以进行下一步的光刻胶等工序，从而能够实现完整的自动生产芯片的系统，有效提高生产效率，并且保证匀胶的成功率高，提高产品良率。

当然，该匀胶机配件100还可以配合驱动装置、显示组件以及控制装置和排风组件等组成一个单独的匀胶机，从而单独进行晶圆的匀胶。

以上所述仅为本实用新型的优选实施例，并非因此限制本实用新型的专利范围，凡是在本实用新型的发明构思下，利用本实用新型说明书及附图内容所作的等效结构变换，或直接/间接运用在其他相关的技术领域均包括在本实用新型的专利保护范围内。

Claims (10)

1.一种匀胶机配件，用于固定匀胶件，其特征在于，所述匀胶机配件包括：

载物台，所述载物台具有固定所述匀胶件的承载面；和

匀胶仓，所述匀胶仓环设于所述载物台的周缘，并形成有罩盖所述匀胶件的匀胶腔，所述匀胶仓与所述载物台同步旋转。

2.如权利要求1所述的匀胶机配件，其特征在于，所述匀胶仓与所述载物台为一体成型结构。

3.如权利要求1所述的匀胶机配件，其特征在于，所述匀胶腔的内壁面与所述承载面的周缘形成有间隙。

4.如权利要求3所述的匀胶机配件，其特征在于，在垂直于所述承载面的方向上，所述承载面的高度大于所述匀胶腔的底壁高度。

5.如权利要求4所述的匀胶机配件，其特征在于，所述匀胶仓连接于所述载物台远离所述承载面的端部。

6.如权利要求2所述的匀胶机配件，其特征在于，所述匀胶仓包括仓体和盖体，所述仓体围合形成有所述匀胶腔，所述仓体于朝向所述承载面的表面开设有与所述匀胶腔连通的盖合口，所述盖体可活动连接于所述盖合口的周缘，以具有盖合所述盖合口的状态和打开所述盖合口的状态。

7.如权利要求1至6中任一项所述的匀胶机配件，其特征在于，所述承载面上设有真空吸盘口，所述匀胶件通过所述真空吸盘口吸附固定于所述承载面。

8.如权利要求1至6中任一项所述的匀胶机配件，其特征在于，所述承载面上设置有至少两机械卡件，所述机械卡件形成有卡固所述匀胶件的卡槽。

9.如权利要求8所述的匀胶机配件，其特征在于，所述匀胶仓连接有抽真空设备，以使所述匀胶腔为真空状态。

10.一种生产系统，其特征在于，所述生产系统包括如权利要求1至9中任一项所述的匀胶机配件。

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