CN202061773U - 旋涂装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开一种旋涂装置，用以将一涂料均匀形成在一工件的表面上，该旋涂装置包括一喷涂装置、一旋转装置以及一控制器。该旋转装置包括一固定架及一旋转轴，其中该固定架用于固定该工件。该旋转轴用以支撑该固定架，并对该固定架上的该工件作轴向旋转以产生一离心力，该离心力将该涂料均匀地涂布在该工件表面上，并且借助该离心力甩掉多余的涂料。该控制器用以控制该旋转装置的该旋转轴的转速，并且控制该喷涂装置的喷射量。
Description
【技术领域】
本实用新型是有关于一种旋涂装置，特别是有关于一种用于工件成膜的旋涂装置。
【背景技术】
传统上，工件成膜方式除了传统刷漆方法之外，常用的方法还包括空气喷涂(Spray)。然而喷涂方法，通常需要昂贵的机械手臂设备对该工件表面作喷涂的动作，而且需使用自动控制系统控制机械手臂的来回移动喷涂，并且配合工件的表面轮廓移动。
但是，该机械手臂需来回喷涂，从而会造成工件一部份区域的涂料太厚的问题。而且，为了使喷涂均匀化还需要对该工件作缓慢旋转，以配合该机械手臂的来回移动，进而达到工件成膜的厚度一致。但是该工件旋转以及该机械手臂的移动所消耗的时间太长，不利于产能的增加。
此外，现有的空气喷涂方式喷涂所需的涂料必须使用溶剂降低黏度，易导致环保问题及喷涂利用率过低(亦即散布在空气中的涂料过多)，大约30％在工件上，高达70％的涂料浪费在空气中，造成生产成本的增加。再者，涂料的喷涂量控制不易，容易造成垂流(Sag)的问题。另外，涂料在硬化过程中容易产生气泡、灰尘，易造成涂料成膜品质不佳的缺点。
【实用新型内容】
本实用新型的主要目的在于提供一种旋涂装置，以高离心力的旋涂方式，使得涂料的膜厚均匀，且不需使用昂贵机械手臂，并增加工件成膜速度以及减少涂料的消耗。
为达上述目的，本实用新型采用如下技术方案：一种旋涂装置，用以将一涂料均匀形成在一工件的表面上，其特征在于：该旋涂装置包括：一喷涂装置、一旋转装置、一控制器、一成膜硬化装置及一回风冷凝系统，其中该喷涂装置设置于能够喷涂至该工件的距离范围之内，用以喷涂该涂料于该工件的整体表面；该旋转装置包括：一固定架及一旋转轴，其中该固定架包含有一真空吸嘴，用于固定该工件；该旋转轴用以支撑该固定架，并对该固定 架上的该工件作轴向旋转以产生一离心力，利用该离心力将该涂料均匀地涂布在该工件表面上，并且借助该离心力甩除多余的该涂料；该控制器用以控制该旋转轴的若干个段转速，并且控制该喷涂装置的一喷射量；该成膜硬化装置用于将该涂料硬化；以及该回风冷凝系统用于将多余甩出的涂料回收。
上述喷涂装置为若干支气体喷枪，以由不同方向做喷涂。在一实施例中，该工件例如是具有不规则曲面的立体工件。
上述旋转装置的固定架具有若干个夹具，用以固定该工件，这些夹具是利用凸起缘干涉方式固定工件。
上述该控制器控制该旋转轴的这些段转速，以分成多段变化转速。此外，这些段转速具有一低转速，该低转速介于每分钟30转(RPM)至每分钟500转(RPM)，用来甩除多余涂料或通过旋转达到平均喷涂的目的。还具有至少一高转速，其介于为每分钟500转(RPM)至每分钟10000转(RPM)。
上述成膜硬化装置包含若干个反射镜，用于将一紫外线设备发出的紫外线均匀照射于该工件。
本实用新型的一较佳实施例中，上述工件是被置于一真空室内作旋涂，该真空室的真空范围介于0.1bar至100bar之间，其中该真空室使用高效过滤器(HEPA)作过滤，使得该真空室达到介于级数(Class)1000至100000之间的无尘等级环境。此外，工件上方设置扰流板改变气流方向，并且工件内部设计一气流回流孔，减少扰流纹。
本实用新型的一较佳实施例中，当上述工件的平面尺寸大于20公分以上时，该喷涂装置喷涂该平面的内圈以及外圈以形成膜厚差异，并配合该旋转轴的转速控制形成内外圈均匀膜厚。或者该工件为立体工件，当该工件的外形为非中心对称时，该固定架与该工件是利用一动平衡校正机做校正。
相较于现有技术，本实用新型旋涂装置采用了一旋转装置，能够以高离心力的旋涂方式，使得涂料的膜厚均匀。本实用新型能够避免使用昂贵机械手臂。本实用新型还采用成膜硬化装置以加快工件成膜速度，同时利用回风冷凝系统以回收多余涂料，从而减少涂料的消耗。
为让本实用新型的上述内容能更明显易懂，下文特举较佳实施例，并配合所附图式，作详细说明如下：
【附图说明】
图1为本实用新型的较佳实施例中旋涂装置的方块图。
图2为本实用新型的较佳实施例中控制器控制旋转轴的转速相对于时间的关系图。
图3为本实用新型的较佳实施例中旋涂装置的剖面示意图。
图4为本实用新型的另一较佳实施中旋涂装置的方块图。
【具体实施方式】
参照图1，其绘示本实用新型较佳实施例中旋涂装置的方块图。本实用新型的旋涂装置10将涂料11均匀地涂布在一工件12的表面上，该旋涂装置10包括一喷涂装置20、一旋转装置30、一成膜硬化装置60、一回风冷凝系统70以及一控制器50。本实用新型的旋涂装置10适用于各种外形、材质的工件12，该工件12的表面可为规则以及不规则曲面的形状，该工件12例如是立体工件或平面工件。
该喷涂装置20设置于可喷涂该工件12的距离范围之内，该喷涂装置20用以喷涂该涂料11于该工件12的一区域表面，其中该喷涂装置20喷涂的区域表面为该工件12的局部表面或整体表面，依据喷涂装置20与工件12的相对位置而定。
该旋转装置30包括一固定架31及一旋转轴35，其中该固定架31用于固定该工件12。该旋转轴35用以支撑该固定架31，并对该固定架31上的工件12作轴向旋转以产生一离心力，该离心力将该涂料11均匀地涂布在该工件12表面上，并且通过该离心力甩除多余的该涂料11。该旋转装置30的具体实施方式将在图3作详细说明。
该控制器50连接该喷涂装置20及该旋转轴35，用以控制该喷涂装置20的喷射量以及该旋转轴35的转速，其中该控制器50控制该旋转轴35的这些段转速，以分成多段变化转速。参照图2并配合图1，图2为本实用新型的较佳实施例中控制器控制旋转轴的转速相对于时间的关系图，以说明本实用新型的旋涂装置10的运作方式。首先，当工件12置于固定架31时，该控制器50控制该喷涂装置20对工件12喷涂的涂料11，并且在喷涂时，该控制器50激活该旋转轴35的转动，主要是以一低转速V1转动，并持续一喷涂时间T1(例如10秒)。此时由于工件12的旋转，使得在该工件12的局部表面或整个表面被喷涂一层涂料11。应注意的是，此时形成在工件12的局部表面或整个表面的涂料11可能没有完全覆盖于整个工件12的全部表面，只是大略的喷涂，并且在局部(例如工件的不规则曲面)形成一膜厚较厚的未干涂料11。在一较佳实施例中， 该低转速V1的转动速度介于每分钟30转(revolution per minute，RPM)至每分钟500(RPM)，用以甩除多余涂料或通过旋转达到平均喷涂的目的。
在该低转速V1旋转该喷涂时间T1时间之后，该控制器50控制该喷涂装置20停止对该工件12喷涂，以节省涂料11。本实施例中，该控制器50控制该旋转轴35进一步以至少一高转速V2转动或是多段不同的高转速交互转动，以一高转速V2转动为例，并持续一成膜时间T2(例如较喷涂时间长的一段时间，如60秒)，如图2所示。当旋转轴35在高转速V2转动时，由于离心力的作用，使得在上述膜厚较厚的未干涂料11被甩开并涂布在该工件12表面，同时甩除多余的该涂料11，以进一步将涂料11完全覆盖于整个工件12的整个表面，并形成一均匀化的膜厚。在该高转速V2的转动之后，停止该旋转轴35的转动，完成该旋涂装置10的涂料11成膜的运作。在一较佳实施例中，该高转速V2的转动速度介于每分钟500(RPM)转至每分钟10000转(RPM)，当该高转速V2的转速越高，该工件的膜厚越薄。
如上所述，本实用新型利用该旋转轴35对该固定架31上的工件12作轴向旋转以产生一离心力，该离心力将该涂料11均匀地涂布在该工件12表面上，并且通过该离心力甩除多余的该涂料。因此，本实用新型解决传统的以机械手臂喷涂耗时的方式，并以低转速V1于一小段的喷涂时间T1喷涂之后，即停止喷涂，此亦即解决喷涂利用率过低的问题。然后，以一高转速V2持续一段成膜时间T2，以旋转涂布方式在该工件12的表面形成一膜厚均匀的涂料，解决传统机械手臂喷涂耗时的问题，并且进一步改善膜厚不均的问题。
参照图3，其为本实用新型的较佳实施例中旋涂装置的剖面示意图，以详细说明图1的喷涂装置20以及旋转装置30。其中该工件12以一立体工件来做说明，在图3中以一虚线方块表示，然而本实用新型并不限定该工件12的外观形状，例如为具有高低起伏的不规则表面的立体工件而言或是平面工件。该喷涂装置20可为一气体喷枪，如图3所示，该喷涂装置20亦可是若干支气体喷枪，由不同方向做喷涂。其中该喷枪是透过控制器50(自动控制系统)控制该涂料11的该喷射量或者是喷枪的移动位置。该旋转装置30还包括一固定架31、一旋转轴35以及一固定本体40。该固定本体40用于收容上述旋转轴35或固定架31，并可将该固定本体装设于工作机台上以便于操作。其中该固定本体40与该旋转轴35之间安装若干个轴承(bearing)41，以利于该旋转轴35的旋转并降低摩擦力。
该固定架31可具有复数个夹具320，用以固定该工件12，这些夹具320是利用凸起缘320a干涉方式固定工件，其中干涉方式是以接触该工件12表面对该工件12产生一夹持力以固定于该固定架31；或该固定架31包含有一真空吸嘴311，用以将该工件12吸附固定方式实施。或者两者皆有，如图3所示。继续参照图3，该真空吸嘴311具有一平面收容座312，并且该平面收容座312连通一抽气管道313，待该工件12置于该平面收容座312时，从该抽气管道313抽气以形成一真空状态，进而将该工件12吸附于该平面收容座312。
该固定架31与该工件12可先经过一动平衡校正机(未图示)做过校正，尤其针对该工件12外形并非中心对称的情况。在经过该动平衡校正机校正过后，该非中心对称的工件12与该固定架31的重心(Center of Gravity)是位于该旋转轴35的中心轴35a上，这是用于当旋转该工件12时可以保持平稳不产生震动，以防止该非中心对称的工件12从该固定架31脱落。
在另一实施例中，当该工件12是一平面工件，即一平板型工件(例如光盘片、液晶面板、桌面等)。其中特别是当该平面工件的一平面尺寸(例如圆形的直径或方形的边长)大于20公分(cm)以上时，在旋涂时利用该喷涂装置20喷涂该工件12的该区域表面即为该平面工件的一平面。而该喷涂装置20可利用喷涂该平面工件的内圈以及外圈的方式，其中该内圈例如是旋转中心区域；外圈例如是旋转中心区域的周围，以形成喷涂的膜厚差异，并配合该旋转轴35的该至少一高转速转动。其中喷涂的膜厚差异是用于避免当该高转速V2大于3000rpm时，该平面的外缘会因为转速过高，涂布会产生风剪效应(Wind Shear effect)，致使旋涂时该平面的膜厚的均匀性受到破坏，产生螺旋纹(Spiral pattern)现象。需注意的是，此时该平面工件的平面垂直于该旋转轴35。
参照图4，其绘示本实用新型的一较佳实施中旋涂装置的方块图。图式中与图1相同的组件如前述的说明，在此不予赘述。该旋涂装置10除了包括上述的喷涂装置20、旋转装置30以及控制器50之外，还包含一成膜硬化装置60、一回风冷凝系统70。该成膜硬化装置60用于将该工件12在高转速V2成膜后的干燥硬化。该成膜硬化装置60可包含一紫外线设备61，用于照射紫外光将该涂料11硬化。其中，该成膜硬化装置60还具有若干个反射镜62设置于该工件周围，可将该紫外线设备61发出的紫外光均匀照射于该工件12，并且亦可以由控制器50控制该旋转轴35以任一转速旋转，使紫外光照射均匀，并使得成 膜硬化速率一致，以得较佳的成膜品质以及成膜硬化速度。
本实用新型的一较佳实施例中，该工件置于一真空室(未图示)内作旋涂，该真空室的真空范围介于0.1bar至100bar之间，其中该真空室使用高效过滤器(HEPA)作过滤，使得该真空室达到级数(Class)1000至100000之间的无尘等级环境，其中1000级无尘等级环境(Class 1000 Clean Room)是指最大落尘量为每1立方英呎大于0.5微米μm粒径的粒子不得超过1000颗，同理100000级是指不得超过100000颗。此外，工件12上方设置扰流板80改变气流方向，并且工件内部设计有气流回流孔90，减少扰流纹。
该回风冷凝系统70可为设置在旋转装置30周围的一容器壁，并在旋转装置30的底部空间设置一涂料收集槽，用于在高转速V2时将多余甩出的涂料11回收，进一步减少涂料的浪费。该回风冷凝系统70具有抽风的作用，以限制多余涂料甩出的范围，即用以避免将多余涂料11甩到其它地方，并且可将甩出的涂料11引导到上述的回风冷凝系统70的涂料收集槽，进一步减少涂料的浪费，解决环保及喷涂利用率过低的问题。
Claims (15)
1.一种旋涂装置，用以将一涂料均匀形成在一工件的表面上，其特征在于：该旋涂装置包括：一喷涂装置、一旋转装置、一控制器、一成膜硬化装置及一回风冷凝系统，其中该喷涂装置设置于能够喷涂至该工件的距离范围之内，用以喷涂该涂料于该工件的整体表面；该旋转装置包括：一固定架及一旋转轴，其中该固定架包含有一真空吸嘴，用于固定该工件；该旋转轴用以支撑该固定架，并对该固定架上的该工件作轴向旋转以产生一离心力，利用该离心力将该涂料均匀地涂布在该工件表面上，并且借助该离心力甩除多余的该涂料；该控制器用以控制该旋转轴的若干个段转速，并且控制该喷涂装置的一喷射量；该成膜硬化装置用于将该涂料硬化；以及该回风冷凝系统用于将多余甩出的涂料回收。
2.如权利要求1所述的旋涂装置，其特征在于：该工件置于一真空室内作旋涂，该真空室的真空范围介于0.1巴至100巴之间。
3.如权利要求2所述的旋涂装置，其特征在于：该真空室使用高效过滤器作过滤，使得该真空室达到介于级数1000至100000之间的无尘等级环境。
4.如权利要求1所述的旋涂装置，其特征在于：该工件上方设置一扰流板，以改变气流方向。
5.如权利要求1所述的旋涂装置，其特征在于：该工件内部设计一气流回流孔，以减少扰流纹。
6.如权利要求1所述的旋涂装置，其特征在于：该喷涂装置为若干支气体喷枪，以由不同方向做喷涂。
7.如权利要求1所述的旋涂装置，其特征在于：该固定架具有若干个夹具，用以固定该工件。
8.如权利要求7所述的旋涂装置，其特征在于：这些夹具利用凸起缘干涉方式固定工件。
9.如权利要求1所述的旋涂装置，其特征在于：该工件的外形为非中心对称，该固定架与该工件利用一动平衡校正机校正两者的重心。
10.如权利要求9所述的旋涂装置，其特征在于：这些段转速具有一低转速，该低转速介于每分钟30转至每分钟500转，用以甩除多余涂料或通过旋转达到平均喷涂的目的。
11.如权利要求9所述的旋涂装置，其特征在于：该控制器控制该旋转轴的这些段转速还有以至少一高转速转动，这些转速介于为每分钟500转至每分钟10000转。
12.如权利要求9所述的旋涂装置，其特征在于：该工件为平面工件，且该平面工件的一平面的尺寸大于20公分以上时，该喷涂装置喷涂该平面的内圈以及外圈以形成膜厚差异，并配合该旋转轴的转速控制形成内外圈均匀膜厚。
13.如权利要求1所述的旋涂装置，其特征在于：该工件为立体工件。
14.如权利要求1所述的旋涂装置，其特征在于：该成膜硬化装置还包含若干个反射镜，用于将一紫外线设备发出的紫外线均匀照射于该工件。
15.如权利要求1所述的旋涂装置，其特征在于：该工件的整体表面为不规则曲面或是规则曲面。
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| C17 | Cessation of patent right | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20111207 Termination date: 20120723 |