CN207387380U - 一种行星齿轮式双面研磨/抛光机的下盘结构 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种行星齿轮式双面研磨/抛光机的下盘结构，包括机架、太阳轮、内齿圈、下研磨盘、中心回转接头和下研磨盘驱动机构；机架包括机座和固定在机座上的安装座，下研磨盘驱动机构包括托盘和下研磨盘驱动轴；下研磨盘驱动轴穿过安装座的内孔，由安装座中的轴承支承；下研磨盘固定在托盘上，托盘固定在下研磨盘驱动轴的上端；中心回转接头包括相互配合的回转环和固定环，回转环安装在托盘下方，跟随托盘转动，固定环固定在安装座上部；下研磨盘包括冷却水套，冷却水套的两个水口分别通过管道与回转环的两个水口连通，固定环的两个水口分别为进水口和出水口。本实用新型能够对下盘进行有效冷却，产品加工质量高、磨液的损耗量小。

Description

一种行星齿轮式双面研磨/抛光机的下盘结构

技术领域]

本实用新型涉及研磨机或抛光机，尤其涉及一种行星齿轮式双面研磨/抛光机的下盘结构。

背景技术]

双面研磨/抛光机非常适用于硬脆性材料薄形精密零件的上、下两平行端面的同时磨削及抛光，可以加工出平面度、等厚度及粗糙度要求非常高的薄形零件，所以在光学及半导体材料的加工领域得到了广泛应用。

申请号为CN201510181010.4的发明申请公开了一种行星齿轮式双面研磨/抛光机，太阳轮固定在太阳轮驱动轴的上端，太阳轮驱动轴的中部由安装座支承，太阳轮升降机构包括第一螺套、第二螺套、托板和复数根拉杆；第一螺套松套在安装座外面，由安装座支承，第二螺套的内螺纹与第一螺套的外螺纹旋合，第一螺套由升降驱动机构驱动；安装座的下部包括复数个拉杆孔，拉杆的上端固定在第二螺套上，拉杆的下端穿过拉杆孔，固定在托板上，托板安装在太阳轮驱动轴的下部。

该发明涉及的行星齿轮式双面研磨/抛光机因下盘没设计水冷结构，磨盘与工件长时间在加工过程中的接触，而造成磨盘与磨液发热，磨液蒸发快，容易产生对产品表面的损伤。而研磨抛光使用的磨液对温度有一定的使用要求，过高的温度会使磨液中的水份过快的蒸发掉，导致磨液容易结晶，从而使磨液的损耗量增加，另外设备上使用的冶具有些是使用胶水粘合的，过高的温度会使冶具脱胶，从而降低了冶具的使用寿命。

另外，虽然内齿圈的高度可以通过螺套来进行调整，但是用螺套来调整内齿圈高度很缓慢,内齿圈不能快速升降，不便于快速装卸工件。

发明内容]

本实用新型要解决的技术问题是提供一种产品加工质量高、磨液的损耗量小的行星齿轮式双面研磨/抛光机的下盘结构。

为了解决上述技术问题，本实用新型采用的技术方案是，一种行星齿轮式双面研磨/抛光机的下盘结构，包括机架、太阳轮、内齿圈、下研磨盘、中心回转接头和下研磨盘驱动机构；机架包括机座和固定在机座上的安装座，下研磨盘驱动机构包括托盘和下研磨盘驱动轴；下研磨盘驱动轴穿过安装座的内孔，由安装座中的轴承支承；下研磨盘固定在托盘上，托盘固定在下研磨盘驱动轴的上端；中心回转接头包括相互配合的回转环和固定环，回转环安装在托盘下方，跟随托盘转动，固定环固定在安装座上部；下研磨盘包括冷却水套，冷却水套的两个水口分别通过管道与回转环的两个水口连通，固定环的两个水口分别为进水口和出水口。

以上所述的行星齿轮式双面研磨/抛光机的下盘结构，安装座包括两条轴向水道，轴向水道包括两个上部水口和两个下部水口，轴向水道的上部水口位于安装座的上部，与固定环的水口连通，轴向水道的下部水口分别进水和出水。

以上所述的行星齿轮式双面研磨/抛光机的下盘结构，中心回转接头包括复数根导向杆和复数个压簧，托盘包括复数个朝下开口的弹簧座孔和复数个导向孔；弹簧座孔和导向孔分别沿托盘的周向均布，压簧安装在弹簧座孔中，压簧的底面抵住回转环的顶面；导向杆的杆部插在导向孔中，与导向孔滑动配合，导向杆下端的螺纹旋在回转环顶面的螺纹孔中；安装座的上部包括托架，固定环安装在托架上。

以上所述的行星齿轮式双面研磨/抛光机的下盘结构，包括与压簧数量相同的调压螺钉和调压垫，调压垫布置在压簧顶面与弹簧座孔底面之间，弹簧座孔底部包括螺纹通孔，调压螺钉由外向内旋入螺纹通孔，调压螺钉的前端顶在调压垫上。

以上所述的行星齿轮式双面研磨/抛光机的下盘结构，固定环的顶部包括两道环槽，回转环的底部包括两个水孔，两个水孔分别与两道环槽径向相对；固定环的两道环槽分别与固定环的两个水口连通，回转环底部的两个水孔分别与回转环的两个水口连通；固定环的顶面和回转环的底面各包括聚四氟乙烯层。

以上所述的行星齿轮式双面研磨/抛光机的下盘结构，下研磨盘包括水冷盘和磨盘，水冷盘与磨盘连接；水冷盘的顶部包括冷却水道，水冷盘与磨盘之间用螺栓锁紧，水冷盘的顶面与磨盘的底面之间通过密封胶密封；水冷盘的底部包括两个水口，水冷盘的两个水口与冷却水道连通，水冷盘的两个水口分别通过软管与回转环的两个水口连通。

本实用新型能够对下盘进行有效冷却，产品加工质量高、磨液的损耗量小。

附图说明]

下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步详细的说明。

图1是本实用新型实施例行星齿轮式双面研磨（抛光）机下盘结构的主视图。

图2是本实用新型实施例行星齿轮式双面研磨机下盘结构的俯视图。

图3是图1中的A向剖视图。

图4是图1中的B向剖视图。

图5是图3中的C向剖视图。

图6是图3中的D向剖视图。

图7是图5中的E向剖视图。

图8是图5中的F向剖视图。

图9是图5中的G向剖视图。

图10是图5中的H向剖视图。

图11是图1中的I向剖视图。

图12是图5中的K向剖视图。

图13是本实用新型实施例水冷盘的俯视图。

图14是图5中的L向剖视图。

图15是图5中的M向剖视图。

图16是图3中Ⅰ部位的局部放大图。

具体实施方式]

本实用新型实施例行星齿轮式双面研磨（抛光）机的下盘结构如图1至图16所示，包括机架、太阳轮10、内齿圈11、下研磨盘，太阳轮驱动机构、内齿圈驱动机构、下研磨盘驱动机构、上研磨盘驱动机构、内齿圈升降机构和下盘水冷机构。

机架包括机座19和固定在机座19上的安装座1，安装座1中空，下部有安装突缘101，安装座的突缘101用螺丝栓89固定在机座19上。

太阳轮驱动轴2为空心轴，上研磨盘驱动机构包括中心轴4和拨轮401、上轴承23、下轴承24、中心轴轴承27、中心轴驱动齿轮(上盘驱动齿轮)28和上研磨盘的驱动盘30。中心轴4穿过太阳轮驱动轴2的内孔，上研磨盘的驱动盘固定在中心轴4的上端，中心轴驱动齿轮28固定在中心轴4的下部，中心轴4的下端通过中心轴轴承27安装在机座19的下部。上轴承23和下轴承24的内圈分别固定在中心轴4的上部和下部。上轴承23的外圈安装在太阳轮驱动轴2内孔的上端，下轴承24的外圈安装在太阳轮驱动轴2内孔的下端。

中心轴驱动齿轮(上盘驱动齿轮)28与副减速机92上的副减速机齿轮93啮合，副电机94直连安在副减速机92上，上盘由副电机94带动拔轮401旋转，拔轮401与上盘卡舌啮合.可以带动整个上盘旋转。

下研磨盘驱动机构包括托盘37，下研磨盘驱动轴3和下研磨盘驱动齿轮15。下研磨盘驱动轴3穿过安装座1的内孔，上部和下部由安装座1内孔中的上轴承16，下轴承35支承。下研磨盘固定在托盘37上，托盘37固定在下研磨盘驱动轴3的上端，下研磨盘驱动齿轮15通过螺母17固定在下研磨盘驱动轴3的下端。主电机84通过主减速机85、主减速机齿轮86和分配轴88上的输入齿轮87带动分配轴88。安装在分配轴88中部的磨盘主动轮90与下研磨盘驱动齿轮15啮合，带动下研磨盘驱动轴3转动。

下研磨盘驱动轴3为空心轴，太阳轮驱动轴2穿过下研磨盘驱动轴3的内孔,分别由下研磨盘驱动轴3内孔中的上轴承25和下轴承26支承。太阳轮驱动齿轮36固定在太阳轮驱动轴2的下端,由小电机81通过小减速机82和小减速机齿轮83驱动。

下研磨盘包括水冷盘13和磨盘12，水冷盘13与磨盘12连接。水冷盘13的顶部包括冷却水道1301，水冷盘13与磨盘12之间用螺栓锁紧，水冷盘13的顶面与磨盘12的底面之间通过密封胶密封，水冷盘13的冷却水道1301封闭后形成下研磨盘的冷却水套。

水冷盘13的底部包括两个进水口1302和两个出水口1303，水冷盘13的两个进水口1302和两个出水口1303分别与内部的冷却水道1301连通。

如图3至图5所示，下盘水冷机构包括中心回转接头，中心回转接头包括相互配合的回转环40和固定环50，回转环40安装在托盘37下方，跟随托盘37转动，固定环50固定在安装座1上部的托架109上。

固定环50的顶部有两道环槽，一条是进水环槽51，另一条是回水环槽52。回转环40的底部有两个出水孔41和两个回水孔42，两个出水孔41与进水环槽51径向相对，两个回水孔42与回水环槽52径向相对。固定环50的进水环槽51与固定环50的两个进水口53连通；回水环槽52与两个回水口54连通。回转环40底部的两个出水孔41与回转环40顶部的两个出水口43连通，回转环40底部的两个回水孔42分别与回转环40顶部的两个回水口44连通。

固定环50的顶面有聚四氟乙烯层55，回转环40的底面有聚四氟乙烯层45。

水冷盘13底部的两个进水口1302分别通过软管46与回转环40顶部的两个出水口43连通，水冷盘13底部的两个出水口1303分别通过软管47与回转环40顶部的两个回水口44连通。

安装座1包括两条轴向进水道102和两条轴向回水道105，轴向进水道102包括上部水口103和两个下部水口104，轴向进水道102的上部水口103位于安装座1的上部，通过软管56与固定环50的进水口53连通。轴向回水道105包括上部水口106和两个下部水口107，轴向回水道105的上部水口106位于安装座1的上部，通过软管57与固定环50的回水口54连通。

轴向进水道102的下部水口104用下盘水冷机构进水，轴向回水道105的下部水口107用下盘水冷机构回水。

如图6和图7所示，中心回转接头包括回转环的的压紧装置，压紧装置包括3根导向杆61、6个压簧62、6个调压螺钉63和6个调压垫64。

托盘37有6个朝下开口的弹簧座孔3701和3个导向孔3702。弹簧座孔3701和导向孔3702分别沿托盘37的周向均布，压簧62和调压垫64安装在弹簧座孔3701中，压簧62的底面抵住回转环40的顶面。导向杆61的杆部插在导向孔3702中，与导向孔3702滑动配合，导向杆61下端的螺纹旋在回转环40顶面的螺纹孔中。

调压垫64布置在压簧62顶面与弹簧座孔3701底面之间，弹簧座孔3701底部包括螺纹通孔，调压螺钉63由外向内旋入螺纹通孔，调压螺钉63的前端顶在调压垫64上。

内齿圈升降机构和驱动机构包括端面凸轮6、升降套30、凸轮驱动机构、齿圈支架34、轴承套38和内齿圈驱动齿轮32。安装在分配轴88上部的齿圈主动齿轮91与内齿圈驱动齿轮32啮合，带动齿圈支架34与内齿圈11一起旋转。

环形的端面凸轮6松套在安装座1的下部，底面由安装座1的底座支承。

升降套30松套在安装座1的中部，内齿圈11固定在齿圈支架34上，齿圈支架34通过轴承套38安装在升降套30上。

轴承套38通过两个轴承33安装在升降套30的上部，齿圈支架34固定在轴承套38的上部，内齿圈驱动齿轮32固定在轴承套38的下部。

升降套30包括套筒31和两套对称安装的随动机构39，套筒31松套在安装座1的中部，位于端面凸轮6的上方。套筒31由端面凸轮6顶部的工作面驱动，端面凸轮6的工作面包括两个中心对称的型面。

随动机构39包括销轴3901和滚针轴承（滚轮）3902，销轴3901的内端固装在套筒31的下部。滚针轴承3902安装在销轴3901的外部，由端面凸轮6的型面支承。

凸轮驱动机构包括提升气缸71、推拉杆72、驱动销73、曲柄74和限位螺钉75，提升气缸71的缸体水平地固定在机座19上，推拉杆72的后端固定在提升气缸71的活塞杆上。

曲柄74沿轴向有一个扁长通孔7401，曲柄74的内端固定在端面凸轮6上。

推拉杆72的前部有一个扁长的槽孔7201，曲柄74穿过推拉杆72前部的槽孔7201。驱动销73固定在推拉杆72的前部，穿过曲柄74的扁长孔。

限位螺钉75安装在机架上，位于推拉杆72的前方。所述的滚轮为。

凸轮驱动机构驱动端面凸轮6转动，凸轮6转动时，凸轮6的工作面带动升降套30，升降套30通过轴承套和齿圈支架34带动内齿圈11上下运动。

本实用新型以上实施例通过凸轮驱动内齿圈上下运动，内齿圈能够迅速地降落，让出空间，便于在操作工在下研磨盘上装卸工件；操作工在下研磨盘上装卸工件后，内齿圈能够迅速地回位，节省工时。

Claims (6)

1.一种行星齿轮式双面研磨/抛光机的下盘结构，包括机架、太阳轮、内齿圈、下研磨盘和下研磨盘驱动机构；机架包括机座和固定在机座上的安装座，下研磨盘驱动机构包括托盘和下研磨盘驱动轴；下研磨盘驱动轴穿过安装座的内孔，由安装座中的轴承支承；下研磨盘固定在托盘上，托盘固定在下研磨盘驱动轴的上端，其特征在于，包括中心回转接头，中心回转接头包括相互配合的回转环和固定环，回转环安装在托盘下方，跟随托盘转动，固定环固定在安装座上部；下研磨盘包括冷却水套，冷却水套的两个水口分别通过管道与回转环的两个水口连通，固定环的两个水口分别为进水口和出水口。

2.根据权利要求1所述的行星齿轮式双面研磨/抛光机的下盘结构，其特征在于，安装座包括两条轴向水道，轴向水道包括两个上部水口和两个下部水口，轴向水道的上部水口位于安装座的上部，与固定环的水口连通，轴向水道的下部水口分别进水和出水。

3.根据权利要求1所述的行星齿轮式双面研磨/抛光机的下盘结构，其特征在于，中心回转接头包括复数根导向杆和复数个压簧，托盘包括复数个朝下开口的弹簧座孔和复数个导向孔；弹簧座孔和导向孔分别沿托盘的周向均布，压簧安装在弹簧座孔中，压簧的底面抵住回转环的顶面；导向杆的杆部插在导向孔中，与导向孔滑动配合，导向杆下端的螺纹旋在回转环顶面的螺纹孔中；安装座的上部包括托架，固定环安装在托架上。

4.根据权利要求3所述的行星齿轮式双面研磨/抛光机的下盘结构，其特征在于，包括与压簧数量相同的调压螺钉和调压垫，调压垫布置在压簧顶面与弹簧座孔底面之间，弹簧座孔底部包括螺纹通孔，调压螺钉由外向内旋入螺纹通孔，调压螺钉的前端顶在调压垫上。

5.根据权利要求1所述的行星齿轮式双面研磨/抛光机的下盘结构，其特征在于，固定环的顶部包括两道环槽，回转环的底部包括两个水孔，两个水孔分别与两道环槽径向相对；固定环的两道环槽分别与固定环的两个水口连通，回转环底部的两个水孔分别与回转环的两个水口连通；固定环的顶面和回转环的底面各包括聚四氟乙烯层。

6.根据权利要求1所述的行星齿轮式双面研磨/抛光机的下盘结构，其特征在于，下研磨盘包括水冷盘和磨盘，水冷盘与磨盘连接；水冷盘的顶部包括冷却水道，水冷盘与磨盘之间用螺栓锁紧，水冷盘的顶面与磨盘的底面之间通过密封胶密封；水冷盘的底部包括两个水口，水冷盘的两个水口与冷却水道连通，水冷盘的两个水口分别通过软管与回转环的两个水口连通。