CN206344010U - 一种采用静压轴承结构的精密双面研磨机主体结构 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及电子元器件平面加工设备技术，旨在提供一种采用静压轴承结构的精密双面研磨机主体结构。包括主支座和静压轴承座；转动部件采用静压轴承结构：下研磨盘、托盘、静压轴承和静压轴承座由上至下依次布置，且以外轴作为共同的轴心；下研磨盘与托盘连接，托盘与静压轴承的内圈连接，静压轴承的外圈与静压轴承座连接；主支座通过角接触轴承套装在外轴上，外轴的尾段通过传动部件与减速系统连接；外轴的顶段通过内啮合齿轮固定在托盘的中心。本实用新型专利的静压轴承间的油膜可自动补偿其他零件的加工误差，提高加工精度；恒供油量的液压系统确保轴承能够承受更大载荷，并确保加工高度不变；且运转更平稳，使用寿命更长，维护更加方便。

Description

一种采用静压轴承结构的精密双面研磨机主体结构

技术领域

本实用新型属于LED或电子元器件平面加工设备技术领域，特别涉及一种采用静压轴承结构的精密双面研磨机主体结构。

背景技术

研磨设备广泛应用于电子器件、宝石、光学、航空、汽车、模具等平面加工行业，在国内拥有很庞大的市场空间和发展前景。平面研磨加工是电子元器件，例如晶片加工中最重要的工序之一，研磨机械行业的发展最高端技术都集中在美国，日本和德国等发达国家。就国内而言，研磨设备行业虽然起步较早，但是一直沿用的是国外进口设备，缺乏自主的研磨设备和研磨技术。这年来，随着市场需求的迅速扩大，国内部分企业在引进发达国家技术的基础上，开始研发自主的设备，并获得较大成功。

尽管很多研磨设备被研制成功，但是仍然存在很多问题有待解决。例如现有的大部分研磨设备下研磨盘采用的是交叉滚子轴承的结构，但是对于较大型的研磨设备，型号较大的交叉滚子轴承并不能保证很好的平面度，外加上其他零部件的加工误差，使得整体结构平稳性差，加工出来的零件平面度不好，精度不高，而对于精密的电子元器件领域而言这却是致命的缺陷。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是，克服现有技术中的不足，提供一种采用静压轴承结构的精密双面研磨机主体结构。

为解决上述技术问题，本实用新型的解决方案是：

提供一种采用静压轴承结构的精密双面研磨机主体结构，包括与驱动电机相连的减速系统；该主体结构包括固定在下层基座上的主支座，以及固定在主支座上的静压轴承座；转动部件采用静压轴承结构：下研磨盘、托盘、静压轴承和静压轴承座由上至下依次布置，且以外轴作为共同的轴心；下研磨盘与托盘固定连接，托盘与静压轴承的内圈固定连接，静压轴承的外圈与静压轴承座固定连接；主支座通过一对角接触轴承套装在外轴上，外轴的尾段通过传动部件与减速系统连接；外轴的顶段与内圈齿轮固定连接，内圈齿轮与外圈齿轮共同组成一对内啮合齿轮，外圈齿轮固定在托盘的中心。

本实用新型中，所述托盘和下研磨盘之间沿圆周方向均布多个垫块；垫块上开有带螺纹的销孔，并通过螺钉分别连接固定连接托盘和下研磨盘。

本实用新型中，所述静压轴承座通过螺钉与静压轴承的外圈实现固定连接。

本实用新型中，所述外轴顶段开设带螺纹的孔，并通过螺钉与内圈齿轮固定连接；所述外圈齿轮通过螺钉与托盘固定连接。

本实用新型中，所述静压轴承的内圈与外圈之间填充液压油，并由液压供油系统通过油路实现流量恒定的供油。

本实用新型中，所述油路是设置在静压轴承座、主支座和下层基座内部的连续通孔，包括进油油路和回油油路。

与现有技术相比，本实用新型专利的有益效果是：

相比于其他轴承结构，本实用新型专利提供的静压轴承结构具有如下优势：静压轴承间的油膜可自动补偿其他零件的加工误差，提高加工精度；恒供油量的液压系统确保轴承能够承受更大载荷，并确保加工高度不变；且运转更平稳，使用寿命更长，维护更加方便。

附图说明

图1为本实用新型的整体的正视图；

图2为本实用新型的剖视图一；

图3为本实用新型的剖视图二；

图4为本实用新型的剖视图二的局部放大图；

图5为本实用新型的剖视图三(与图3中剖视图呈垂直方向)；

图6为本实用新型的剖视图三的局部放大图。

附图中的标记为：下研磨盘1，托盘2，静压轴承3，静压轴承座4，主支座5，下层基座6，减速系统7，外轴8，内啮合内圈齿轮9，内啮合外圈齿轮10。

具体实施方式

下面结合附图与具体实施方式对本实用新型作进一步详细描述：

如图1至图4所示的一种采用静压轴承结构的精密双面研磨机主体结构，包括下研磨盘1、托盘2、静压轴承3、静压轴承座4、主支座5、下层基座6、减速系统7、外轴8、内啮合内圈齿轮9、内啮合外圈齿轮10。

减速系统7与驱动电机相连，主支座5固定在下层基座6上，静压轴承座4固定在主支座5上；转动部件采用静压轴承结构：下研磨盘1、托盘2、静压轴承3和静压轴承座4由上至下依次布置，且以外轴8作为共同的轴心；下研磨盘1与托盘2固定连接，托盘2与静压轴承3的内圈固定连接，静压轴承3的外圈与静压轴承座4固定连接；主支座5通过一对角接触轴承套装在外轴8上，外轴8的尾段通过传动部件与减速系统7连接；外轴8的顶段与内圈齿轮固定连接，内圈齿轮与外圈齿轮共同组成一对内啮合齿轮，外圈齿轮固定在托盘2的中心。

托盘2和下研磨盘1之间沿圆周方向均布多个(例如5个)垫块；垫块上开有带螺纹的销孔，并通过螺钉分别连接固定连接托盘2和下研磨盘1。

静压轴承座4通过螺钉与静压轴承3的外圈实现固定连接。

外轴8顶段开设带螺纹的孔，并通过螺钉与内圈齿轮固定连接；外圈齿轮通过螺钉与托盘2固定连接。

静压轴承3的内圈与外圈之间填充液压油，并由液压供油系统通过油路实现流量恒定的供油。油路是设置在静压轴承座4、主支座5和下层基座6内部的连续通孔，包括进油油路和回油油路。

本实用新型的使用方法：

开启驱动电机，通过减速系统7带动外轴8转动，外轴8通过内啮合的齿轮传动结构带动位于静压轴承3上的托盘2及下研磨盘1转动。研磨机工作时，供油系统能够保证静压轴承3内部供油量一定，且静压轴承3内外圈间的油膜可自动补偿，从而确保研磨盘运转平稳，承载更大，提高表面的研磨精度。

最后，需要注意的是，以上列举的仅是本实用新型的具体实施例。显然，本实用新型不限于以上实施例，还可以有很多变形。本领域的普通技术人员能从本实用新型公开的内容中直接导出或联想到的所有变形，均应认为是本实用新型的保护范围。

Claims (6)

1.一种采用静压轴承结构的精密双面研磨机主体结构，包括与驱动电机相连的减速系统；其特征在于，该主体结构包括固定在下层基座上的主支座，以及固定在主支座上的静压轴承座；转动部件采用静压轴承结构：下研磨盘、托盘、静压轴承和静压轴承座由上至下依次布置，且以外轴作为共同的轴心；下研磨盘与托盘固定连接，托盘与静压轴承的内圈固定连接，静压轴承的外圈与静压轴承座固定连接；主支座通过一对角接触轴承套装在外轴上，外轴的尾段通过传动部件与减速系统连接；外轴的顶段与内圈齿轮固定连接，内圈齿轮与外圈齿轮共同组成一对内啮合齿轮，外圈齿轮固定在托盘的中心。

2.根据权利要求1所述的主体结构，其特征在于，所述托盘和下研磨盘之间沿圆周方向均布多个垫块；垫块上开有带螺纹的销孔，并通过螺钉分别连接固定连接托盘和下研磨盘。

3.根据权利要求1所述的主体结构，其特征在于，所述静压轴承座通过螺钉与静压轴承的外圈实现固定连接。

4.根据权利要求1所述的主体结构，其特征在于，所述外轴顶段开设带螺纹的孔，并通过螺钉与内圈齿轮固定连接；所述外圈齿轮通过螺钉与托盘固定连接。

5.根据权利要求1所述的主体结构，其特征在于，所述静压轴承的内圈与外圈之间填充液压油，并由液压供油系统通过油路实现流量恒定的供油。

6.根据权利要求5所述的主体结构，其特征在于，所述油路是设置在静压轴承座、主支座和下层基座内部的连续通孔，包括进油油路和回油油路。