CN211522311U - 真空镀膜基板旋转装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种真空镀膜基板旋转装置，包括置于真空镀膜室内部的固定台，固定台上设置驱动电机，驱动电机的输出轴传动连接基板。基板上开设放置基材的多个凹槽。基板呈圆形，多个凹槽沿基板的圆心呈圆周阵列分布。各凹槽的周向固定设置多个夹具，夹具包括夹片、固定连接夹片的销轴。夹片为弹性夹片。多个夹具沿凹槽的周向均匀分布。本实用新型的真空镀膜基板旋转装置，能够实现同时对多个基材进行双面镀膜，镀膜过程中无需重新抽真空，提高了镀膜效率。

Description

真空镀膜基板旋转装置

技术领域

本实用新型涉及一种真空镀膜基板旋转装置，属于真空镀膜技术领域。

背景技术

现有技术中的真空镀膜技术在智能设备、车载构件、光学器材等多个领域具有广泛的应用。对基板表面镀膜能够使得表面具有一定功能性，高硬度、透光率较高、防污渍等。一般情况下，这些材料的镀膜需要双面进行，现有的镀膜方式，一般需要人为翻转进行镀膜，镀膜效率低、中途翻面后需要重新抽真空。因此急需设计一种真空镀膜基板旋转装置，以满足现有镀膜材料需要双面镀膜的要求。

实用新型内容

本实用新型的目的在于克服现有技术中的镀膜设备仅能单面镀膜、效率较低的不足，提供一种真空镀膜基板旋转装置，技术方案如下：

真空镀膜基板旋转装置，包括置于真空镀膜室内部的固定台，固定台上设置驱动电机，驱动电机的输出轴传动连接基板。

进一步地，基板上开设放置基材的多个凹槽。

优选地，基板呈圆形，多个凹槽沿基板的圆心呈圆周阵列分布。

进一步地，各凹槽的周向固定设置多个夹具，夹具包括夹片、固定连接夹片的销轴。

优选地，夹片为弹性夹片。

优选地，多个夹具沿凹槽的周向均匀分布。

与现有技术相比，本实用新型所达到的有益效果：

本实用新型的真空镀膜基板旋转装置，能够实现同时对多个基材进行双面镀膜，镀膜过程中无需重新抽真空，提高了镀膜效率。

附图说明

图1是本实用新型的真空镀膜基板旋转装置的结构示意图；

图2是图1 的俯视图；

图3是夹具固定基材的示意图；

图中：1-真空镀膜室、2-固定台、3-驱动电机、4-输出轴、5-基板、51-凹槽、6-基材、7-夹具、71-夹片、72-销轴。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型作进一步描述。以下实施例仅用于更加清楚地说明本实用新型的技术方案，而不能以此来限制本实用新型的保护范围。

如图1和图2所示，真空镀膜基板旋转装置，包括置于真空镀膜室1内部的固定台2，固定台2上设置驱动电机3，驱动电机3的输出轴4传动连接基板5。

本实施例中具体地，基板5上开设放置基材6的多个凹槽51。

本实施例中作为一种优选，基板5呈圆形，多个凹槽51沿基板5的圆心呈圆周阵列分布。

本实施例中具体地，各凹槽51的周向固定设置多个夹具7，夹具7包括夹片71、固定连接夹片71的销轴72。如图3所示，具体地，本实施例中的夹具7包括分别固定在基板5的上下表面的两个夹片71以及固定两个夹片71的销轴72组成。

本实施例中作为一种优选，夹片71为弹性夹片。

本实施例中作为一种优选，多个夹具7沿凹槽51的周向均匀分布。

镀膜过程如下：

在镀膜开始前，先将各个基材6分别放入各个凹槽51内，通过各凹槽51旁的夹具7的夹片71对基材6夹紧。本实施例中每个凹槽51配置三个夹具7，实际使用时可以根据基材6大小和凹槽51大小调整夹具7的数量及更换不同尺寸的夹具7。基材6固定好之后，抽真空开始镀膜，其中一面镀膜完成后，启动驱动电机3将基板5旋转180度，关闭驱动电机3，继续对各基材6的另一面进行镀膜。

本实用新型的真空镀膜基板旋转装置，能够实现同时对多个基材进行双面镀膜，镀膜过程中无需重新抽真空，提高了镀膜效率。

以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型技术原理的前提下，还可以做出若干改进和变形，这些改进和变形也应视为本实用新型的保护范围。

Claims (4)

1.真空镀膜基板旋转装置，其特征在于，包括置于真空镀膜室内部的固定台，所述固定台上设置驱动电机，所述驱动电机的输出轴传动连接基板，所述基板上开设放置基材的多个凹槽，各所述凹槽的周向固定设置多个夹具，所述夹具包括夹片、固定连接所述夹片的销轴。

2.根据权利要求1所述的真空镀膜基板旋转装置，其特征在于，所述基板呈圆形，多个所述凹槽沿所述基板的圆心呈圆周阵列分布。

3.根据权利要求1所述的真空镀膜基板旋转装置，其特征在于，所述夹片为弹性夹片。

4.根据权利要求1所述的真空镀膜基板旋转装置，其特征在于，多个夹具沿所述凹槽的周向均匀分布。

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