CN213558194U - 一种光刻机机架金属涂层烘干装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种光刻机机架金属涂层烘干装置，包括：壳体，所述壳体的内侧壁通过轴承转动连接有第一丝杆，所述壳体的内侧壁通过轴承转动连接有第二丝杆，所述第一丝杆和第二丝杆以壳体的中心点为对称中心相对称，所述第一丝杆的顶部贯穿壳体的顶部，所述壳体的顶部安装有第一电机；生产时，需要烘干光刻机架零件，通过第一电机带动第一丝杆和第二丝杆转动，调节支架的上下位置，将光刻机架零件置于支架的转轴和导热管上方，调节支架的位置，直到光刻机架零件位于两个宽型管中间，烘干时，使得光刻机架零件的上表面和下表面接触到的热量接近相等，从而防止光刻机架零件的上下表面因不均热而形变。

Description

一种光刻机机架金属涂层烘干装置

技术领域

本实用新型涉及光刻机技术领域，具体为一种光刻机机架金属涂层烘干装置。

背景技术

光刻机又名：掩模对准曝光机，曝光系统，光刻系统等，是制造芯片的核心装备。它采用类似照片冲印的技术，把掩膜版上的精细图形通过光线的曝光印制到硅片上。

光刻机的机架零件生产时，需要对其涂层进行烘干，一般的，人工手动烘干不精确，尤其是人工难以对光刻机的机架零件的上下表面同时进行烘干受热操作，容易导致变形。为此，提出一种光刻机机架金属涂层烘干装置。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种光刻机机架金属涂层烘干装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种光刻机机架金属涂层烘干装置，包括：

壳体，所述壳体的内侧壁通过轴承转动连接有第一丝杆，所述壳体的内侧壁通过轴承转动连接有第二丝杆，所述第一丝杆和第二丝杆以壳体的中心点为对称中心相对称，所述第一丝杆的顶部贯穿壳体的顶部，所述壳体的顶部安装有第一电机，所述第一电机的底部输出轴焊接于第一丝杆的顶端，所述第一丝杆的外侧壁焊接有主动轮，所述主动轮的外侧壁通过皮带传动连接有从动轮，所述第二丝杆的外侧壁与从动轮固定连接，所述壳体的内侧壁焊接有数量为两个的以壳体的中心点为对称中心对称的滑杆，所述壳体的内侧壁滑动连接有数量为两个的以壳体的中心点为对称中心对称的支架；

所述壳体的顶部和底部均安装有以壳体的中心点为对称中心对称的热风机，所述热风机的输出口连通有宽型管，所述宽型管远离热风机的一端贯穿壳体延伸至壳体的内部，所述宽型管的一侧连通有连管。

通过采用上述技术方案，工作人员工作时，可以根据具体需要烘干的光刻机架零件形状，调节支架的高度，通过开关控制第一电机，第一电机带动第一丝杆转动，进而带动主动轮转动，通过皮带传动从动轮，从动轮带动第二丝杆同步转动，由于第一丝杆和第二丝杆分别与滑块螺纹连接，使得滑块上下移动，进而带动与滑块固定连接的支架上下移动，调节支架的位置，使得位于支架上方的光刻机架零件处于两个款型管的中间，拉开隔热片，将光刻机架零件放置于转轴和导热管外侧壁上方，通过开关控制第二电机，第二电机带动转轴转动，通过连杆和滚轮传动导热管，推动光刻机架零件向右侧移动，热风机吹出的热风通过宽型管排入壳体的内部，由于光刻机架零件位于两个宽型管的中间，使得光刻机架零件上下表面受热均匀，不会产生变形。

优选的，所述壳体的一侧开设有入口槽，所述壳体远离入口槽的一侧开设有出口槽，所述壳体的两侧均粘接有隔热片。

通过采用上述技术方案，光刻机架零件由入口槽进入，由出口槽退出，隔热片可以防止壳体内部的热量流失。

优选的，所述第一丝杆和第二丝杆的外侧壁均螺纹连接有与支架焊接的滑块，所述滑杆的外侧壁通过套环固定连接于支架的一侧。

通过采用上述技术方案，支架上下移动时，通过套环滑动于滑杆的外侧，滑杆用于辅助防止支架偏移。

优选的，所述支架的一侧转动连接有转轴，支架的内侧壁转动连接有数量不少于十个的均匀分布的导热管，所述导热管的内侧壁安装有加热杆，所述支架的一侧安装有第二电机，所述第二电机的输出轴贯穿支架，所述第二电机的输出轴焊接于转轴的一端，所述转轴远离第二电机的一端焊接有连杆，所述加热杆远离第二电机的一端焊接有连杆，所述连杆远离支架的一端固定连接有滚轮，所述滚轮之间通过皮带传动连接。

通过采用上述技术方案，加热杆用于辅助烘干光刻机架零件，第二电机带动转轴转动，通过连杆和滚轮传动导热管，推动光刻机架零件向右侧移动。

优选的，所述壳体的底部安装有支撑板。

通过采用上述技术方案，支撑板用于支撑本烘干装置。

优选的，所述壳体的一侧安装有开关，所述开关的电性输出端分别与热风机、第一电机和第二电机的电性输入端电性连接。

通过采用上述技术方案，开关分别控制热风机、第二电机和第一电机的开启与关闭。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

生产时，需要烘干光刻机架零件，通过第一电机带动第一丝杆和第二丝杆转动，调节支架的上下位置，将光刻机架零件置于支架的转轴和导热管上方，调节支架的位置，直到光刻机架零件位于两个宽型管中间，烘干时，使得光刻机架零件的上表面和下表面接触到的热量接近相等，从而防止光刻机架零件的上下表面因不均热而形变。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为本实用新型的俯视剖视图；

图3为本实用新型的宽型管的侧视图。

图中：1、壳体；2、开关；3、入口槽；4、出口槽；5、隔热片；6、第一电机；7、第一丝杆；8、主动轮；9、从动轮；10、第二丝杆；11、滑杆；12、支架；13、转轴；14、第二电机；15、连杆；16、滚轮；17、加热杆；18、导热管；19、热风机；20、宽型管；21、连管。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-图3，本实用新型提供一种技术方案：

一种光刻机机架金属涂层烘干装置，包括：

壳体1，所述壳体1的内侧壁通过轴承转动连接有第一丝杆7，所述壳体1的内侧壁通过轴承转动连接有第二丝杆10，所述第一丝杆7和第二丝杆10以壳体1的中心点为对称中心相对称，所述第一丝杆7的顶部贯穿壳体1的顶部，所述壳体1的顶部安装有第一电机6，所述第一电机6的底部输出轴焊接于第一丝杆7的顶端，所述第一丝杆7的外侧壁焊接有主动轮8，所述主动轮8的外侧壁通过皮带传动连接有从动轮9，所述第二丝杆10的外侧壁与从动轮9固定连接，所述壳体1的内侧壁焊接有数量为两个的以壳体1的中心点为对称中心对称的滑杆11，所述壳体1的内侧壁滑动连接有数量为两个的以壳体1的中心点为对称中心对称的支架12；所述壳体1的一侧开设有入口槽3，所述壳体1远离入口槽3的一侧开设有出口槽4，所述壳体1的两侧均粘接有隔热片5。光刻机架零件由入口槽3进入，由出口槽4退出，隔热片5可以防止壳体1内部的热量流失。所述第一丝杆7和第二丝杆10的外侧壁均螺纹连接有与支架12焊接的滑块，所述滑杆11的外侧壁通过套环固定连接于支架12的一侧。支架12上下移动时，通过套环滑动于滑杆11的外侧，滑杆11用于辅助防止支架12偏移。所述支架12的一侧转动连接有转轴13，支架12的内侧壁转动连接有数量不少于十个的均匀分布的导热管18，所述导热管18的内侧壁安装有加热杆17，所述支架12的一侧安装有第二电机14，所述第二电机14的输出轴贯穿支架12，所述第二电机14的输出轴焊接于转轴13的一端，所述转轴13远离第二电机14的一端焊接有连杆15，所述加热杆17远离第二电机14的一端焊接有连杆15，所述连杆15远离支架12的一端固定连接有滚轮16，所述滚轮16之间通过皮带传动连接。加热杆17用于辅助烘干光刻机架零件，第二电机14带动转轴13转动，通过连杆15和滚轮16传动导热管18，推动光刻机架零件向右侧移动。所述壳体1的底部安装有支撑板。支撑板用于支撑本烘干装置。所述壳体1的一侧安装有开关2，所述开关2的电性输出端分别与热风机19、第一电机6和第二电机14的电性输入端电性连接。开关2分别控制热风机19、第二电机14和第一电机6的开启与关闭。

所述壳体1的顶部和底部均安装有以壳体1的中心点为对称中心对称的热风机19，所述热风机19的输出口连通有宽型管20，所述宽型管20远离热风机19的一端贯穿壳体1延伸至壳体1的内部，所述宽型管20的一侧连通有连管21。

第一电机6和第二电机14的型号为YS6312电机。

热风机19的型号为RB旋涡式热风机。

结构原理：工作人员工作时，可以根据具体需要烘干的光刻机架零件形状，调节支架12的高度，通过开关2控制第一电机6，第一电机6带动第一丝杆7转动，进而带动主动轮8转动，通过皮带传动从动轮9，从动轮9带动第二丝杆10同步转动，由于第一丝杆7和第二丝杆10分别与滑块螺纹连接，使得滑块上下移动，进而带动与滑块固定连接的支架12上下移动，调节支架12的位置，使得位于支架12上方的光刻机架零件处于两个款型管的中间，拉开隔热片5，将光刻机架零件放置于转轴13和导热管18外侧壁上方，通过开关2控制第二电机14，第二电机14带动转轴13转动，通过连杆15和滚轮16传动导热管18，推动光刻机架零件向右侧移动，热风机19吹出的热风通过宽型管20排入壳体1的内部，由于光刻机架零件位于两个宽型管20的中间，使得光刻机架零件上下表面受热均匀，不会产生变形。

本实用新型中未涉及部分均与现有技术相同或可采用现有技术加以实现。尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (6)

1.一种光刻机机架金属涂层烘干装置，其特征在于，包括：

壳体（1），所述壳体（1）的内侧壁通过轴承转动连接有第一丝杆（7），所述壳体（1）的内侧壁通过轴承转动连接有第二丝杆（10），所述第一丝杆（7）和第二丝杆（10）以壳体（1）的中心点为对称中心相对称，所述第一丝杆（7）的顶部贯穿壳体（1）的顶部，所述壳体（1）的顶部安装有第一电机（6），所述第一电机（6）的底部输出轴焊接于第一丝杆（7）的顶端，所述第一丝杆（7）的外侧壁焊接有主动轮（8），所述主动轮（8）的外侧壁通过皮带传动连接有从动轮（9），所述第二丝杆（10）的外侧壁与从动轮（9）固定连接，所述壳体（1）的内侧壁焊接有数量为两个的以壳体（1）的中心点为对称中心对称的滑杆（11），所述壳体（1）的内侧壁滑动连接有数量为两个的以壳体（1）的中心点为对称中心对称的支架（12）；

所述壳体（1）的顶部和底部均安装有以壳体（1）的中心点为对称中心对称的热风机（19），所述热风机（19）的输出口连通有宽型管（20），所述宽型管（20）远离热风机（19）的一端贯穿壳体（1）延伸至壳体（1）的内部，所述宽型管（20）的一侧连通有连管（21）。

2.根据权利要求1所述的一种光刻机机架金属涂层烘干装置，其特征在于：所述壳体（1）的一侧开设有入口槽（3），所述壳体（1）远离入口槽（3）的一侧开设有出口槽（4），所述壳体（1）的两侧均粘接有隔热片（5）。

3.根据权利要求1所述的一种光刻机机架金属涂层烘干装置，其特征在于：所述第一丝杆（7）和第二丝杆（10）的外侧壁均螺纹连接有与支架（12）焊接的滑块，所述滑杆（11）的外侧壁通过套环固定连接于支架（12）的一侧。

4.根据权利要求1所述的一种光刻机机架金属涂层烘干装置，其特征在于：所述支架（12）的一侧转动连接有转轴（13），支架（12）的内侧壁转动连接有数量不少于十个的均匀分布的导热管（18），所述导热管（18）的内侧壁安装有加热杆（17），所述支架（12）的一侧安装有第二电机（14），所述第二电机（14）的输出轴贯穿支架（12），所述第二电机（14）的输出轴焊接于转轴（13）的一端，所述转轴（13）远离第二电机（14）的一端焊接有连杆（15），所述加热杆（17）远离第二电机（14）的一端焊接有连杆（15），所述连杆（15）远离支架（12）的一端固定连接有滚轮（16），所述滚轮（16）之间通过皮带传动连接。

5.根据权利要求1所述的一种光刻机机架金属涂层烘干装置，其特征在于：所述壳体（1）的底部安装有支撑板。

6.根据权利要求1所述的一种光刻机机架金属涂层烘干装置，其特征在于：所述壳体（1）的一侧安装有开关（2），所述开关（2）的电性输出端分别与热风机（19）、第一电机（6）和第二电机（14）的电性输入端电性连接。

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