CN213325610U - 一种柔性芯片拾取设备 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种柔性芯片拾取设备，包括顶架和支撑架，所述顶架的内部活动设有螺杆，所述顶架的一端固定设有第一电机，且所述螺杆与第一电机通过输出轴传动连接，所述螺杆的外侧设有滑块，且所述滑块与螺杆螺纹连接。本实用新型通过第一电机驱动螺杆顺逆时针转动时，滑块带动真空吸盘左右移动，第二电机驱动转盘转动，可改变真空吸盘的前后朝向，微型电机运行使第一臂杆、第二臂杆以及第三臂杆展开或者收复，从而改变真空吸盘的拾取范围，该拾取设备拾取范围广，且采用真空吸附的方式拾取柔性芯片，有效地防止柔性芯片损坏，实用性好。
Description
技术领域
本实用新型涉及半导体技术领域，具体涉及一种柔性芯片拾取设备。
背景技术
柔性电子作为下一代电子革命，将被广泛利用于电子通信、医疗以及军事等领域，在近10年间，柔性电子技术发展迅速，从柔性材料到柔性电子封装技术都已有相对成熟的解决方案；
专利号CN 209896039 U的中国专利公开了一种柔性芯片拾取设备，用于从超薄柔性晶圆拾取柔性芯片，包括用于放置超薄柔性晶圆的拾取台、用于顶起柔性芯片的顶针、用于拾取柔性芯片的取片装置，顶针上部具有平台。本实用新型避免了在拾取过程中柔性芯片因受力不均极易发生碎片、无法剥离等问题，提高了制造柔性芯片的良率；
上述技术存在以下不足：现有的拾取设备仅能拾取指定位置的柔性芯片，且拾取设备采用机械式夹具拾取芯片，容易导致柔性芯片弯折出现折痕无法使用。
在所述背景技术部分公开的上述信息仅用于加强对本公开的背景的理解，因此它可以包括不构成对本领域普通技术人员已知的现有技术的信息。
实用新型内容
本实用新型的目的是提供一种柔性芯片拾取设备，以解决上述背景技术中提出的问题。
为了实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种柔性芯片拾取设备，包括顶架和支撑架，所述顶架的内部活动设有螺杆，所述顶架的一端固定设有第一电机，且所述螺杆与第一电机通过输出轴传动连接，所述螺杆的外侧设有滑块，且所述滑块与螺杆螺纹连接；
所述滑块的底部固定设有第二电机，所述第二电机的底部设有转盘，且所述转盘与第二电机通过输出轴传动连接，所述转盘的底部中心处固定设有连接件，所述连接件的底部活动设有第一臂杆，所述第一臂杆的底部活动设有第二臂杆，所述第二臂杆的底部活动设有第三臂杆，所述第三臂杆的底端活动设有真空吸盘；
所述连接件的侧面、第一臂杆、第二臂杆以及第三臂杆的底端侧面均固定设有微型电机，且所述第一臂杆的顶端与连接件侧面的微型电机通过输出轴传动连接，所述第二臂杆的顶端与第一臂杆侧面的微型电机通过输出轴传动连接，所述第三臂杆的顶端与第二臂杆侧面的微型电机通过输出轴传动连接，所述真空吸盘的顶端与第三臂杆侧面的微型电机通过输出轴传动连接。
优选的，所述支撑架设置于顶架的底部两侧，且所述支撑架与顶架焊接，所述支撑架设置为四个。
优选的，所述螺杆的两端外侧均设有轴承，且所述螺杆与顶架通过轴承活动连接。
优选的，所述滑块嵌入设置在顶架中，且所述滑块与顶架滑动连接。
优选的，所述第二电机的外侧固定设有电机罩，且所述电机罩与滑块通过螺钉可拆卸连接。
优选的，所述第一臂杆与连接件通过转杆活动连接，所述第二臂杆与第一臂杆通过转杆活动连接，所述第三臂杆与第二臂杆通过转杆活动连接，所述真空吸盘与第三臂杆通过转杆活动连接。
优选的，所述真空吸盘的顶端固定设有连接头，且所述连接头与真空吸盘导通连接。
在上述技术方案中，本实用新型提供的技术效果和优点：
本实用新型通过第一电机驱动螺杆顺逆时针转动时，滑块带动真空吸盘左右移动，第二电机驱动转盘转动，可改变真空吸盘的前后朝向，微型电机运行使第一臂杆、第二臂杆以及第三臂杆展开或者收复，从而改变真空吸盘的拾取范围，与现有拾取范围小且容易损伤柔性芯片的拾取设备相比，该拾取设备拾取范围广，且采用真空吸附的方式拾取柔性芯片，有效地防止柔性芯片损坏，实用性好。
附图说明
为了更清除地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型中记载的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本实用新型的纵向剖视图。
图2为本实用新型的使用场景图。
图3为本实用新型图1的A部放大图。
图4为本实用新型转盘的局部结构示意图。
图5为本实用新型真空吸盘的局部结构示意图。
附图标记说明：
1、顶架；2、支撑架；3、螺杆；4、第一电机；5、滑块；6、第二电机；7、转盘；8、连接件；9、第一臂杆；10、第二臂杆；11、第三臂杆；12、真空吸盘；13、微型电机；14、连接头。
具体实施方式
现在将参考附图更全面地描述示例实施方式。然而，示例实施方式能够以多种形式实施，且不应被理解为限于在此阐述的范例；相反，提供这些示例实施方式使得本公开的描述将更加全面和完整，并将示例实施方式的构思全面地传达给本领域的技术人员。附图仅为本公开的示意性图解，并非一定是按比例绘制。图中相同的附图标记表示相同或类似的部分，因而将省略对它们的重复描述。
此外，所描述的特征、结构或特性可以以任何合适的方式结合在一个或更多示例实施方式中。在下面的描述中，提供许多具体细节从而给出对本公开的示例实施方式的充分理解。然而，本领域技术人员将意识到，可以实践本公开的技术方案而省略所述特定细节中的一个或更多，或者可以采用其它的方法、组元、步骤等。在其它情况下，不详细示出或描述公知结构、方法、实现或者操作以避免喧宾夺主而使得本公开的各方面变得模糊。
本实用新型提供了如图1-5所示的一种柔性芯片拾取设备，包括顶架1和支撑架2，所述顶架1的内部活动设有螺杆3，所述顶架1的一端固定设有第一电机4，且所述螺杆3与第一电机4通过输出轴传动连接，所述螺杆3的外侧设有滑块5，且所述滑块5与螺杆3螺纹连接；
所述滑块5的底部固定设有第二电机6，所述第二电机6的底部设有转盘7，且所述转盘7与第二电机6通过输出轴传动连接，所述转盘7的底部中心处固定设有连接件8，所述连接件8的底部活动设有第一臂杆9，所述第一臂杆9的底部活动设有第二臂杆10，所述第二臂杆10的底部活动设有第三臂杆11，所述第三臂杆11的底端活动设有真空吸盘12；
所述连接件8的侧面、第一臂杆9、第二臂杆10以及第三臂杆11的底端侧面均固定设有微型电机13，且所述第一臂杆9的顶端与连接件8侧面的微型电机13通过输出轴传动连接，所述第二臂杆10的顶端与第一臂杆9侧面的微型电机13通过输出轴传动连接，所述第三臂杆11的顶端与第二臂杆10侧面的微型电机13通过输出轴传动连接，所述真空吸盘12的顶端与第三臂杆11侧面的微型电机13通过输出轴传动连接；
进一步的，在上述技术方案中，所述支撑架2设置于顶架1的底部两侧，且所述支撑架2与顶架1焊接，所述支撑架2设置为四个；
进一步的，在上述技术方案中，所述螺杆3的两端外侧均设有轴承，且所述螺杆3与顶架1通过轴承活动连接，通过设置的轴承便于螺杆3的活动；
进一步的，在上述技术方案中，所述滑块5嵌入设置在顶架1中，且所述滑块5与顶架1滑动连接；
进一步的，在上述技术方案中，所述第二电机6的外侧固定设有电机罩，且所述电机罩与滑块5通过螺钉可拆卸连接，通过设置的电机罩有效地为第二电机6做防护处理；
进一步的，在上述技术方案中，所述第一臂杆9与连接件8通过转杆活动连接，所述第二臂杆10与第一臂杆9通过转杆活动连接，所述第三臂杆11与第二臂杆10通过转杆活动连接，所述真空吸盘12与第三臂杆11通过转杆活动连接，便于第一臂杆9、第二臂杆10、第三臂杆11以及真空吸盘12之间的活动；
进一步的，在上述技术方案中，所述真空吸盘12的顶端固定设有连接头14，且所述连接头14与真空吸盘12导通连接，通过设置的连接头14便于真空吸盘12与真空设备的导管固定连接，通过设置的第一电机4、第二电机6以及微型电机13均通过线缆与外部配电箱电性连接。
具体实施方式为：根据柔性芯片的位置，可对真空吸盘12的位置进行调节，第一电机4驱动螺杆3顺逆时针转动时，滑块5带动真空吸盘12左右移动，第二电机6驱动转盘7转动，可改变真空吸盘12的前后朝向，微型电机13运行使第一臂杆9、第二臂杆10以及第三臂杆11展开或者收复，从而改变真空吸盘12的拾取范围，调节真空吸盘12移动至柔性芯片顶部后，控制真空设备运行，真空设备对真空吸盘12做吸气处理，真空吸盘12吸取柔性芯片，该拾取设备拾取范围广，且采用真空吸附的方式拾取柔性芯片，有效地防止柔性芯片损坏，实用性好。
以上只通过说明的方式描述了本实用新型的某些示范性实施例，毋庸置疑，对于本领域的普通技术人员，在不偏离本实用新型的精神和范围的情况下，可以用各种不同的方式对所描述的实施例进行修正。因此，上述附图和描述在本质上是说明性的，不应理解为对本实用新型权利要求保护范围的限制。
Claims (7)
1.一种柔性芯片拾取设备，包括顶架(1)和支撑架(2)，其特征在于：所述顶架(1)的内部活动设有螺杆(3)，所述顶架(1)的一端固定设有第一电机(4)，且所述螺杆(3)与第一电机(4)通过输出轴传动连接，所述螺杆(3)的外侧设有滑块(5)，且所述滑块(5)与螺杆(3)螺纹连接；
所述滑块(5)的底部固定设有第二电机(6)，所述第二电机(6)的底部设有转盘(7)，且所述转盘(7)与第二电机(6)通过输出轴传动连接，所述转盘(7)的底部中心处固定设有连接件(8)，所述连接件(8)的底部活动设有第一臂杆(9)，所述第一臂杆(9)的底部活动设有第二臂杆(10)，所述第二臂杆(10)的底部活动设有第三臂杆(11)，所述第三臂杆(11)的底端活动设有真空吸盘(12)；
所述连接件(8)的侧面、第一臂杆(9)、第二臂杆(10)以及第三臂杆(11)的底端侧面均固定设有微型电机(13)，且所述第一臂杆(9)的顶端与连接件(8)侧面的微型电机(13)通过输出轴传动连接，所述第二臂杆(10)的顶端与第一臂杆(9)侧面的微型电机(13)通过输出轴传动连接，所述第三臂杆(11)的顶端与第二臂杆(10)侧面的微型电机(13)通过输出轴传动连接，所述真空吸盘(12)的顶端与第三臂杆(11)侧面的微型电机(13)通过输出轴传动连接。
2.根据权利要求1所述的一种柔性芯片拾取设备，其特征在于：所述支撑架(2)设置于顶架(1)的底部两侧，且所述支撑架(2)与顶架(1)焊接，所述支撑架(2)设置为四个。
3.根据权利要求1所述的一种柔性芯片拾取设备，其特征在于：所述螺杆(3)的两端外侧均设有轴承，且所述螺杆(3)与顶架(1)通过轴承活动连接。
4.根据权利要求1所述的一种柔性芯片拾取设备，其特征在于：所述滑块(5)嵌入设置在顶架(1)中，且所述滑块(5)与顶架(1)滑动连接。
5.根据权利要求1所述的一种柔性芯片拾取设备，其特征在于：所述第二电机(6)的外侧固定设有电机罩，且所述电机罩与滑块(5)通过螺钉可拆卸连接。
6.根据权利要求1所述的一种柔性芯片拾取设备，其特征在于：所述第一臂杆(9)与连接件(8)通过转杆活动连接，所述第二臂杆(10)与第一臂杆(9)通过转杆活动连接，所述第三臂杆(11)与第二臂杆(10)通过转杆活动连接，所述真空吸盘(12)与第三臂杆(11)通过转杆活动连接。
7.根据权利要求1所述的一种柔性芯片拾取设备，其特征在于：所述真空吸盘(12)的顶端固定设有连接头(14)，且所述连接头(14)与真空吸盘(12)导通连接。
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