CN213316350U - 一种圆形金属靶材除杂装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种圆形金属靶材除杂装置，包括第一外壳、粗杆和第二外壳，所述横杆的右侧固接有厚板，所述横杆的正面通过销轴转动相连有弧形板，所述弧形板的顶部通过销轴转动相连有窄板，所述窄板的后端面销轴固接有第一齿轮，所述第一齿轮的后端面通过销轴与第二外壳的内壁后端面转动相连，所述第一齿轮的左侧啮合相连有第二齿轮，所述第二齿轮的后端面与第一电机的输出端固定连接，所述第一电机的左侧通过支架与第二外壳的内壁左侧固定连接。该装置通过滑杆、滑套和横杆之间的配合，第一电机间接带动横杆运动，横杆运动时间接带动厚板将靶材固定，解决了靶材活动的问题，满足现代人们的工作需求，提高了实用性。

Description

一种圆形金属靶材除杂装置

技术领域

本实用新型涉及圆形金属靶材除杂装置技术领域，具体为一种圆形金属靶材除杂装置。

背景技术

镀膜靶材是通过磁控溅射、多弧离子镀或其他类型的镀膜系统在适当工艺条件下溅射在基板上形成各种功能薄膜的溅射源。简单说的话，靶材就是高速荷能粒子轰击的目标材料，用于高能激光武器中，不同功率密度、不同输出波形、不同波长的激光与不同的靶材相互作用时，在使用之前需要对靶材进行除杂以免影响后续使用。

但是现有装置在进行工作时不能将靶材进行固定，会导致靶材活动，无法满足现代人们的工作需求，降低了实用性，并且现有装置无法进行多个位置的清洗需要频繁的更换靶材的位置，降低了工作效率，增加了拉动力。

发明内容

本实用新型的目的在于提供一种圆形金属靶材除杂装置，以解决上述背景技术中提出的不能将靶材进行固定，会导致靶材活动，无法满足现代人们的工作需求，降低了实用性的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种圆形金属靶材除杂装置，包括第一外壳、粗杆和第二外壳，所述第一外壳的左右两侧下方均通过轴承转动相连有两个粗杆，两个所述粗杆的内侧均固接有第二外壳，其特征在于：两个所述第二外壳的内部均设有夹持装置；

所述夹持装置包括滑杆、滑套、横杆、竖杆、厚板、弧形板、窄板、第一齿轮、第二齿轮、第一电机和支架；

所述滑杆的底部与左侧第二外壳的内壁底部左侧固定连接，所述滑杆的外壁滑动卡接有滑套，所述滑套的右侧固接有横杆，所述横杆的右侧内壁滑动卡接有竖杆，所述竖杆的底部与第二外壳的内壁底部右侧固定连接，所述横杆的右侧固接有厚板，所述横杆的正面通过销轴转动相连有弧形板，所述弧形板的顶部通过销轴转动相连有窄板，所述窄板的后端面销轴固接有第一齿轮，所述第一齿轮的后端面通过销轴与第二外壳的内壁后端面转动相连，所述第一齿轮的左侧啮合相连有第二齿轮，所述第二齿轮的后端面与第一电机的输出端固定连接，所述第一电机的左侧通过支架与第二外壳的内壁左侧固定连接。

优选的，所述滑杆和滑套构成滑动限位机构。

优选的，两个所述弧形板关于第一齿轮呈中心对称。

优选的，所述第一外壳的顶部左右两侧均设有喷洒装置；

所述喷洒装置包括水箱、斜管和水泵；

两个所述水箱的底部分别与第一外壳的顶部左右两侧固定连接，两个所述水箱的内侧均连通有斜管，两个所述斜管的内侧与第一外壳的顶部左右两侧相连通，两个所述斜管的内端均固接有水泵。

优选的，两个所述水箱的顶部均安装有橡胶塞。

优选的，所述第一外壳的内部上方设有清理装置；

所述清理装置包括第二电机、丝杆、套筒、毛刷和滑块；

所述第二电机的左侧与第一外壳的内壁左侧顶部固定连接，所述第二电机的输出端固接有丝杆，所述丝杆的外壁滑动卡接有套筒，所述套筒的底部固接有毛刷，所述套筒的顶部固接有滑块，所述滑块的外壁与第一外壳的内壁顶部左侧凹槽滑动卡接。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：该圆形金属靶材除杂装置，相对比于传统技术，具有以下优点：

通过滑杆、滑套和横杆之间的配合，第一电机间接带动横杆运动，横杆运动时间接带动厚板将靶材固定，解决了靶材活动的问题，满足现代人们的工作需求，提高了实用性。

通过丝杆、滑块和第二电机之间的配合，第二电机带动丝杆转动间接带动套筒运动，进而带动毛刷左右运动，同时左侧的粗杆可连接动力源带动靶材转动，解决了无法对多个位置进行清理的问题，不需要频繁的更换靶材的位置，提高了工作效率，降低了劳动力。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图。

图2为图1中滑杆、滑套和横杆的连接关系结构示意图。

图3为图1中弧形板、横杆和第二齿轮的连接关系结构示意图。

图4为图1中丝杆、滑块和第二电机的连接关系结构示意图。

图中：1、第一外壳，2、粗杆，3、第二外壳，4、夹持装置，401、滑杆，402、滑套，403、横杆，404、竖杆，405、厚板，406、弧形板，407、窄板，408、第一齿轮，409、第二齿轮，410、第一电机，411、支架，5、喷洒装置，501、水箱，502、斜管，503、水泵，6、清理装置，601、第二电机，602、丝杆，603、套筒，604、毛刷，605、滑块。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-4，本实用新型提供一种技术方案：一种圆形金属靶材除杂装置，包括第一外壳1、粗杆2和第二外壳3，第一外壳1的左右两侧下方均通过轴承转动相连有两个粗杆2，粗杆2可通过轴承转动，两个粗杆2的内侧均固接有第二外壳3，两个第二外壳3的内部均设有夹持装置4，夹持装置4包括滑杆401、滑套402、横杆403、竖杆404、厚板405、弧形板406、窄板407、第一齿轮408、第二齿轮409、第一电机410和支架411，滑杆401的底部与左侧第二外壳3的内壁底部左侧固定连接，滑杆401的外壁滑动卡接有滑套402，滑套402可在滑杆401的外壁运动，滑套402的右侧固接有横杆403，横杆403的右侧内壁滑动卡接有竖杆404，横杆403可在竖杆404的外壁运动，竖杆404的底部与第二外壳3的内壁底部右侧固定连接，横杆403的右侧固接有厚板405，横杆403的正面通过销轴转动相连有弧形板406，弧形板406可通过销轴转动，弧形板406的顶部通过销轴转动相连有窄板407，窄板407的后端面销轴固接有第一齿轮408，第一齿轮408的后端面通过销轴与第二外壳3的内壁后端面转动相连，第一齿轮408的左侧啮合相连有第二齿轮409，第一齿轮408转动时可带动第二齿轮409转动，第二齿轮409的后端面与第一电机410的输出端固定连接，第一电机410的型号为SM80-D601930，第一电机410的左侧通过支架411与第二外壳3的内壁左侧固定连接，滑杆401和滑套402构成滑动限位机构，使横杆403运动更加稳定，两个弧形板406关于第一齿轮408呈中心对称，使两侧位置相同，防止运动时发生侧偏；

第一外壳1的顶部左右两侧均设有喷洒装置5，喷洒装置5包括水箱501、斜管502和水泵503，两个水箱501的底部分别与第一外壳1的顶部左右两侧固定连接，两个水箱501的内侧均连通有斜管502，两个斜管502的内侧与第一外壳1的顶部左右两侧相连通，两个斜管502的内端均固接有水泵503，两个水箱501的顶部均安装有橡胶塞，可方便向其中加入清洗液，第一外壳1的内部上方设有清理装置6，清理装置6包括第二电机601、丝杆602、套筒603、毛刷604和滑块605，第二电机601的左侧与第一外壳1的内壁左侧顶部固定连接，第二电机601的输出端固接有丝杆602，第二电机601的型号为SM80-D601930，丝杆602的外壁滑动卡接有套筒603，套筒603的内壁有与丝杆602外壁凹槽相卡接的圆块，套筒603可在丝杆602的外壁运动，套筒603的底部固接有毛刷604，套筒603的顶部固接有滑块605，滑块605的外壁与第一外壳1的内壁顶部左侧凹槽滑动卡接，滑块605可在第一外壳1的内壁顶部左侧凹槽内运动。

在使用该圆形金属靶材除杂装置时，首先将靶材放置在预夹位置，此时第一电机410接通外部电源，第一电机410开始工作，第一电机410带动第二齿轮409转动，第二齿轮409通过啮合带动第一齿轮408转动，进而带动窄板407转动，窄板407带动弧形板406运动，弧形板406运动时带动横杆403运动，进而带动厚板405将靶材进行固定，固定之后，左侧粗杆2外接动力源，粗杆2间接带动靶材转动，同时第二电机601接通外部电源，第二电机601开始工作，第二电机601带动丝杆602转动，丝杆602转动时带动套筒603运动，套筒603运动时带动下方的毛刷604运动，此时水泵503接通外部电源，水泵503开始工作，水泵503将水箱501内的清洗液喷洒到靶材上，靶材转动时毛刷604左右移动对其进行除杂。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“同轴”、“底部”、“一端” 、 “顶部”、“中部”、“另一端”、“上”、“一侧”、“顶部”、“内”、“前部”、“中央”、“两端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

在本实用新型中， 除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“设置”、 “连接”、“固定”、“旋接”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定，对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (6)

1.一种圆形金属靶材除杂装置，包括第一外壳（1）、粗杆（2）和第二外壳（3），所述第一外壳（1）的左右两侧下方均通过轴承转动相连有两个粗杆（2），两个所述粗杆（2）的内侧均固接有第二外壳（3），其特征在于：两个所述第二外壳（3）的内部均设有夹持装置（4）；

所述夹持装置（4）包括滑杆（401）、滑套（402）、横杆（403）、竖杆（404）、厚板（405）、弧形板（406）、窄板（407）、第一齿轮（408）、第二齿轮（409）、第一电机（410）和支架（411）；

所述滑杆（401）的底部与左侧第二外壳（3）的内壁底部左侧固定连接，所述滑杆（401）的外壁滑动卡接有滑套（402），所述滑套（402）的右侧固接有横杆（403），所述横杆（403）的右侧内壁滑动卡接有竖杆（404），所述竖杆（404）的底部与第二外壳（3）的内壁底部右侧固定连接，所述横杆（403）的右侧固接有厚板（405），所述横杆（403）的正面通过销轴转动相连有弧形板（406），所述弧形板（406）的顶部通过销轴转动相连有窄板（407），所述窄板（407）的后端面销轴固接有第一齿轮（408），所述第一齿轮（408）的后端面通过销轴与第二外壳（3）的内壁后端面转动相连，所述第一齿轮（408）的左侧啮合相连有第二齿轮（409），所述第二齿轮（409）的后端面与第一电机（410）的输出端固定连接，所述第一电机（410）的左侧通过支架（411）与第二外壳（3）的内壁左侧固定连接。

2.根据权利要求1所述的一种圆形金属靶材除杂装置，其特征在于：所述滑杆（401）和滑套（402）构成滑动限位机构。

3.根据权利要求1所述的一种圆形金属靶材除杂装置，其特征在于：两个所述弧形板（406）关于第一齿轮（408）呈中心对称。

4.根据权利要求1所述的一种圆形金属靶材除杂装置，其特征在于：所述第一外壳（1）的顶部左右两侧均设有喷洒装置（5）；

所述喷洒装置（5）包括水箱（501）、斜管（502）和水泵（503）；

两个所述水箱（501）的底部分别与第一外壳（1）的顶部左右两侧固定连接，两个所述水箱（501）的内侧均连通有斜管（502），两个所述斜管（502）的内侧与第一外壳（1）的顶部左右两侧相连通，两个所述斜管（502）的内端均固接有水泵（503）。

5.根据权利要求4所述的一种圆形金属靶材除杂装置，其特征在于：两个所述水箱（501）的顶部均安装有橡胶塞。

6.根据权利要求1所述的一种圆形金属靶材除杂装置，其特征在于：所述第一外壳（1）的内部上方设有清理装置（6）；

所述清理装置（6）包括第二电机（601）、丝杆（602）、套筒（603）、毛刷（604）和滑块（605）；

所述第二电机（601）的左侧与第一外壳（1）的内壁左侧顶部固定连接，所述第二电机（601）的输出端固接有丝杆（602），所述丝杆（602）的外壁滑动卡接有套筒（603），所述套筒（603）的底部固接有毛刷（604），所述套筒（603）的顶部固接有滑块（605），所述滑块（605）的外壁与第一外壳（1）的内壁顶部左侧凹槽滑动卡接。

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