CN213086092U - 一种适用于卧式镀膜线的离线式圆柱靶检修更换机构 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及检修维护镀膜线设备的技术领域，尤其涉及一种适用于卧式镀膜线的离线式圆柱靶检修更换机构。包括维修架底架，所述维修架底架上设有翻转架框架，所述翻转架框架上设有定位并固定带有圆柱靶的靶门的定位结构，所述翻转架框架两端设有用于转动翻转架框架并带动靶门一起翻转的翻转组件，把一体式的圆柱靶与靶门定位固定在翻转架框架上，对靶门其中一面检修后，再通过人工转动手轮使翻转架翻转进而实现放置于翻转架上靶门的翻转，不仅可以处理靶电机和流量计，也可以翻转后处理靶材维护、检查、排水、阴极等问题，大大降低工作难度和工作强度，提高工作效率以及工作质量。

Description

一种适用于卧式镀膜线的离线式圆柱靶检修更换机构

【技术领域】

本实用新型涉及检修维护镀膜线设备的技术领域，尤其涉及一种适用于卧式镀膜线的离线式圆柱靶检修更换机构。

【背景技术】

卧式真空镀膜线圆柱靶门一般都集成了：靶结构连同旋转阴极、 MFC、靶电机、冷却水分水器、靶电机控制和信号线，流量计控制信号线、光电信号线。

镀膜线包括立式包括倾斜连续镀膜线和卧式镀膜线，但是卧式镀膜线的靶材更换以及维护检查工作相对复杂，而且随着工件尺寸越来越大，这也直接导致镀膜腔体，镀膜阴极等尺寸都随着增加。其一般采用液压翻转的方式，需要很大的操作区域，并且严重干扰其他设备设计和摆放的位置。在线检修的工作强度及工作难度较大，影响工作效率，降低工作质量，且容易磕碰损坏靶门。

【实用新型内容】

本实用新型所要解决的是卧式镀膜线的大尺寸靶材更换以及维护检查工作操作区域不足且在线检修的工作强度和工作难度较大的技术问题。

本实用新型解决上述技术问题采用的技术方案是：

一种适用于卧式镀膜线的离线式圆柱靶检修更换机构，包括维修架底架，所述维修架底架上设有翻转架框架，所述翻转架框架上设有定位并固定带有圆柱靶的靶门的定位结构，所述翻转架框架两端设有用于转动翻转架框架并带动靶门一起翻转的翻转组件。

如上所述一种适用于卧式镀膜线的离线式圆柱靶检修更换机构，所述翻转组件包括对称设于翻转架框架两端带动翻转架框架翻转的第一轮轴和第二轮轴，所述第一轮轴和第二轮轴上分别设有转动第一轮轴和第二轮轴的第一手轮和第二手轮，所述第一轮轴与第二轮轴上分别套设有第一轴承和第二轴承。

如上所述一种适用于卧式镀膜线的离线式圆柱靶检修更换机构，所述维修架底架上设有对称的第一安装横梁和第二安装横梁，所述第一轴承与第二轴承分别利用第一轴承安装件和第二轴承安装件使翻转组件可转动的安装在维修架底架的第一安装横梁和第二安装横梁上，所述第一安装横梁和第二安装横梁上分别设有第一限位件和第二限位件，所述翻转架框架两端还设有分别与第一限位件与第二限位件对应的用于固定翻转架框架使翻转架框架保持水平的第一限位销与第二限位销。

如上所述一种适用于卧式镀膜线的离线式圆柱靶检修更换机构，所述定位结构包括设于所述翻转架框架上两对角处用于方便靶门精确放置在翻转架框架上的第一导向销和第二导向销，所述定位结构还包括设于翻转架框架上与靶门螺丝孔位置相对应的翻转架框架螺丝孔。

如上所述一种适用于卧式镀膜线的离线式圆柱靶检修更换机构，所述翻转架框架上设有若干用于保护靶门密封面的橡胶垫板。

如上所述一种适用于卧式镀膜线的离线式圆柱靶检修更换机构，所述维修架底架下方设有底部框架，所述底部框架包括维修架安装部以及设于维修架安装部两侧的脚踏板安装部，所述脚踏板安装部上安装有脚踏板。

如上所述一种适用于卧式镀膜线的离线式圆柱靶检修更换机构，所述维修架底架前方设有便于检修员进行检修操作的延长行走框架组件，所述延长行走框架组件包括两大小一样的架台，两所述架台分别与设于维修架安装部两则的脚踏板安装部连接，且两所述架台高度与脚踏板高度一致，两所述架台之间设有架台横梁，所述架台横梁距离地面的高度小于所述架台的高度，所述架台横梁上设有横向踏板。

如上所述一种适用于卧式镀膜线的离线式圆柱靶检修更换机构，所述脚踏板与横向踏板均设有花纹。

如上所述一种适用于卧式镀膜线的离线式圆柱靶检修更换机构，所述底部框架、维修架底架、延长行走框架组件以及翻转架框架均由型材方通焊接组成。

如上所述适用于卧式镀膜线的离线式圆柱靶检修更换机构，所述翻转架框架两垂直型材方通间设有加强筋。

与现有技术相比，本实用新型有如下优点：

1、本实用新型中把一体式的圆柱靶与靶门定位固定在翻转架框架上，对限位导向后的靶门其中一面进行检修，再通过人工转动手轮使翻转架翻转进而实现放置于翻转架框架上靶门的翻转，不仅可以处理靶电机和流量计的问题，同时可以通过翻转后处理靶门维护、检查、排水、阴极检修等问题，而且靶门在翻转架上以重心为轴线翻转，省力可靠，大大降低工作难度和工作强度，提高工作效率以及工作质量。

2、本实用新型在维修架底架两侧设置有脚踏板安装部、在维修架前方设置有延长行走框架组件以及安装在脚踏板安装部和延长行走框架组件上的脚踏板，检修人员可在行走框架的脚踏板上进行对靶门的检测维修，增加了操作空间，方便检修人员的检修操作，提高工作效率，降低工作难度，同时降低靶门的磕碰损坏几率。

3、本实用新型在有与靶门接触面接触的型材方通上均设有橡胶垫板，避免破坏靶门密封面。

【附图说明】

为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍。

图1为本实用新型的立体图；

图2为翻转组件的结构示意图；

图3为维修架底架的结构示意图；

图4为底部框架的结构示意图；

图5为延长行走框架组件的结构示意图；

图6为本实用新型与靶门组合后的立体图；

图7为圆柱靶及靶门组合的立体图；

图8为图6中a的局部放大图。

【具体实施方式】

为了使本实用新型所解决的技术问题、技术方案及有益效果更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。

当本实用新型实施例提及“第一”、“第二”等序数词时，除非根据上下文其确实表达顺序之意，应当理解为仅仅是起区分之用。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

如图1-8所示，一种适用于卧式镀膜线的离线式圆柱靶检修更换机构，包括维修架底架2，所述维修架底架2上设有翻转架框架5，所述翻转架框架5上设有定位并固定带有圆柱靶34的靶门32的定位结构31，所述翻转架框架5两端设有用于转动翻转架框架5并带动靶门32一起翻转的翻转组件3。维护时用行车把靶门吊起放置于翻转架框架5上，通过翻转架框架5带动靶门进行翻转，可全面的对靶门进行检修，便于人员检修。

具体的，所述翻转组件3包括对称设于翻转架框架5两端带动翻转架框架5翻转的第一轮轴6和第二轮轴7，所述第一轮轴6和第二轮轴7上分别设有转动第一轮轴6和第二轮轴7的第一手轮8和第二手轮9，所述第一轮轴6与第二轮轴7上分别套设有第一轴承12和第二轴承13。所述第一轴承12与第二轴承13均为带立式座轴承，靶门置于翻转架框架5上，人工转动手轮，手轮通过轮轴及轴承平稳准确的翻转翻转架框架5实现靶门的平稳翻面。

进一步地，所述维修架底架2上设有对称的第一安装横梁16和第二安装横梁17，所述第一轴承12与第二轴承13分别利用第一轴承安装件14和第二轴承安装件15使翻转组件3可转动的安装在维修架底架2的第一安装横梁16和第二安装横梁17上，所述第一安装横梁16和第二安装横梁17上分别设有第一限位件18和第二限位件19，所述翻转架框架5两端还设有分别与第一限位件18与第二限位件19 对应的用于固定翻转架框架5使翻转架框架5保持水平的第一限位销 20与第二限位销21。当需要对靶门其中一个面检修时，第一限位销20和第二限位销21分别与第一限位件18和第二限位件19配合，固定翻转架框架5，避免翻转架框架5在检修过程中发生转动影响检修。

再进一步地，所述定位结构31包括设于所述翻转架框架5上两对角处用于方便靶门精确放置在翻转架框架5上的第一导向销22和第二导向销23，所述定位结构31还包括设于翻转架框架5上与靶门螺丝孔33位置相对应的翻转架框架螺丝孔11。靶门上的导向销孔与翻转架框架上的导向销配合，起到导向作用，使靶门准确稳定的放置在翻转架框架5上，再使用螺纹连接固定各位置对应的靶门螺丝孔 33和翻转架框架螺丝孔11，方便检修，使检修更准确

更具体地，所述翻转架框架5上设有若干用于保护靶门密封面的橡胶垫板10。在翻转架框架5上设有橡胶垫板10能很好的保护靶门基础面，防止密封面被破坏。

再进一步地，所述维修架底架2下方设有底部框架1，所述底部框架1包括维修架安装部24以及设于维修架安装部24两侧的脚踏板安装部25，所述脚踏板安装部25上安装有脚踏板26。在维修架两侧设有脚踏板26，使检修工人可在脚踏板26进行检修操作，增大了操作空间，便于人员检修。

另外，所述维修架底架2前方设有便于检修员进行检修操作的延长行走框架组件4，所述延长行走框架组件4包括两大小一样的架台27，两所述架台27分别与设于维修架安装部24两侧的脚踏板安装部25连接，且两所述架台27高度与脚踏板26高度一致，两所述架台27之间设有架台横梁29，所述架台横梁29距离地面的高度小于所述架台27的高度。检修人员无需借用其它东西便可由横向踏板 28上去架台27，架台27还连接维修架两侧的脚踏板26，检修人员可在维修架周侧的脚踏板上行走操作，便于操作。

进一步地，所述脚踏板26与横向踏板28均设有花纹。设有花纹增大摩擦力，防止检修人员在检修过程中脚底发生打滑而造成人身安全。

再进一步地，所述底部框架1、维修架底架2、延长行走框架组件4以及翻转架框架5均由型材方通焊接组成，可实现在保证功能和构架强度的基础上轻量化，节省材料。

最后，所述翻转架框架5两垂直型材方通间均设有加强筋30。加强翻转架框架5的强度和刚性，防止翻转架框架5发生变形或断裂。

本实用新型在对靶门检修维护时，先使用行车把靶门吊起脱落于真空室，转运到本实用新型检修机构上方，对准导向销以及翻转架框架上的螺纹孔，准确落座后通过螺纹连接翻转架框架螺丝孔与靶门螺丝孔，再利用限位销把翻转架固定，工人在维修架周侧的行走架上对靶门进行检修，检修完一面后取下限位销，采用人工转动手轮，实现靶门的翻转，靶门翻转后再由限位销固定，再对靶门另一面进行检修及靶材的更换。

本实用新型对限位导向后的靶门其中一面进行检修，再通过人工转动手轮使翻转架翻转进而实现放置于翻转架上靶门的翻转，不仅可以处理靶电机和流量计的问题，同时可以通过翻转后处理靶门维护、检查、排水、阴极检修等问题，而且靶门在翻转架上以重心为轴线翻转，省力可靠，大大降低工作难度和工作强度，提高工作效率以及工作质量。在维修架周围设置有行走框架以及安装在行走框架上的脚踏板，检修人员可在行走框架的脚踏板上进行对靶门的检测维修，增加了操作空间，方便检修人员的检修操作，提高工作效率，降低工作难度，同时降低靶门的磕碰损坏几率。

如上所述是结合具体内容提供的一种实施方式，并不认定本实用新型的具体实施只局限于这些说明。凡与本实用新型的方法、结构等近似、雷同，或是对于本实用新型构思前提下做出若干技术推演或替换，都应当视为本实用新型的保护范围。

Claims (10)

1.一种适用于卧式镀膜线的离线式圆柱靶检修更换机构，其特征在于：包括维修架底架(2)，所述维修架底架(2)上设有翻转架框架(5)，所述翻转架框架(5)上设有定位并固定带有圆柱靶(34)的靶门(32)的定位结构(31)，所述翻转架框架(5)两端设有用于转动翻转架框架(5)并带动靶门(32)一起翻转的翻转组件(3)。

2.根据权利要求1所述的一种适用于卧式镀膜线的离线式圆柱靶检修更换机构，其特征在于：所述翻转组件(3)包括对称设于翻转架框架(5)两端带动翻转架框架(5)翻转的第一轮轴(6)和第二轮轴(7)，所述第一轮轴(6)和第二轮轴(7)上分别设有转动第一轮轴(6)和第二轮轴(7)的第一手轮(8)和第二手轮(9)，所述第一轮轴(6)与第二轮轴(7)上分别套设有第一轴承(12)和第二轴承(13)。

3.根据权利要求2所述的一种适用于卧式镀膜线的离线式圆柱靶检修更换机构，其特征在于：所述维修架底架(2)上设有对称的第一安装横梁(16)和第二安装横梁(17)，所述第一轴承(12)与第二轴承(13)分别利用第一轴承安装件(14)和第二轴承安装件(15)使翻转组件(3)可转动的安装在维修架底架(2)的第一安装横梁(16)和第二安装横梁(17)上，所述第一安装横梁(16)和第二安装横梁(17)上分别设有第一限位件(18)和第二限位件(19)，所述翻转架框架(5)两端还设有分别与第一限位件(18)与第二限位件(19)对应的用于固定翻转架框架(5)使翻转架框架(5)保持水平的第一限位销(20)与第二限位销(21)。

4.根据权利要求3所述的一种适用于卧式镀膜线的离线式圆柱靶检修更换机构，其特征在于：所述定位结构(31)包括设于所述翻转架框架(5)上两对角处用于方便靶门精确放置在翻转架框架(5)上的第一导向销(22)和第二导向销(23)，所述定位结构(31)还包括设于翻转架框架(5)上与靶门螺丝孔(33)位置相对应的翻转架框架螺丝孔(11)。

5.根据权利要求4所述的一种适用于卧式镀膜线的离线式圆柱靶检修更换机构，其特征在于：所述翻转架框架(5)上设有若干用于保护靶门密封面的橡胶垫板(10)。

6.根据权利要求5所述的一种适用于卧式镀膜线的离线式圆柱靶检修更换机构，其特征在于：所述维修架底架(2)下方设有底部框架(1)，所述底部框架(1)包括维修架安装部(24)以及设于维修架安装部(24)两侧的脚踏板安装部(25)，所述脚踏板安装部(25)上安装有脚踏板(26)。

7.根据权利要求6所述的一种适用于卧式镀膜线的离线式圆柱靶检修更换机构，其特征在于：所述维修架底架(2)前方设有便于检修员进行检修操作的延长行走框架组件(4)，所述延长行走框架组件(4)包括两大小一样的架台(27)，两所述架台(27)分别与设于维修架安装部(24)两侧的脚踏板安装部(25)连接，且两所述架台(27)高度与脚踏板(26)高度一致，两所述架台(27)之间设有架台横梁(29)，所述架台横梁(29)距离地面的高度小于所述架台(27) 的高度，所述架台横梁(29)上设有横向踏板(28)。

8.根据权利要求7所述的一种适用于卧式镀膜线的离线式圆柱靶检修更换机构，其特征在于：所述脚踏板(26)与横向踏板(28)均设有花纹。

9.根据权利要求8所述的一种适用于卧式镀膜线的离线式圆柱靶检修更换机构，其特征在于：所述底部框架(1)、维修架底架(2)、延长行走框架组件(4)以及翻转架框架(5)均由型材方通焊接组成。

10.根据权利要求9所述的一种适用于卧式镀膜线的离线式圆柱靶检修更换机构，其特征在于：所述翻转架框架(5)两垂直型材方通间设有加强筋(30)。

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