CN213086091U - 预热装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及显示器件制造技术领域，具体涉及一种预热装置。预热装置包括：箱体(10)，具有开口；箱门(20)，可开合地设置在开口处；支撑件(30)，设置在箱体(10)内并用于支撑坩埚；真空泵(40)，与箱体(10)连接；加热件，设置在箱体(10)上，以对坩埚内的有机材料进行预热。本实用新型的技术方案通过单独设置预热装置对有机材料进行预热处理，可以使粉末有机材料内部的气体逸出，预热处理时气体释放造成的有机材料喷料和蒸发的有机材料不再影响蒸镀膜厚。

Description

预热装置

技术领域

本实用新型涉及显示器件制造技术领域，具体涉及一种预热装置。

背景技术

目前，在PMOLED显示行业中，面板发光层的制备通常是通过在玻璃基板上蒸镀有机材料完成，其主要过程为：将粉末状的有机材料加入坩埚-坩埚加入设备-有机材料预热处理-有机材料通过电阻丝加热蒸发到基板。

有机材料加入坩埚过程是通过生产线体作业人员手动添加，因有机材料为粉末状态，材料加入坩埚后粉末颗粒之间存在间隙，间隙里为空气，加料人员手动夯实可排出一部分气体，但无法将气体完全排出，这部分未排出的气体在蒸镀过程中会造成材料喷料，污染设备，也会造成蒸镀速率不稳定。通常坩埚内的有机材料需要在蒸镀设备内进行预先加热处理后才能进行PMOLED发光层蒸镀，预热处理可以将有机材料中的气体排出。

现有技术中，OLED电源蒸镀设备结构通常是一个坩埚的有机材料在蒸发的同时相邻坩埚内的有机材料在进行预加热处理，在预加热过程中因气体释放造成有机材料喷料，且在预加热过程中部分熔融态有机材料会蒸发出一部分，进而影响正在蒸镀的有机材料的膜厚准确性。

实用新型内容

本实用新型的主要目的在于提供一种预热装置，以解决现有技术中蒸镀设备内进行预先加热处理时因气体释放造成有机材料喷料及部分熔融态有机材料会蒸发出一部分影响正在蒸镀的有机材料的膜厚准确性的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供了一种预热装置，包括：箱体，具有开口；箱门，可开合地设置在开口处；支撑件，设置在箱体内并用于支撑坩埚；真空泵，与箱体连接；加热件，设置在箱体上，以对坩埚内的有机材料进行预热。

进一步地，支撑件为支撑板，支撑板上设有供坩埚的本体通过的通孔。

进一步地，通孔设有多个，多个通孔呈一行或一列或矩阵排布。

进一步地，箱门上设有充气阀门，以对箱体进行充气。

进一步地，加热件设有两个且分别为上加热件和下加热件，上加热件设置在箱体的外顶壁上，下加热件设置在箱体的外底壁上。

进一步地，上加热件和下加热件均包括固定盒和固定在固定盒内的电阻丝。

进一步地，坩埚上盖有坩埚盖，坩埚盖上设有多个排气孔。

进一步地，预热装置还包括连接管道，真空泵通过连接管道与箱体连接。

进一步地，连接管道连接在箱体的与箱门相对的侧壁上，侧壁上设有空气孔。

进一步地，真空泵为罗茨泵。

本实用新型技术方案，具有如下优点：打开箱门，将装有有机材料的坩埚放置在支撑部件上，关闭箱门，通过真空泵对箱体和箱门围成的腔体进行抽真空，同时通过加热件对坩埚内的有机材料进行加热，预热后打开箱门，取出坩埚后放入蒸镀设备内进行蒸镀。通过单独设置预热装置对有机材料进行预热处理，可以使粉末有机材料内部的气体逸出，预热处理时气体释放造成的有机材料喷料和蒸发的有机材料不再影响蒸镀膜厚，保证蒸镀膜厚的准确性，有效地解决了现有技术中蒸镀设备内进行预先加热处理时因气体释放造成有机材料喷料及部分熔融态有机材料会蒸发出一部分影响正在蒸镀的有机材料的膜厚准确性的问题。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1示出了本实用新型提供的预热装置的简易示意图。

附图标记说明：

10、箱体；20、箱门；30、支撑件；31、通孔；40、真空泵；51、上加热件；52、下加热件；60、连接管道；70、坩埚盖。

具体实施方式

下面将结合附图对本实用新型的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

此外，下面所描述的本实用新型不同实施方式中所涉及的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互结合。

如图1所示，本实施例的预热装置包括：箱体10、箱门20、支撑件30、真空泵40及加热件，箱体10具有开口；箱门20可开合地设置在开口处；支撑件30设置在箱体10内并用于支撑坩埚；真空泵40与箱体10连接；加热件设置在箱体10上，以对坩埚内的有机材料进行预热。

应用本实施例的预热装置，打开箱门20，将装有有机材料的坩埚放置在支撑件30上，关闭箱门20，通过真空泵40对箱体10和箱门20围成的腔体进行抽真空，同时通过加热件对坩埚内的有机材料进行加热，预热后打开箱门20，取出坩埚后放入蒸镀设备内进行蒸镀。通过单独设置预热装置对有机材料进行预热处理，可以使粉末有机材料内部的气体逸出，预热处理时气体释放造成的有机材料喷料和蒸发的有机材料不再影响蒸镀膜厚，保证蒸镀膜厚的准确性，有效地解决了现有技术中蒸镀设备内进行预先加热处理时因气体释放造成有机材料喷料及部分熔融态有机材料会蒸发出一部分影响正在蒸镀的有机材料的膜厚准确性的问题。

在本实施例中，支撑件30为支撑板，支撑板上设有供坩埚的本体通过的通孔31，坩埚的翻边支撑在支撑板上。支撑板的结构简单，加工方便，降低成本。当然，支撑件30也可以为支架等结构，并不局限于此。

在本实施例中，通孔31设有多个，多个通孔31呈一行或一列或矩阵排布，这样可以同时对多个坩埚内的有机材料进行预热，提高预热效率。

在本实施例中，箱门20上设有充气阀门，以对箱体10进行充气。预热完成后，通过充气阀门对箱体10进行充气，进而对箱体进行破真空处理。

在本实施例中，加热件设有两个且分别为上加热件51和下加热件52，上加热件51设置在箱体10的外顶壁上，下加热件52设置在箱体10的外底壁上。上加热件51和下加热件52可以同时对坩埚内的有机材料进行加热，提高预热效果。

在本实施例中，上加热件51和下加热件52均包括固定盒和固定在固定盒内的电阻丝。通过电阻丝加热箱体内部，从而对坩埚内的有机材料进行预热处理。固定盒内铺满电阻丝，提高加热效果。固定盒便于对电阻丝进行固定。作为可替换的实施方式，加热件也可以采用加热棒等。

在本实施例中，坩埚上盖有坩埚盖70，坩埚盖70上设有多个排气孔，预热时将坩埚盖70盖在坩埚上，防止粉末有机材料内部气体逸出时导致的有机材料飞溅，进而防止材料浪费的情况，节约材料，还可以防止抽真空时材料从坩埚口喷出的情况。

在本实施例中，预热装置还包括连接管道60，真空泵40通过连接管道60与箱体10连接。连接管道60可以方便连接真空泵40和箱体10。

在本实施例中，连接管道60连接在箱体10的与箱门20相对的侧壁上，侧壁上设有空气孔。当然，连接管道60也可以连接在箱体10的其他侧壁上。

在本实施例中，真空泵40为罗茨泵，罗茨泵可抽真空至1×10^-2mBar。

下面对预热装置的预热过程进行说明：

打开箱门20，将装有有机材料的坩埚通过开口放入箱体10内部的支撑板上，将坩埚盖70盖在坩埚上，关闭箱门20，通过真空泵40对箱体10进行抽真空，同时通过加热件对有机材料进行加热，待有机材料预热处理完成后，打开充气阀门对箱体10进行破真空处理，然后取出坩埚即可。

从以上的描述中，可以看出，本实用新型的上述的实施例实现了如下技术效果：

通过对箱体10进行抽真空处理，使得箱体环境与坩埚内的有机材料形成的气压差，使粉末有机材料内的气体逸出，达到了去除粉末状有机材料颗粒间空气的目的；坩埚盖可以防止粉末有机材料内的气体逸出导致材料飞溅的情况，节约材料；通过上下两个加热件对有机材料进行预热处理，提高加热效果，加速气体释放，防止在蒸镀设备内预热导致膜厚不准的情况。

显然，上述实施例仅仅是为清楚地说明所作的举例，而并非对实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。而由此所引伸出的显而易见的变化或变动仍处于本实用新型创造的保护范围之中。

Claims (10)

1.一种预热装置，其特征在于，包括：

箱体(10)，具有开口；

箱门(20)，可开合地设置在所述开口处；

支撑件(30)，设置在所述箱体(10)内并用于支撑坩埚；

真空泵(40)，与所述箱体(10)连接；

加热件，设置在所述箱体(10)上，以对所述坩埚内的有机材料进行预热。

2.根据权利要求1所述的预热装置，其特征在于，所述支撑件(30)为支撑板，所述支撑板上设有供所述坩埚的本体通过的通孔(31)。

3.根据权利要求2所述的预热装置，其特征在于，所述通孔(31)设有多个，多个所述通孔(31)呈一行或一列或矩阵排布。

4.根据权利要求1所述的预热装置，其特征在于，所述箱门(20)上设有充气阀门，以对所述箱体(10)进行充气。

5.根据权利要求1所述的预热装置，其特征在于，所述加热件设有两个且分别为上加热件(51)和下加热件(52)，所述上加热件(51)设置在所述箱体(10)的外顶壁上，所述下加热件(52)设置在所述箱体(10)的外底壁上。

6.根据权利要求5所述的预热装置，其特征在于，所述上加热件(51)和所述下加热件(52)均包括固定盒和固定在所述固定盒内的电阻丝。

7.根据权利要求1至6中任一项所述的预热装置，其特征在于，所述坩埚上盖有坩埚盖(70)，所述坩埚盖(70)上设有多个排气孔。

8.根据权利要求1至6中任一项所述的预热装置，其特征在于，所述预热装置还包括连接管道(60)，所述真空泵(40)通过所述连接管道(60)与所述箱体(10)连接。

9.根据权利要求8所述的预热装置，其特征在于，所述连接管道(60)连接在所述箱体(10)的与所述箱门(20)相对的侧壁上，所述侧壁上设有空气孔。

10.根据权利要求1至6中任一项所述的预热装置，其特征在于，所述真空泵(40)为罗茨泵。

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