CN213005174U

CN213005174U - 一种用于晶片切割工具检测的旋转装置

Info

Publication number: CN213005174U
Application number: CN202021160736.2U
Authority: CN
Inventors: 罗爱斌; 陈章水; 宾启雄; 周铁军; 叶水景; 严卫东
Original assignee: First Semiconductor Materials Co ltd
Current assignee: First Semiconductor Materials Co ltd
Priority date: 2020-06-19
Filing date: 2020-06-19
Publication date: 2021-04-20
Anticipated expiration: 2030-06-19

Abstract

本实用新型涉及晶片切割技术领域，尤其涉及一种用于晶片切割工具检测的旋转装置，包括平台底座；推力轴承，安装于平台底座上，推力轴承的轴线与竖直方向平行；承载底座，其通过推力轴承转动安装于平台底座，且可绕竖直方向转动；平台驱动机构，与承载底座传动连接。本实用新型设置平台驱动机构驱动承载底座转动，同时承载底座通过推力轴承安装于平台底座上，使工人在检测线槽轮轴圆周面时，将线槽轮轴竖直放置在承载底座上，通过平台驱动机构驱动承载底座转动，同时带动线槽轮轴周向转动，降低了工人搬运、旋转线槽轮轴的劳动强度，且在检测过程中，通过绕竖直方向转动的承载底座竖直放置的线槽轮轴，在检测过程中无需在圆周面形成支撑，避免了对线槽轮轴圆周面造成损伤。

Description

一种用于晶片切割工具检测的旋转装置

技术领域

本实用新型涉及晶片切割技术领域，尤其涉及一种用于晶片切割工具检测的旋转装置。

背景技术

钢线线槽轮轴是半导体晶体生产中的重要设备，在生产之前，必须对钢线线槽轮轴上的线槽进行检视，以防止钢线线槽轮轴槽位缺陷(如线槽峰异位、槽峰丢失等)导致在生产过程中出现断线现象造成晶片损失。

目前，由于钢线线槽轮轴本身重量较大，很难连续翻动，现有检测的过程中，将钢线和线槽轮轴水平放置在平台上进行检测，但是检测过程中需要连续的翻动，容易导致钢线和线槽轮轴圆周面(圆周面的线槽为导线槽，损伤后将导致线切割时异常断线风险)与平台接触磨损。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供能够使线槽轮轴竖直放置并实现绕竖直方向转动，从而方便对线槽轮轴圆周面进行检测，降低工人劳动强度，并避免造成线槽轮轴圆周面线槽部位损伤的一种用于晶片切割工具检测的旋转装置。

为了实现上述目的，本实用新型提供一种用于晶片切割工具检测的旋转装置，包括：

平台底座；

推力轴承，安装于所述平台底座上，所述推力轴承的轴线与竖直方向平行；

承载底座，其通过所述推力轴承转动安装于所述平台底座，且可绕竖直方向转动；

平台驱动机构，与所述承载底座传动连接。

可选的，还包括张紧机构，所述承载底座开设有轴向延伸的通孔，所述张紧机构设置于所述通孔内用于张紧固定线槽轮轴。

可选的，所述张紧机构包括卡盘以及滑动安装于卡盘并沿卡盘周向布置的多个卡爪。

可选的，所述承载底座包括沿轴向依次同轴布置的传动部、支撑部和承载部，所述支撑部的直径大于所述传动部，所述支撑部面向所述传动部的一侧支撑于所述推力轴承上端面，所述推力轴承套设于传动部外侧。

可选的，所述平台底座安装有径向轴承，所述径向轴承套设于所述支撑部外侧。

可选的，所述承载底座开设有安全手孔。

可选的，所述安全手孔的竖直投影为扇形。

可选的，所述承载底座上表面依次设有缓冲层和耐磨层。

可选的，所述缓冲层为泡棉层，所述耐磨层为聚四氟乙烯层。

可选的，所述承载底座的上表面设有若干位置标记弧线，若干所述位置标记弧线均与所述承载底座的旋转轴同轴布置。

实施本实用新型的实施例，具有以下技术效果：

本实用新型通过设置平台驱动机构驱动承载底座转动，同时承载底座通过推力轴承安装于平台底座上，使工人在检测线槽轮轴圆周面时，将线槽轮轴竖直放置在承载底座上，通过平台驱动机构驱动承载底座转动，同时带动线槽轮轴周向转动，降低了工人搬运、旋转线槽轮轴的劳动强度，且在检测过程中，通过绕竖直方向转动的承载底座竖直放置的线槽轮轴，在线槽轮轴在自重力作用下无需在圆周面形成支撑，避免了对线槽轮轴圆周面造成损伤。

附图说明

图1是本实用新型优选实施例的承载平台的结构示意图；

图2是本实用新型优选实施例的承载平台的主视图；

图3是图2中A－A处的剖视图；

图4是本实用新型优选实施例承载平台的部分结构示意图；

图5是本实用新型优选实施例承载平台的部分结构主视图；

图6是图5中B－B处的剖视图；

图7是本实用新型优选实施例的张紧机构的结构示意图。

附图标记说明：

1、平台底座，2、承载底座，21、通孔，22、传动部，23、支撑部，24、承载部，25、安全手孔，26、缓冲层，27、耐磨层，28、位置标记弧线，3、平台驱动机构，4、推力轴承，5、张紧机构，51、卡盘，52、卡爪，6、径向轴承，7、脚杯。

具体实施方式

下面结合附图和实施例，对本实用新型的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本实用新型，但不用来限制本实用新型的范围。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

此外，本实用新型中采用术语“第一”、“第二”等来描述各种信息，但这些信息不应限于这些术语，这些术语仅用来将同一类型的信息彼此区分开。例如，在不脱离本实用新型范围的情况下，“第一”信息也可以被称为“第二”信息，类似的，“第二”信息也可以被称为“第一”信息。

参考图1－图7，本实用新型的一个实施例提供了一种用于晶片切割工具检测的旋转装置，包括：

平台底座1；

推力轴承4，安装于平台底座1上，推力轴承4的轴线与竖直方向平行；

承载底座2，其通过推力轴承4转动安装于平台底座1，且可绕竖直方向转动；

平台驱动机构3，与承载底座2传动连接。

本实用新型通过设置平台驱动机构3驱动承载底座2转动，同时承载底座2通过推力轴承4安装于平台底座1上，使工人在检测线槽轮轴圆周面时，将线槽轮轴竖直放置在承载底座2上，通过平台驱动机构3驱动承载底座2转动，同时带动线槽轮轴周向转动，降低了工人搬运、旋转线槽轮轴的劳动强度，且在检测过程中，通过绕竖直方向转动的承载底座2竖直放置的线槽轮轴，在线槽轮轴自重力作用下无需在圆周面形成支撑，避免了对线槽轮轴圆周面造成损伤；

使用时，平台驱动机构3与承载底座2传动连接，实现承载底座2的自动化转动，可通过设置控制器实现承载底座2预设旋转速度和旋转角度，从而在平台驱动机构3可根据控制信号带动承载底座2以预设的速度和预设的角度旋转，从而使线槽轮轴周向转换位置便于进行检测；另外，平台底座1安装有推力轴承4，且推力轴承4的轴线与竖直方向平行，承载底座2通过推力轴承4与平台底座1转动连接，通过将线槽轮轴竖直放置到承载底座2上，此时，线槽轮轴的重力施加到推力轴承4，推力轴承4可以承受较大的轴向力并且可实现周向的转动，从而实现了线槽轮轴竖直放置时受力的稳定性，便于旋转线槽轮轴，调节线槽轮轴的位置。

参考图1、图3和图7，为了实现竖直放置在承载底座2上的线槽轮轴的固定，本实施例还包括张紧机构5，承载底座2开设有轴向延伸的通孔21，张紧机构5设置于通孔21内用于张紧固定线槽轮轴，由于线槽轮轴为空心结构，因此，具体的，张紧机构5包括卡盘51以及滑动安装于卡盘51并沿卡盘51周向布置的多个卡爪52，在张紧机构5固定线槽轮轴时，多个卡爪52沿着卡盘51的径向方向移动，直至多个卡爪52紧贴张紧线槽轮轴内孔的内壁，从而实现线槽轮轴的固定；由于卡爪52与线槽轮轴内孔的内壁接触，避免了对线槽轮轴的外侧圆周面造成损伤，进一步保证了检测的可靠性。

参考图6，本实施例的承载底座2包括沿轴向依次同轴布置的传动部22、支撑部23和承载部24，支撑部23的直径大于传动部22，支撑部23面向传动部22的一侧支撑于推力轴承4上端面，推力轴承4套设于传动部22外侧，形成对承载底座2稳定的支撑。

为了避免承载底座2在转动时产生径向的晃动，并保证承载底座2转动的稳定性，本实施例的平台底座1固定安装有径向轴承6，径向轴承6套设于支撑部23外侧。

在搬运线槽轮轴的过程中，为了表面磨损线槽轮轴，工人一般用手握持线槽轮轴的两端，因此，在将线槽轮轴竖直放置到承载底座2上时，手容易由于退出不及时，被线槽轮轴压伤，因此，本实施例中的承载底座2开设有安全手孔25，工人在放置线槽轮轴到承载底座2上时，手对准安全手孔25，当线槽轮轴一端放置平整时，手容纳在安全手孔25内，从而防止被线槽轮轴压伤，保证了工人操作的安全性；具体的，安全手孔25的竖直投影为扇形，宽度约为4－10cm。

由于线槽轮轴的重量较大，工人将线槽轮轴放置到承载底座2上的一瞬间，容易对承载底座2造成较大的冲击，为了避免冲击过大损坏承载底座2以及推力轴承4，在承载底座2上表面依次设有缓冲层26和耐磨层27，一方面，通过缓冲层26减小放置线槽轮轴的一瞬间对承载底座2和推力轴承4的冲击，另一方面，设置耐磨层27，避免放置冲击造成线槽轮轴端部的损伤以及提高承载底座2使用的寿命。

其中，缓冲层26为泡棉层，有效缓冲承载平台受到的冲击力，同时，耐磨层27为聚四氟乙烯层，具有较好的耐磨、耐腐蚀性能，且避免对线槽轮轴造成损伤。

参考图1，考虑到线槽轮轴在放置时如果没有与承载底座2同轴，偏心容易导致转动过程中受离心力的影响以及张紧机构5张紧效果较差，导致线槽轮轴在检测过程晃动，影响检测的精度和安全，本实施例在承载底座2的上表面设有若干位置标记弧线28，若干位置标记弧线28均与承载底座2的旋转轴同轴布置，在放置线槽轮轴时，方便将线槽轮轴的圆周外缘对准位置标记弧线28，从而让工人快速准确的放置线槽轮轴，同时方便了工人对被测线槽轮轴位置的检查。

为了适应不同平整度的地面环境，本实施例的平台底座1设有至少三个用于支撑平台底座1的脚杯7，通过脚杯7的调节使平台底座1保持水平状态，从而保证放置在承载平台上的线槽轮轴能保持竖直。

综上，本实用新型通过设置平台驱动机构3驱动承载底座2转动，同时承载底座2通过推力轴承4安装于平台底座1上，使工人在检测线槽轮轴圆周面时，将线槽轮轴竖直放置在承载底座2上，通过平台驱动机构3驱动承载底座2转动，同时带动线槽轮轴周向转动，降低了工人搬运、旋转线槽轮轴的劳动强度，且在检测过程中，通过绕竖直方向转动的承载底座2竖直放置的线槽轮轴，在线槽轮轴自重力作用下无需在圆周面形成支撑，避免了对线槽轮轴圆周面造成损伤。

以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型技术原理的前提下，还可以做出若干改进和替换，这些改进和替换也应视为本实用新型的保护范围。

Claims

1.一种用于晶片切割工具检测的旋转装置，其特征在于，包括：

平台底座；

平台驱动机构，与所述承载底座传动连接。

2.根据权利要求1所述的用于晶片切割工具检测的旋转装置，其特征在于，还包括张紧机构，所述承载底座开设有轴向延伸的通孔，所述张紧机构设置于所述通孔内用于张紧固定线槽轮轴。

3.根据权利要求2所述的用于晶片切割工具检测的旋转装置，其特征在于，所述张紧机构包括卡盘以及滑动安装于卡盘并沿卡盘周向布置的多个卡爪。

4.根据权利要求1－3任一项所述的用于晶片切割工具检测的旋转装置，其特征在于，所述承载底座包括沿轴向依次同轴布置的传动部、支撑部和承载部，所述支撑部的直径大于所述传动部，所述支撑部面向所述传动部的一侧支撑于所述推力轴承上端面，所述推力轴承套设于传动部外侧。

5.根据权利要求4所述的用于晶片切割工具检测的旋转装置，其特征在于，所述平台底座安装有径向轴承，所述径向轴承套设于所述支撑部外侧。

6.根据权利要求1所述的用于晶片切割工具检测的旋转装置，其特征在于，所述承载底座开设有安全手孔。

7.根据权利要求6所述的用于晶片切割工具检测的旋转装置，其特征在于，所述安全手孔的竖直投影为扇形。

8.根据权利要求1所述的用于晶片切割工具检测的旋转装置，其特征在于，所述承载底座上表面依次设有缓冲层和耐磨层。

9.根据权利要求8所述的用于晶片切割工具检测的旋转装置，其特征在于，所述缓冲层为泡棉层，所述耐磨层为聚四氟乙烯层。

10.根据权利要求1所述的用于晶片切割工具检测的旋转装置，其特征在于，所述承载底座的上表面设有若干位置标记弧线，若干所述位置标记弧线均与所述承载底座的旋转轴同轴布置。