CN213000949U - 二极管生产用刮涂玻璃浆装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型属于二极管加工应用设备领域，尤其涉及一种二极管生产用刮涂玻璃浆装置。包括底座以及设置在底座一端的吸盘，所述底座一端设置有旋转电机，所述吸盘通过旋转电机转动设置在底座上，所述底座远离吸盘的一端设置有立柱，所述立柱的顶部设置有延伸杆，所述延伸杆伸向吸盘方向设置，所述延伸杆远离立柱的一端设置有刮刀，所述刮刀的一侧设置有辅助刮刀，本实用新型提供一种二极管生产用刮涂玻璃浆装置，通过旋转电机的设置，有效实现了吸盘的自动转动，通过辅助刮刀的设置配合刮刀的存在，有效实现了玻璃浆的填充饱满、均匀刮涂，提高了刮涂效率，同时，本实用新型结构简单、加工方便，试验效果显著，适合大规模推广使用。

Description

二极管生产用刮涂玻璃浆装置

技术领域

本实用新型属于二极管加工应用设备领域，尤其涉及一种二极管生产用刮涂玻璃浆装置。

背景技术

刮涂法上玻璃是二极管生产制程中较常用的方法，是使用刮刀将玻璃浆(玻璃粉末与黏性液体混合而成的悬浮液)把已经在硅片上腐蚀出的沟槽填充满的一种方法，该工序也是刮涂二极管制作中的重点工序，既要将沟槽全部覆盖，又要确保沟槽充满玻璃浆，否则会导致钝化不良而造成芯片电性失效。

目前主要采用的方法是手动旋转吸盘刮涂一次，再旋转一次再刮涂一次，而且要将沟槽全部覆盖，需要重复上面步骤很多步，这样效率会比较低，所以研究一种刮涂均匀、填充饱满、效率较高的刮涂装置是一种趋势。

实用新型内容

本实用新型针对上述的二极管生产中刮涂玻璃浆所存在的技术问题，提出一种设计合理、结构简单、加工方便且能够实现刮涂均匀、填充饱满、效率较高的二极管生产用刮涂玻璃浆装置。

为了达到上述目的，本实用新型采用的技术方案为，本实用新型提供一种二极管生产用刮涂玻璃浆装置，包括底座以及设置在底座一端的吸盘，所述底座一端设置有旋转电机，所述吸盘通过旋转电机转动设置在底座上，所述底座远离吸盘的一端设置有立柱，所述立柱的顶部设置有延伸杆，所述延伸杆伸向吸盘方向设置，所述延伸杆远离立柱的一端设置有刮刀，所述刮刀的一侧设置有辅助刮刀，所述辅助刮刀与刮刀之间倾斜设置，所述辅助刮刀滑动设置在刮刀的一侧，所述延伸杆的一侧设置有驱动电机，所述驱动电机的动力端连接有丝杆，所述丝杆与延伸杆平行设置，所述丝杆贯穿辅助刮刀设置，所述辅助刮刀上设置有与丝杆相配合设置的丝杆螺母。

作为优选，所述延伸杆可转动固定设置在立柱的顶部。

作为优选，所述立柱的顶部设置有转轴，所述延伸杆的一端套装在转轴上，所述立柱远离驱动电机的一端设置有支撑杆，所述支撑杆远离立柱的一端设置有翻转气缸，所述翻转气缸的动力端与延伸杆铰接设置，所述翻转气缸倾斜设置在支撑杆上。

与现有技术相比，本实用新型的优点和积极效果在于，

1、本实用新型提供一种二极管生产用刮涂玻璃浆装置，通过旋转电机的设置，有效实现了吸盘的自动转动，通过辅助刮刀的设置配合刮刀的存在，有效实现了玻璃浆的填充饱满、均匀刮涂，提高了刮涂效率，同时，本实用新型结构简单、加工方便，试验效果显著，适合大规模推广使用。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作一简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为实施例1提供的二极管生产用刮涂玻璃浆装置的结构示意图；

图2为实施例1提供的二极管生产用刮涂玻璃浆装置另一角度结构的示意图；

以上各图中，1、底座；2、吸盘；3、旋转电机；4、延伸杆；5、刮刀；6、辅助刮刀；7、驱动电机；8、丝杆；9、丝杆螺母；10、立柱；11、转轴；12、支撑杆；13、翻转气缸。

具体实施方式

为了能够更清楚地理解本实用新型的上述目的、特征和优点，下面结合附图和实施例对本实用新型做进一步说明。需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请的实施例及实施例中的特征可以相互组合。

在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本实用新型，但是，本实用新型还可以采用不同于在此描述的其他方式来实施，因此，本实用新型并不限于下面公开说明书的具体实施例的限制。

实施例1，如图1、图2所示，本实施例旨在解决现有二极管生产过程中刮涂效率低的技术问题，为此，本实施例提供的二极管生产用刮涂玻璃浆装置，包括底座1以及设置在底座1一端的吸盘2，在本实施例中，底座1呈长方体状设置，吸盘2由多个环形管组成的盘状结构，在环形管上开孔并形成负压，以达到对硅片吸附的目的，以上结构为现有常见的结构，为此，在本实施例中，不加详细描述。

为了达到自动刮涂的目的，在本实施例中，在底座1一端设置有旋转电机3，吸盘2通过旋转电机3转动设置在底座1上，由于吸盘2的刮涂工作转速不用过快，旋转电机3采用低速电机即可，这样，在旋转电机3的作用下，吸盘2无需人工转动，即可实现自转。

为了实现自动刮涂，在本实施例中，在底座1远离吸盘2的一端设置有立柱10，在立柱10的顶部设置有延伸杆4，延伸杆4伸向吸盘2方向设置，这样，延伸杆4就形成了与立柱10垂直的结构设计，在延伸杆4远离立柱10的一端设置有刮刀5，在本实施例中，在刮刀5的刀身上设置有螺栓孔，在延伸杆4的端部设置有两个平行设置的连接杆，通过连接杆的设置，实现延伸杆4与刮刀5之间的固定。

为了使整个刮涂过程更加的均匀、填充饱满，在刮刀5的一侧设置有辅助刮刀6，辅助刮刀6设置在远离螺栓孔的一侧，在本实施例中，为了更好的达到刮涂的目的，在本实施例中，辅助刮刀6与刮刀5之间倾斜设置，同时，辅助刮刀6滑动设置在刮刀5的一侧，具体的说，在刮刀5的刀身上下开设有两个槽孔，槽孔内设置有光轴，在辅助刮刀6的一侧设置有滑块，滑块套装在光轴上，在延伸杆4的一侧设置有驱动电机7，驱动电机7的动力端连接有丝杆8，丝杆8与延伸杆4平行设置，且丝杆8贯穿辅助刮刀6设置，在辅助刮刀6上设置有与丝杆8相配合设置的丝杆螺母9。这样，利用丝杆8螺杆设置，使丝杆8产生的旋转运动转化为直线运动，驱动电机7为正反转电机，这样，就形成了辅助刮刀6的往复运动，进而确保刮涂的更加均匀且能够保证填充的饱满效果。

为了使刮刀5能够及时脱离，在本实施例中，延伸杆4可转动固定设置在立柱10的顶部。转动固定的方式有很多种，比如，采用弹簧锁扣固定的方式，在本实施例中，采用气缸固定的方式，具体的说，在立柱10的顶部设置有转轴11，延伸杆4的一端套装在转轴11上，立柱10远离驱动电机7的一端设置有支撑杆12，支撑杆12远离立柱10的一端设置有翻转气缸13，翻转气缸13的动力端与延伸杆4铰接设置，翻转气缸13倾斜设置在支撑杆12上。这样，通过翻转气缸13的工作，实现延伸杆4绕转轴11进行一定间距的移动，进而实现了刮刀5的快速脱离。

以上所述，仅是本实用新型的较佳实施例而已，并非是对本实用新型作其它形式的限制，任何熟悉本专业的技术人员可能利用上述揭示的技术内容加以变更或改型为等同变化的等效实施例应用于其它领域，但是凡是未脱离本实用新型技术方案内容，依据本实用新型的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与改型，仍属于本实用新型技术方案的保护范围。

Claims (3)

1.一种二极管生产用刮涂玻璃浆装置，包括底座以及设置在底座一端的吸盘，其特征在于，所述底座一端设置有旋转电机，所述吸盘通过旋转电机转动设置在底座上，所述底座远离吸盘的一端设置有立柱，所述立柱的顶部设置有延伸杆，所述延伸杆伸向吸盘方向设置，所述延伸杆远离立柱的一端设置有刮刀，所述刮刀的一侧设置有辅助刮刀，所述辅助刮刀与刮刀之间倾斜设置，所述辅助刮刀滑动设置在刮刀的一侧，所述延伸杆的一侧设置有驱动电机，所述驱动电机的动力端连接有丝杆，所述丝杆与延伸杆平行设置，所述丝杆贯穿辅助刮刀设置，所述辅助刮刀上设置有与丝杆相配合设置的丝杆螺母。

2.根据权利要求1所述的二极管生产用刮涂玻璃浆装置，其特征在于，所述延伸杆可转动固定设置在立柱的顶部。

3.根据权利要求2所述的二极管生产用刮涂玻璃浆装置，其特征在于，所述立柱的顶部设置有转轴，所述延伸杆的一端套装在转轴上，所述立柱远离驱动电机的一端设置有支撑杆，所述支撑杆远离立柱的一端设置有翻转气缸，所述翻转气缸的动力端与延伸杆铰接设置，所述翻转气缸倾斜设置在支撑杆上。

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