CN212946119U - 一种晶圆激光切割底座结构 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种晶圆激光切割底座结构，包括底座和第二工作台，所述底座的上端面固定有支臂，且支臂的右端固定有第一气缸，所述气缸的右侧连接有第一伸缩杆，且第一伸缩杆的右端连接有激光发射器，所述激光发射器的下侧设置有蜂窝网板，且蜂窝网板的下端设置有第一工作台，所述第一工作台的下端固定有第二滑板，且第二滑板的下端设置有滑块，所述滑块的下端设置有滑轨，所述第二工作台的下端固定有传动杆。该晶圆激光切割底座结构，结构设置合理，在底座的内部设置的第二工作台，且加装传动杆和电机，使得机器可进行圆弧切割，且在工作台的表面设置蜂窝网板，减少激光对工作台面的损伤，延长工作台的使用期。

Description

一种晶圆激光切割底座结构

技术领域

本实用新型涉及激光切割技术领域，具体为一种晶圆激光切割底座结构。

背景技术

机械加工过程中常需要切割板材，常见的切割方式包括手工切割、数控切割机切割、半自动切割机切割，手工切割方便灵活，但切割误差较大、质量较差、材料浪费多、后续工作量大，且生产效率较低，半自动切割机切割工件质量较好，但不适合单件、大工件、小批量切割，相对来说，数控自动切割机切割质量、效率高，能大幅减轻操作者的劳动强度，是更加理想的切割方式，目前，在我国的一些中小企业甚至在一些大型企业中使用手工切割和半自动切割方式还较为普遍，激光切割是板材下料过程中的重要加工方式，与传统切割方法(火焰切割、线切割等) 相比，激光切割具有高速、高精度和高适应性的特点，同时还具有割缝细、热影响区小、切割面质量好、切割时无噪声、切割过程容易实现自动化、加工成本低等优点，因而在工程上得到广泛应用，激光切割就是将激光束照射到工件表面时释放的能量来使工件融化并蒸发，以达到切割和雕刻的目的，具有精度高，切割快速，不局限于切割图案限制，自动排版节省材料，切口平滑，加工成本低等特点，将逐渐改进或取代于传统的切割工艺设备，由于激光切割机在工作中有灼热现象，在穿透材料的同时也会到达工作台，会造成工作台表面的损伤，影响工作台的平整度，进而影响切割精度，现有技术中，激光切割机无论是直线切割还是圆弧切割都在同一工作台上进行，且工作台面缺少保护措施，导致工作台在较短的时间内就容易报废更换，不仅增加成本，而且耗时耗力。

为了解决目前市场上所存在的缺点，急需改善激光切割底座装置的技术，能够更好的延长工作台的使用寿命。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种晶圆激光切割底座结构，以解决上述背景技术中提出的由于激光切割机在工作中有灼热现象，在穿透材料的同时也会到达工作台，会造成工作台表面的损伤，影响工作台的平整度，进而影响切割精度，现有激光切割机无论是直线切割还是圆弧切割大都在同一工作台上进行，且工作台面缺少保护措施，导致工作台在较短的时间内就容易报废的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种晶圆激光切割底座结构，包括底座和第二工作台，所述底座的上端面固定有支臂，且支臂的右端固定有第一气缸，所述第一气缸的右侧连接有第一伸缩杆，且第一伸缩杆的右端连接有激光发射器，所述激光发射器的下侧设置有蜂窝网板，且蜂窝网板的下端设置有第一工作台，所述第一工作台的下端固定有第二滑板，且第二滑板的下端设置有滑块，所述滑块的下端设置有滑轨，且滑轨的下端固定有第一滑板，所述第一滑板的下端安装有支撑腿，且支撑腿的下端安装有滚轮，所述第二工作台的下端固定有传动杆，且传动杆的右侧设置有电机，所述电机的下端设置有托盘，且托盘的下端固定有第二伸缩杆，所述第二伸缩杆的下端连接有第二气缸。

优选的，所述第一滑板的右侧和第二滑板的前侧皆设置有把手，且把手的厚度小于滑板厚度，且第一滑板与第二滑板的厚度大小一致。

优选的，所述滑块固定在第二滑板的下端，且滑块关于第二滑板的垂直中线对称，且滑块位于把手的内侧，所述滑轨设置为“工”字型，且滑轨与滑块尺寸大小相匹配。

优选的，所述第一滑板与底座滑动连接，且连接方式与第二滑板和第一滑板的连接方式相同，且第一滑板在水平方向左右移动，第二滑板在水平方向前后移动。

优选的，所述传动杆的外部固定有从动齿轮，且从动齿轮的右侧啮合有主动齿轮，且主动齿轮与电机的输出轴连接，所述传动杆的下端安装有轴承，且轴承固定在托盘的上端。

优选的，所述托盘设置为矩形，且设置第二工作台圆柱体结构，所述蜂窝网板与第一工作台的夹层设置有微型的三角支架，且第二工作台的表面设置有同样的蜂窝网板。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：该晶圆激光切割底座结构，结构设置合理，设置的第一滑板和第二滑板，使得机器在第一工作台可进行横向和纵向切割，在底座的内部设置的第二工作台，且加装传动杆和电机，使得机器可进行圆弧切割，在第一滑板的下端设置的滚轮，在第一滑板向右移动时，起到支撑作用，且在工作台的表面设置了蜂窝网板，减少了激光对工作台面的损伤，延长了工作台的使用期。

附图说明

图1为本实用新型结构正视示意图；

图2为本实用新型结构第二工作台结构示意图；

图3为本实用新型结构滑块与滑轨结构示意图；

图4为本实用新型结构滑板结构俯视图示意图。

图中：1、底座；2、支臂；3、第一气缸；4、第一伸缩杆；5、激光发射器；6、第一滑板；7、把手；8、支撑腿；9、滚轮；10、第二气缸；11、第二伸缩杆；12、托盘；13、传动杆；14、从动齿轮；15、主动齿轮；16、第二工作台；17、电机；18、滑轨；19、滑块；20、第二滑板；21、第一工作台；22、蜂窝网板。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1—4，本实用新型提供一种技术方案：一种晶圆激光切割底座结构，包括底座1和第二工作台16，底座1的上端面固定有支臂2，且支臂2的右端固定有第一气缸3，第一气缸3的右侧连接有第一伸缩杆4，在进行圆形切割的时候，第一伸缩杆4起到调节切割半径的作用，且第一伸缩杆4的右端连接有激光发射器5，作为激光发射光源，激光发射器5的下侧设置有蜂窝网板22，且蜂窝网板22的下端设置有第一工作台21，第一工作台21的下端固定有第二滑板20，且第二滑板20的下端设置有滑块19，滑块19的下端设置有滑轨18，且滑轨18的下端固定有第一滑板6，第一滑板6的下端安装有支撑腿8，支撑腿8起到移动支撑的作用，且支撑腿8的下端安装有滚轮9，第二工作台16的下端固定有传动杆13，且传动杆13的右侧设置有电机17，电机17的下端设置有托盘12，且托盘12的下端固定有第二伸缩杆11，第二伸缩杆11的下端连接有第二气缸10，第一滑板6的右侧和第二滑板20的前侧皆设置有把手7，且把手7的厚度小于滑板厚度，且第一滑板6与第二滑板20的厚度大小一致，滑块19固定在第二滑板20的下端，且滑块19关于第二滑板20的垂直中线对称，且滑块19位于把手7的内侧，滑轨18设置为“工”字型，且滑轨18与滑块19尺寸大小相匹配，第一滑板6与底座1滑动连接，且连接方式与第二滑板20和第一滑板6的连接方式相同，且第一滑板6在水平方向左右移动，第二滑板20在水平方向前后移动，传动杆13的外部固定有从动齿轮14，且从动齿轮14的右侧啮合有主动齿轮15，且主动齿轮15与电机17的输出轴连接，传动杆13的下端安装有轴承，且轴承固定在托盘12的上端，托盘12设置为矩形，且设置第二工作台16圆柱体结构，蜂窝网板22与第一工作台21的夹层设置有微型的三角支架，且第二工作台16的表面设置有同样的蜂窝网板22，蜂窝网板22起到保护工作台面的作用。

在使用该晶圆激光切割底座结构时，将切割工件放置在第一工作台21上端的蜂窝网板22，通过滑轨18和滑块19，前后移动第二滑板20，或者左右移动第一滑板6，使得工件进行纵向或者横向切割，若要进行圆弧切割，首先将第一滑板6向右移动到底座1的边缘，再启动第二气缸10，通过第二伸缩杆11将第二工作台16升高到适当位置，将工件固定在第二工作台16的上端面，启动电机17，通过主动齿轮15带动从动齿轮14旋转，从动齿轮14带动传动杆13旋转，进而带动第二工作台16做圆周运动，再通过第一气缸3和第一伸缩杆4调节切割半径。这就是该晶圆激光切割底座结构工作的整个过程。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (6)

1.一种晶圆激光切割底座结构，包括底座（1）和第二工作台（16），其特征在于：所述底座（1）的上端面固定有支臂（2），且支臂（2）的右端固定有第一气缸（3），所述第一气缸（3）的右侧连接有第一伸缩杆（4），且第一伸缩杆（4）的右端连接有激光发射器（5），所述激光发射器（5）的下侧设置有蜂窝网板（22），且蜂窝网板（22）的下端设置有第一工作台（21），所述第一工作台（21）的下端固定有第二滑板（20），且第二滑板（20）的下端设置有滑块（19），所述滑块（19）的下端设置有滑轨（18），且滑轨（18）的下端固定有第一滑板（6），所述第一滑板（6）的下端安装有支撑腿（8），且支撑腿（8）的下端安装有滚轮（9），所述第二工作台（16）的下端固定有传动杆（13），且传动杆（13）的右侧设置有电机（17），所述电机（17）的下端设置有托盘（12），且托盘（12）的下端固定有第二伸缩杆（11），所述第二伸缩杆（11）的下端连接有第二气缸（10）。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆激光切割底座结构，其特征在于：所述第一滑板（6）的右侧和第二滑板（20）的前侧皆设置有把手（7），且把手（7）的厚度小于滑板厚度，且第一滑板（6）与第二滑板（20）的厚度大小一致。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆激光切割底座结构，其特征在于：所述滑块（19）固定在第二滑板（20）的下端，且滑块（19）关于第二滑板（20）的垂直中线对称，且滑块（19）位于把手（7）的内侧，所述滑轨（18）设置为“工”字型，且滑轨（18）与滑块（19）尺寸大小相匹配。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆激光切割底座结构，其特征在于：所述第一滑板（6）与底座（1）滑动连接，且连接方式与第二滑板（20）和第一滑板（6）的连接方式相同，且第一滑板（6）在水平方向左右移动，第二滑板（20）在水平方向前后移动。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆激光切割底座结构，其特征在于：所述传动杆（13）的外部固定有从动齿轮（14），且从动齿轮（14）的右侧啮合有主动齿轮（15），且主动齿轮（15）与电机（17）的输出轴连接，所述传动杆（13）的下端安装有轴承，且轴承固定在托盘（12）的上端。

6.根据权利要求1所述的一种晶圆激光切割底座结构，其特征在于：所述托盘（12）设置为矩形，且设置第二工作台（16）圆柱体结构，所述蜂窝网板（22）与第一工作台（21）的夹层设置有微型的三角支架，且第二工作台（16）的表面设置有同样的蜂窝网板（22）。

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