CN212916926U - 一种oled工艺金属掩膜板存储用卡匣清洗、干燥设备 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及一种OLED工艺金属掩膜板存储用卡匣清洗、干燥设备，所述设备包括清洗室与干燥室；在一腔室内底部两侧分别固定连接有支撑座，所述卡匣置于支撑座上，底部悬空，在所述腔室底部中心位置还通过升降机构安装有内部喷嘴，所述内部喷嘴为自旋转大流量喷嘴，所述升降机构驱动内部喷嘴上下往复移动，所述腔室内还滑动安装有倒置U形架，倒置U形架架于卡匣上方，其上均匀分布安装有若干外部喷嘴，所述腔室内还安装有第一驱动机构，第一驱动机构连接倒置U形架，驱动其带着所有外部喷嘴纵向或横向往复移动，所有外部喷嘴均朝向卡匣。
Description
技术领域
本实用新型涉及卡匣清洗技术领域，具体涉及一种OLED工艺金属掩膜板存储用卡匣清洗、干燥设备。
背景技术
在OLED面板的生产过程中，大多依赖蒸镀制程，蒸镀制程中需要将诸多的电致发光功能层蒸镀到基板上，类似母版的作用，蒸镀金属掩膜版通常在使用过程中存放在卡匣内搬送至各个工艺段作业，金属掩膜版存放的卡匣要求在整个生产工艺过程中保持高度的洁净性，因此卡匣需要定期定时的进行清洗和干燥，清洗工艺要确保卡匣全方位无死角清洗，干燥工艺需确保卡匣上不残留任何水分，清洗不干净残留的尘离子会附着到金属掩膜版上，干燥不良残留的水分会在蒸镀工艺前抽真空时将水分抽出附着在掩膜版上，影响制程良率；目前的清洗技术普遍采用喷嘴固定，卡匣放置在旋转机构上进行清洗和干燥，但由于金属掩膜版存储用卡匣的特殊结构，此方法已不能满足必要的清洗和干燥效果，且存在较多盲区，导致废品率增加。
发明内容
本发明提出一种OLED工艺金属掩膜板存储用卡匣清洗、干燥设备。
本实用新型的技术方案：
一种OLED工艺金属掩膜板存储用卡匣清洗、干燥设备，所述设备包括清洗室与干燥室，所述卡匣先搬送至清洗室内进行清洗，清洗完成后，再转搬送到干燥室进行干燥；所述清洗室、干燥室结构相同，均为一腔室，在所述腔室内底部两侧安装有搬送滚轮，所述卡匣由搬送滚轮进行传输，并支撑在搬送滚轮上；在所述腔室底部设置有内部喷嘴，所述内部喷嘴安装在升降机构上，由升降机构驱动内部喷嘴上下往复移动，从底部深入卡匣或退出卡匣，所述内部喷嘴为自旋转喷嘴，所述腔室内部还安装有倒置U型架，倒置 U型架架于卡匣上方，其上均匀分布安装若干外部喷嘴，所述腔室外还安装有第一驱动机构，第一驱动机构连接倒置U型架，驱动其带着所有外部喷嘴沿卡匣运行方向往复移动，所有外部喷嘴均朝向卡匣；(本领域技术人员可以根据实际需求将内部喷嘴设置在合适位置)
所述清洗室内的内部喷嘴、外部喷嘴均为喷水嘴；优选，清洗室内的内部喷嘴为自旋转大流量360度球状水带喷嘴；
所述干燥室内的内部喷嘴、外部喷嘴均为喷气嘴。
清洗：卡匣于清洗室内，置于搬送滚轮上，外部喷嘴喷水，第一驱动装置驱动倒置U形架带动外部喷嘴纵向或横向往复移动，对卡匣外部进行全面清洗；内部喷嘴喷水，形成360度球状水流升降机构驱动内部喷嘴上下往复移动，伸入卡匣内部或退出卡匣，对卡匣底部、内部进行全面清洗；优选，内部喷嘴的喷射距离约2.5m的360度球状水流；
干燥：清洗好的卡匣搬送至干燥室，停止于设定位置，外部喷嘴喷洁净压缩空气，第一驱动装置驱动倒置U形架带动外部喷嘴纵向或横向往复移动，液切，吹散卡匣外部残留水，对卡匣外部进行全面干燥，内部喷嘴喷压缩控制，形成360度带状气流，升降机构驱动内部喷嘴上下往复移动，伸入卡匣内部或退出卡匣，液切，吹散卡匣底部、内部残留水，对卡匣底部、内部进行全面干燥。
所述清洗室内底部还安装有若干毛刷，毛刷位于两侧搬送滚轮之间，并与卡匣底部接触；所述清洗室底部还安装有若干喷水嘴，喷水嘴朝向毛刷；
所述毛刷为滚轮刷，所述清洗室底部旋转安装有若干滚轴，所述毛刷均匀分布套在滚轴上，与滚轴固定连接，所述清洗室还内安装有第二驱动机构，驱动机构连接滚轴带动毛刷转动。
所述干燥室上还设置有热风口，并通过热风口连接热风管道。
安装于干燥室内的内部喷嘴为鸭嘴式喷嘴，且向下倾斜；安装于干燥室内的外部喷嘴为扁口喷嘴。
所述升降机构为气缸或马达；所述第一驱动机构为气缸或由马达以及与马达连接的皮带、带轮或丝杆、丝杆螺母连接构成。
所述第二驱动机构为马达。
所述清洗室内的倒置U型架上根据卡匣吊点结构还分别安装有若干喷水嘴，喷水嘴朝向卡匣顶部吊点。
所述清洗室底部还安装有若干喷水嘴，喷水嘴朝向卡匣底部定位销柱内孔。
所述清洗室内的倒置U型架上还安装有若干喷水嘴，喷水嘴朝向卡匣内部掩膜板放置架与侧立柱形成的拐角。
所述外部喷嘴上安装有万向球头接头。
本实用新型的优点是，设计合理，结构简单，能够实现对卡匣内外全方面清洗、干燥；且在清洗、干燥过程中，卡匣不动以及卡匣外部开口密封，并不影响清洗、干燥效果。
附图说明
图1是腔室结构示意图。
图中腔室1、搬送滚轮1-1、升降机构1-2、内部喷嘴1-3、倒置U形架1-4、外部喷嘴1-5、第一驱动机构1-6、卡匣2。
具体实施方式
一种OLED工艺金属掩膜板存储用卡匣清洗、干燥设备，所述设备包括清洗室与干燥室，所述卡匣先搬送至清洗室内进行清洗，清洗完成后，再搬送至干燥室进行干燥；所述清洗室、干燥室结构相同，均为一腔室1，在所述腔室1内底部两侧安装有搬送滚轮1-1，所述卡匣2由搬送滚轮1-1进行传输，并支撑在搬送滚轮1-1上；在所述腔室1底部设置有内部喷嘴1-3，所述内部喷嘴1-3安装在升降机构1-2上，由升降机构1-2驱动内部喷嘴1-3上下往复移动，从底部深入卡匣2或退出卡匣2，所述内部喷嘴1-3为自旋转喷嘴，所述腔室1内部还安装有倒置U型架1-4，倒置U型架1-4架于卡匣2上方，其上均匀分布安装若干外部喷嘴1-5，所述腔室1外还安装有第一驱动机构1-6，第一驱动机构1-6连接倒置U型架，驱动其带着所有外部喷嘴1-5沿卡匣2运行方向往复移动，所有外部喷嘴1-5均朝向卡匣2；所述清洗室内的内部喷嘴、外部喷嘴均为喷水嘴；所述干燥室内的内部喷嘴、外部喷嘴均为喷气嘴；所述清洗室内底部还安装有若干毛刷，毛刷位于两个支撑座之间，并与卡匣底部接触；所述清洗室底部还安装有若干喷水嘴，喷水嘴朝向毛刷；通过毛刷清扫卡匣底部；所述毛刷为滚轮刷，所述清洗室底部旋转安装有若干滚轴，所述毛刷均匀分布套在滚轴上，与滚轴固定连接，所述清洗室还内安装有第二驱动机构，驱动机构连接滚轴带动毛刷转动；所述干燥室上还设置有热风口，并通过热风口连接热风管道；安装于干燥室内的内部喷嘴为鸭嘴式喷嘴，且向下倾斜；安装于干燥室内的外部喷嘴为扁口喷嘴；所述升降机构1-2为气缸或马达；所述第一驱动机构1-6为气缸或由马达以及与马达连接的皮带、带轮或丝杆、丝杆螺母连接构成；所述第二驱动机构为马达；所述清洗室倒U型架上还分别安装有喷水嘴，喷水嘴朝向卡匣2顶部吊点；所述清洗室底部还安装有若干喷水嘴，喷水嘴朝向卡匣2底部定位销柱内孔；所述清洗室侧壁还安装有若干喷水嘴，喷水嘴朝向卡匣2内部掩膜板放置架与侧立柱形成的拐角；所述外部喷嘴1-5上安装有万向球头接头。
在水、电、气、排气供应充足的情况下，设备安装调试完成后，设备进行全自动的运行模式；依照相关操作说明，也可在操作控制面板上进行手动操作，完成洗净干燥工艺。
由于文字表达的有限性，而客观上存在无限的具体结构，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明原理的前提下，还可以做出若干改进、润饰或变化，也可以将上述技术特征以适当的方式进行组合；这些改进润饰、变化或组合，或未经改进将发明的构思和技术方案直接应用于其它场合的，均应视为本发明的保护范围。
Claims (10)
1.一种OLED工艺金属掩膜板存储用卡匣清洗、干燥设备，所述设备包括清洗室与干燥室，所述卡匣先搬送至清洗室内进行清洗，清洗完成后，再转搬送到干燥室进行干燥；其特征于，所述清洗室、干燥室结构相同，均为一腔室，在所述腔室内底部两侧安装有搬送滚轮，所述卡匣由搬送滚轮进行传输，并支撑在搬送滚轮上；在所述腔室底部设置有内部喷嘴，所述内部喷嘴安装在升降机构上，由升降机构驱动内部喷嘴上下往复移动，从底部深入卡匣或退出卡匣，所述内部喷嘴为自旋转喷嘴，所述腔室内部还安装有倒置U型架，倒置U型架架于卡匣上方，其上均匀分布安装若干外部喷嘴，所述腔室外还安装有第一驱动机构，第一驱动机构连接倒置U型架，驱动其带着所有外部喷嘴沿卡匣运行方向往复移动，所有外部喷嘴均朝向卡匣；
所述清洗室内的内部喷嘴、外部喷嘴均为喷水嘴；
所述干燥室内的内部喷嘴、外部喷嘴均为喷气嘴。
2.根据权利要求1所述的一种OLED工艺金属掩膜板存储用卡匣清洗、干燥设备，其特征在于，所述清洗室内底部还安装有若干毛刷，毛刷位于两侧搬送滚轮之间，并与卡匣底部接触；所述清洗室底部还安装有若干喷水嘴，喷水嘴朝向毛刷；
所述毛刷为滚轮刷，所述清洗室底部旋转安装有若干滚轴，所述毛刷均匀分布套在滚轴上，与滚轴固定连接，所述清洗室还内安装有第二驱动机构，驱动机构连接滚轴带动毛刷转动。
3.根据权利要求1所述的一种OLED工艺金属掩膜板存储用卡匣清洗、干燥设备，其特征在于，所述干燥室上还设置有热风口，并通过热风口连接热风管道。
4.根据权利要求1所述的一种OLED工艺金属掩膜板存储用卡匣清洗、干燥设备，其特征在于，安装于干燥室内的内部喷嘴为鸭嘴式喷嘴，且向下倾斜；安装于干燥室内的外部喷嘴为扁口喷嘴。
5.根据权利要求1所述的一种OLED工艺金属掩膜板存储用卡匣清洗、干燥设备，其特征在于，所述升降机构为气缸或马达；所述第一驱动机构为气缸或由马达以及与马达连接的皮带、带轮或丝杆、丝杆螺母连接构成。
6.根据权利要求2所述的一种OLED工艺金属掩膜板存储用卡匣清洗、干燥设备，其特征在于，所述第二驱动机构为马达。
7.根据权利要求1所述的一种OLED工艺金属掩膜板存储用卡匣清洗、干燥设备，其特征在于，所述清洗室内的倒置U型架还分别安装有若干喷水嘴，喷水嘴朝向卡匣顶部吊点。
8.根据权利要求1所述的一种OLED工艺金属掩膜板存储用卡匣清洗、干燥设备，其特征在于，所述清洗室底部还安装有若干喷水嘴，喷水嘴朝向卡匣底部定位销柱内孔。
9.根据权利要求1所述的一种OLED工艺金属掩膜板存储用卡匣清洗、干燥设备，其特征在于，所述清洗室内的倒置U型架上还安装有若干喷水嘴，喷水嘴朝向卡匣内部掩膜板放置架与侧立柱形成的拐角。
10.根据权利要求1所述的一种OLED工艺金属掩膜板存储用卡匣清洗、干燥设备，其特征在于，所述外部喷嘴上安装有万向球头接头。
Priority Applications (1)
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| CN202021578742.XU CN212916926U (zh) | 2020-08-03 | 2020-08-03 | 一种oled工艺金属掩膜板存储用卡匣清洗、干燥设备 |
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| CN202021578742.XU CN212916926U (zh) | 2020-08-03 | 2020-08-03 | 一种oled工艺金属掩膜板存储用卡匣清洗、干燥设备 |
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Cited By (1)
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|---|---|---|---|---|
| CN117066238A (zh) * | 2023-10-17 | 2023-11-17 | 北京青禾晶元半导体科技有限责任公司 | 一种晶圆片盒清洗设备及晶圆片盒清洗方法 |
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2020
- 2020-08-03 CN CN202021578742.XU patent/CN212916926U/zh active Active
Cited By (2)
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| CN117066238A (zh) * | 2023-10-17 | 2023-11-17 | 北京青禾晶元半导体科技有限责任公司 | 一种晶圆片盒清洗设备及晶圆片盒清洗方法 |
| CN117066238B (zh) * | 2023-10-17 | 2023-12-15 | 北京青禾晶元半导体科技有限责任公司 | 一种晶圆片盒清洗设备及晶圆片盒清洗方法 |
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