CN212845534U - 探针测试装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种探针测试装置，包括探针模块以及电极部。探针模块包括本体、滑动部以及抵靠部，其中本体包括第一滑轨；滑动部滑设于第一滑轨上且包括滑动台座以及探针部，滑动台座包括第二滑轨，探针部连接于滑动台座，且探针部上配置有至少一个探针；抵靠部包括滑动件以及接触件，滑动件滑设于第二滑轨上，接触件连接于滑动件，接触件上形成有至少一个贯孔，且探针适于穿设于贯孔。电极部包括支撑部以及弹性电极，其中支撑部可在探针的排列方向上滑动；而弹性电极连接于支撑部且高度对应于探针。

Description

探针测试装置

技术领域

本实用新型有关于一种探针测试装置，且特别是关于一种可快速抵接物体并同时用探针进行测试的探针测试装置。

背景技术

激光二极管(laser diode,LD)是一种在半导体及精密电子组件领域中相当常见的发光组件。一般而言，激光二极管具有用以连接正电端的P层以及用以连接负电端的N层，当上述P-N界面连接外部电压源并形成正向偏压时，N层的电子获得能量且与P层的电洞结合，所产生的能量会以光子的形式释放，而这些释放的光子会继续撞击二极管内的原子从而释放更多的光子，再经由激光二极管内部平行配置的反射面进行多次全反射与共振，最终成为具有单一波长的高功率激光并从平行于反射面的间隙射出而发光。

在生产过程中，会先做出面积较大的硅晶圆，并经过在硅晶圆上方磊晶、掺入杂质、扩展等制程后形成整片的二极管，最后再进行切割以形成条状的激光二极管晶粒条或单颗的激光二极管晶粒。然而，当激光二极管需要进行发光性能测试时，通常需要移动至测试平台后才能进行通电发光测试，而在测试结束后需要再度移回原本的运送产在线进行下一阶段的流程，这种分段进行的步骤将大幅降低整个生产线的运转效率。除此之外，当一次有大量的激光二极管晶粒需要测试时，用户必须使用高精度的定位机构，或者使用人工的方式一一对准以进行测试，进一步导致设备或人力成本的增加以及时间的耗费。

实用新型内容

基于本实用新型的至少一个实施例，本实用新型提供一种可快速抵接物体并同时用探针进行测试的探针测试装置，以达到快速测试以及降低成本的效果。

本实用新型提供一种探针测试装置，包括探针模块以及电极部。探针模块包括本体、滑动部以及抵靠部，其中本体包括第一滑轨；滑动部滑设于第一滑轨上且包括滑动台座以及探针部，滑动台座包括第二滑轨，探针部连接于滑动台座，且探针部上配置有至少一个探针；抵靠部包括滑动件以及接触件，滑动件滑设于第二滑轨上，接触件连接于滑动件，接触件上形成有至少一个贯孔，且探针适于穿设于贯孔。电极部包括支撑部以及弹性电极，其中支撑部可在探针的排列方向上滑动；而弹性电极连接于支撑部且高度对应于探针。

优选地，弹性电极具有连接部以及弯折部，其中弯折部连接于连接部且相对于连接部弯折，接触件上还形成有穴部，且弯折部的一部分伸入穴部。

优选地，探针部包括延伸部以及夹持部。延伸部连接于滑动台座且延伸部的延伸方向平行于第二滑轨，夹持部垂直地连接于延伸部且形成有至少一个夹持孔，其中夹持孔对应于贯孔且夹持探针，且夹持部穿设于穴部。

优选地，探针测试装置还包括承载平台以及温度单元。承载平台配置于探针以及接触件的下方；温度单元包括流体管路以及温度传感器，其中流体管路通过承载平台，且温度传感器连接于承载平台。

优选地，探针模块还包括抽气接头。抵靠部内形成有气道，且贯孔以及抽气接头连通于气道。

优选地，接触件在远离所述滑动件的一端上形成有刃部，且贯孔通过刃部的顶端。

优选地，顶端上形成有凹部，且贯孔配置于凹部内。

优选地，本体还包括导柱，其中导柱平行于第一滑轨。探针模块还包括限位件，其中限位件连接于滑动部且套设于导柱。

优选地，滑动台座的顶部以及底部分别具有限位部。滑动台座还包括滑动导柱，其中滑动导柱连接于顶部的限位部以及底部的限位部，且滑动件套设于滑动导柱。

优选地，贯孔的数量大于等于探针的数量。

综上所述，本实用新型实施例提供的探针测试装置能通过探针穿设过贯孔接触物体进行测试，大幅缩短测试所需的时间。除此之外，通过支撑部带动弹性电极滑动，可自动对探针上所有接触物体的探针进行通电测试，进而省去人力以及精密机构的成本。

为使能更进一步了解本实用新型的特征及技术内容，请参阅以下有关本实用新型的详细说明与附图，但是此等说明与所附图式仅用来说明本实用新型，而非对本实用新型的权利范围作任何的限制。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型的探针测试装置的一个实施例的立体示意图；

图2为图1的探针模块的立体示意图；

图3为图2的探针模块的侧视示意图；

图4为图3的探针模块沿A-A剖面的剖视示意图；

图5为图4中圆形区域的放大示意图；

图6为图2的接触件的局部放大示意图；

图7为图1的探针测试装置的前视示意图；

图8为图1的探针测试装置的局部放大示意图；

图9为图7中圆形区域的放大示意图；

图10为本实用新型的探针测试装置另一个实施例的探针模块的立体示意图；

图11为图10的探针部以及接触件的局部放大示意图；以及

图12为图11另一个角度的示意图。

附图标记说明：

1 探针测试装置

100、100’ 探针模块

110 本体

112 第一滑轨

114 连接台座

116 导柱

120、120’ 滑动部

122 滑动台座

122a 第二滑轨

122b 滑动导柱

122c 限位部

124、124’ 探针部

124a、124a’ 延伸部

124b、124b’ 夹持部

126 探针

130、130’ 抵靠部

132 滑动件

134、134’ 接触件

134a、134a’ 刃部

134b 凹部

140 抽气接头

150 限位件

200 电极部

210 支撑部

220 弹性电极

222 连接部

224 弯折部

300 承载平台

400 温度单元

410 流体管路

420 温度传感器

2 物体

A-A 剖面

C 夹持孔

H、H’ 穴部

P、P’ 气道

T 贯孔

具体实施方式

有关本实用新型的前述及其它技术内容、特点与功效，在以下配合参考图式的较佳实施例的详细说明中，将可清楚地呈现。值得一提的是，以下实施例所提到的方向用语，例如：上、下、左、右、前或后等，仅是参考附加图式的方向。因此，使用的方向用语是用以说明，而非对本实用新型加以限制。此外，在下列各个实施例中，相同或相似的组件将采用相同或相似的标号。

请参考图1，图1为本实用新型的探针测试装置的一个实施例的立体示意图。本实施例的探针测试装置1用以测试物体，且包括探针模块100、电极部200、承载平台300以及温度单元400，其中探针模块100、电极部200、承载平台300以及温度单元400彼此连接。

请参考图2及图3，图2为图1的探针模块的立体示意图，图3为图2的探针模块的侧视示意图。本实施例的探针模块100包括本体110、滑动部120、抵靠部130、抽气接头140以及限位件150，其中滑动部120可相对于本体110滑动，抵靠部130可相对于滑动部120滑动，抽气接头140配置于抵靠部130上，而限位件150连接于滑动部120。

详细而言，本体110包括第一滑轨112、连接台座114以及导柱116，其中连接台座114用以让本体110与待进行测试的工具机械或平台结合，而第一滑轨112垂直地连接于连接台座114，导柱116与第一滑轨112彼此平行，且限位件150套设于导柱116。滑动部120滑设于第一滑轨112上，因此可相对于本体110在垂直方向上滑动，且由于连接于滑动部120的限位件150套设于导柱116，因此当滑动部120相对于本体110在垂直方向上滑动时，能够更稳定地限制滑动的行程及方向。

更进一步而言，滑动部120包括滑动台座122以及探针部124，其中滑动台座122包括第二滑轨122a，且滑动台座122的顶部以及底部分别具有限位部122c，其中限位部122c例如是挡板且垂直于第二滑轨122a。较佳地，滑动台座122还包括滑动导柱122b，其中滑动导柱122b连接于顶部的限位部122c以及底部的限位部122c。此外，探针部124连接于滑动台座122，且探针部124上配置有至少一个探针126，其中探针126例如是金属、合金或石墨所制的导体，用以提供探针测试装置1对物体进行测试。

另一方面，抵靠部130包括滑动件132以及接触件134，其中滑动件132滑设于第二滑轨122a上且套设于滑动导柱122b，而接触件134连接于滑动件132。因此，当接触件134抵接物体从而受到向上推挤的作用力时，滑动件132以及接触件134能够顺应上述的作用力而在第二滑轨122a的延伸方向上移动，且由于滑动件132套设于滑动导柱122b，因此能更稳定地限制滑动的行程及方向。

请参考图4及图5，图4为图3的探针模块沿A-A剖面的剖视示意图，图5为图4中圆形区域的放大示意图。在本实施例中，抵靠部130内形成有气道P，且抽气接头140连通于气道P，因此用户可通过抽气接头140将气道P内部的气体抽出，使气道P内部相对于外界形成负压空间。除此之外，如图4及图5所示，接触件134上形成有至少一个贯孔T，其中贯孔T的数量大于等于探针126的数量，而贯孔T连通于气道P，且探针126适于穿设于贯孔T。

如图5所示，贯孔T的孔径相较于探针126略大，因此探针126可自由地穿设于贯孔T，而探针部124上形成有至少一个夹持孔C，其中夹持孔C对应于贯孔T且夹持探针126。因此，当探针部124下方的接触件134接触物体而相对于探针部124向上移动时，探针126将穿入贯孔T并抵接至物体的上表面。

请参考图6，图6为图2的接触件的局部放大示意图。更进一步而言，探针部124包括延伸部124a以及夹持部124b，其中延伸部124a的延伸方向平行于第二滑轨122a且连接于滑动台座122底部的限位部122c，而夹持部124b垂直地连接于延伸部124a，且上述的夹持孔C形成在夹持部124b上。除此之外，接触件134上还形成有穴部H，且夹持部124b穿设于穴部H。换言之，探针126被夹持孔C夹持从而相对于探针部124固定，当用户想要通过接触件134吸取物体时，可利用抽气接头140进行抽气，由于贯孔T连通于气道P，此时贯孔T的下方将会形成负压吸力，并将物体吸附在接触件134的下端，借此可省去高精度的夹取工具，降低移动物体所需要的设备成本。而当接触件134成功吸附物体后，滑动部120可相对于第一滑轨112向下滑动，且一并带动搭载于滑动部120上的抵靠部130向下移动，当接触件134与吸附的物体抵接至承载平台300时，抵靠部130以及物体将会受到承载平台300的推挤而沿着第二滑轨122a向上滑动，致使探针部124以及接触件134产生相对运动，此时探针126将会向下穿入贯孔T并接触到贯孔T下方吸附的物体，完成测试的步骤。

除此之外，如图6所示，接触件134在远离滑动件132的一端上形成有刃部134a，其中刃部134a的厚度由上而下渐缩，且贯孔T通过刃部134a的顶端。借此，即使物体十分微小，例如是激光二极管晶粒条或激光二极管晶粒，接触件134依然能通过厚度缩减过的刃部134a精准地抵接于物体。

以下将针对探针测试装置1如何自动且快速地对物体进行通电测试进行说明，请参考图7至图9，图7为图1的探针测试装置的前视示意图，图8为图1的探针测试装置的局部放大示意图，图9为图7中圆形区域的放大示意图。如图7所示，电极部200包括支撑部210以及弹性电极220，其中支撑部210可在探针126的排列方向上滑动，而弹性电极220连接于支撑部210且高度对应于探针126。

详细而言，如图8所示，弹性电极220具有连接部222以及弯折部224，其中连接部222连接于支撑部210，而弯折部224连接于连接部222且相对于连接部222弯折，具体而言，弯折部224的一部分伸入穴部H。借此，如图8及图9所示，承载平台300为导体，且配置于探针126以及接触件134的下方。当用户想要对承载平台300上的物体2进行测试时，可借由上述的步骤使接触件134接触物体2，并通过滑动部120以及滑动件132的相对滑动使得探针126穿入贯孔T并抵接物体2的上表面，此时可将承载平台300通以电流(例如是直流正电)，并将弹性电极220通以电性相反的电流(例如是直流负电)。当支撑部210相对于探针126滑动时，弯折部224将会逐一接触到探针126并与物体2形成通电回路，借以快速且大量地对物体2进行测试。然而，在其它可能的实施例中，探针126也可单独通电并直接接触物体2进行测试，本实用新型对此并不加以限制。

除此之外，为了避免测试过程中物体2温度过高损坏，或是温度过低造成水分凝结影响测试流程，本实施例的温度单元400包括流体管路410以及温度传感器420，其中流体管路410通过承载平台300，且温度传感器420连接于承载平台300。借此，用户可将工作流体通入流体管路410内，并借由温度传感器420侦测工作流体的温度以适当地升温或降温，从而对承载平台300升温或降温以使其维持在适当的工作温度范围。

请参考图10至图12，图10为本实用新型的探针测试装置另一个实施例的探针模块的立体示意图，图11为图10的探针部以及接触件的局部放大示意图，图12为图11另一个角度的示意图。本实施例的探针模块100’与图2的探针吸取模块100相似，两者的主要差别在于：探针吸取模块100’的探针部124’上仅配置一个探针126，且刃部134a’上形成有凹部134b。详细而言，在本实施例中，刃部134a的顶端上形成有凹部134b，其中凹部134b的大小以及形状对应于待吸取的物体2，且贯孔T配置于凹部134b内。通过这样的配置，当接触件134接触或吸取物体2时，即使贯孔T的位置与物体有些许误差，在物体接触到凹部324时也能受到凹部324的结构正位并移动至贯孔T的正下方，达到定位的效果。

值得一提的是，虽然在探针模块100’中仅展示一个凹部134b的实施例，但本实用新型并不限于此，依据实际测试的需求，用户也可在刃部134a’的顶端上以等间距或不等间距的方式形成多个凹部134b，借此一次对多个物体2进行定位、吸附及测试。

以上所述仅为本实用新型的实施例，其并非用以局限本实用新型的专利范围。

Claims (10)

1.一种探针测试装置，其特征在于，包括：

探针模块，包括：

本体，包括第一滑轨；

滑动部，滑设于所述第一滑轨上且包括：

滑动台座，包括第二滑轨；以及

探针部，连接于所述滑动台座，且所述探针部上配置有至少一个探针；以及

抵靠部，包括：

滑动件，滑设于所述第二滑轨上；以及

接触件，连接于所述滑动件，所述接触件上形成有至少一个贯孔，且所述至少一个探针适于穿设于所述至少一个贯孔；以及

电极部，包括：

支撑部，可在所述至少一个探针的排列方向上滑动；以及

弹性电极，连接于所述支撑部且高度对应于所述至少一个探针。

2.根据权利要求1所述的探针测试装置，其特征在于，所述弹性电极具有连接部以及弯折部，所述弯折部连接于所述连接部且相对于所述连接部弯折，所述接触件上还形成有穴部，且所述弯折部的一部分伸入所述穴部。

3.根据权利要求2所述的探针测试装置，其特征在于，所述探针部包括延伸部以及夹持部，所述延伸部连接于所述滑动台座且所述延伸部的延伸方向平行于所述第二滑轨，所述夹持部垂直地连接于所述延伸部且形成有至少一个夹持孔，所述至少一个夹持孔对应于所述至少一个贯孔且夹持所述至少一个探针，且所述夹持部穿设于所述穴部。

4.根据权利要求1所述的探针测试装置，其特征在于，还包括：

承载平台，配置于所述至少一个探针以及所述接触件的下方；以及

温度单元，包括：

流体管路，通过所述承载平台；以及

温度传感器，连接于所述承载平台。

5.根据权利要求1所述的探针测试装置，其特征在于，所述探针模块还包括抽气接头，所述抵靠部内形成有气道，且所述至少一个贯孔以及所述抽气接头连通于所述气道。

6.根据权利要求1所述的探针测试装置，其特征在于，所述接触件在远离所述滑动件的一端上形成有刃部，且所述至少一个贯孔通过所述刃部的顶端。

7.根据权利要求6所述的探针测试装置，其特征在于，所述顶端上形成有凹部，且所述至少一个贯孔配置于所述凹部内。

8.根据权利要求1所述的探针测试装置，其特征在于，所述本体还包括导柱，所述导柱平行于所述第一滑轨，所述探针模块还包括限位件，所述限位件连接于所述滑动部且套设于所述导柱。

9.根据权利要求1所述的探针测试装置，其特征在于，所述滑动台座的顶部以及底部分别具有限位部，所述滑动台座还包括滑动导柱，所述滑动导柱连接于所述顶部的所述限位部以及所述底部的所述限位部，且所述滑动件套设于所述滑动导柱。

10.根据权利要求1所述的探针测试装置，其特征在于，所述至少一个贯孔的数量大于等于所述至少一个探针的数量。

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