CN212727580U - 一种真空水平式蚀刻机 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种真空水平式蚀刻机，主要包括外框、供气泵、顶电极、均气板、底电极和真空泵，所述外框内侧中部设置有开口向前的加工腔，所述外框位于加工腔内侧上部固定安装有顶电极，所述外框位于加工腔内侧下部固定安装有底电极，底电极顶端侧壁固定安装有等距排列的凸块，凸块顶端设置为弧形。本实用新型在结构上设计合理，设备采用大电极板，配合双重均气设备，使得酸性空气与线路板的接触均匀程度更好，配合易更换的酸气清洁部件和简单高效的换气设备，使得装置加工更加高效。

Description

一种真空水平式蚀刻机

技术领域

本实用新型涉及一种蚀刻机，具体是一种真空水平式蚀刻机。

背景技术

蚀刻机可以分为化学蚀刻机及电解蚀刻机两类。在化学蚀刻中是使用化学溶液，经由化学反应以达到蚀刻的目的，化学蚀刻机是将材料用化学反应或物理撞击作用而移除的技术，电离蚀刻机为酸气光刻机，通过真空状态下，对酸性气体施加电荷进行电力，通过电解后的酸性物质轰击电路板，将预先处理好的，带有部分被覆盖的镀膜层的电路板的裸露部分腐蚀掉，再将覆盖层洗掉，便可以得到蚀刻电路。

现有的蚀刻机的电极结构过小，配气不均匀，造成线路板蚀刻的程度不一，影响成品质量，且酸气的供给清洁度不足，线路板与底电极之间接触面积大，容易发生黏连。

发明内容

本实用新型的目的在于提供一种真空水平式蚀刻机，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种真空水平式蚀刻机，主要包括外框、供气泵、顶电极、均气板、底电极和真空泵，所述外框内侧中部设置有开口向前的加工腔，所述外框位于加工腔内侧上部固定安装有顶电极，所述外框位于加工腔内侧下部固定安装有底电极，底电极顶端侧壁固定安装有等距排列的凸块，凸块顶端设置为弧形，所述外框内侧位于顶电极和底电极之间固定安装有均气板，所述外框内侧位于均气板与顶电极之间固定安装有配气管，配气管左端固定安装有供气泵，所述外框内侧左部嵌设固定安装有开口向左的外壳，所述供气泵左端贯穿外壳右侧壁延伸到外壳内部，所述外壳内侧固定安装有等距排列的折架，折架之间填充有滤棉，所述折架内侧中部开设有过气孔，所述外壳左侧设置有盖板，所述盖板上部通孔通过外接管道与外部供气设备导通，所述外框内侧位于加工腔处内壁旋接安装有对称设置的旋接头，旋接头中部固定安装有气管，气管之间固定安装有气压表，气压表底端固定安装有真空泵，真空泵后侧壁与外框内壁固定连接，所述真空泵的右端开口固定安装有电磁阀，电磁阀右端开口通过管道与外部废气处理设备导通，所述电磁阀顶端开口通过三通头与右侧气管导通，所述真空泵右端开口位置设置有空气过滤器，所述外框内侧下部固定安装有控制器。

作为本实用新型进一步的方案：所述密封门中部嵌设固定安装有透视窗。

作为本实用新型再进一步的方案：所述外框前侧右下部转动安装有检修门。

作为本实用新型再进一步的方案：所述外框顶端左部设置有警报灯。

作为本实用新型再进一步的方案：所述控制器通过线束与警报灯、供气泵、顶电极、底电极、气压表、真空泵和电磁阀电性连接，所述控制器与外部电源电性连接。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

本实用新型在结构上设计合理，设备采用大电极板，配合双重均气设备，使得酸性空气与线路板的接触均匀程度更好，配合易更换的酸气清洁部件和简单高效的换气设备，使得装置加工更加高效。

附图说明

图1为真空水平式蚀刻机的结构示意图。

图2为真空水平式蚀刻机内部的结构示意图。

图3为真空水平式蚀刻机中底电极、顶电极、均气板和配气管之间的结构示意图。

图4为真空水平式蚀刻机中外框、滤棉、顶电极和均气板之间的结构示意图。

图中：外框1、检修门2、密封门3、警报灯4、控制器5、气管6、旋接头7、供气泵8、盖板9、外壳10、滤棉11、配气管12、顶电极13、均气板14、底电极15、气压表16、真空泵17、电磁阀18、折架19、凸块20。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“设置”应做广义理解，例如，可以是固定相连、设置，也可以是可拆卸连接、设置，或一体地连接、设置。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

请参阅图1～4，本实用新型实施例中，一种真空水平式蚀刻机，主要包括外框1、供气泵8、顶电极13、均气板14、底电极15和真空泵17，所述外框1内侧中部设置有开口向前的加工腔，所述外框1位于加工腔内侧上部固定安装有顶电极13，所述外框1位于加工腔内侧下部固定安装有底电极15，底电极15顶端侧壁固定安装有等距排列的凸块20，凸块20顶端设置为弧形，所述外框1内侧位于顶电极13和底电极15之间固定安装有均气板14，所述外框1内侧位于均气板14与顶电极13之间固定安装有配气管12，配气管 12左端固定安装有供气泵8，所述外框1内侧左部嵌设固定安装有开口向左的外壳10，所述供气泵8左端贯穿外壳10右侧壁延伸到外壳10内部，所述外壳10内侧固定安装有等距排列的折架19，折架19之间填充有滤棉11，所述折架19内侧中部开设有过气孔，所述外壳10左侧设置有盖板9，所述盖板9上部通孔通过外接管道与外部供气设备导通，所述外框1内侧位于加工腔处内壁旋接安装有对称设置的旋接头7，旋接头7中部固定安装有气管6，气管6之间固定安装有气压表16，气压表16底端固定安装有真空泵17，真空泵17后侧壁与外框1内壁固定连接，所述真空泵17的右端开口固定安装有电磁阀18，电磁阀18右端开口通过管道与外部废气处理设备导通，所述电磁阀18顶端开口通过三通头与右侧气管6导通，所述真空泵17右端开口位置设置有空气过滤器，空气过滤器采用可替换滤芯的滤芯过滤器，所述外框1内侧下部固定安装有控制器5。

所述密封门3中部嵌设固定安装有透视窗。

所述外框1前侧右下部转动安装有检修门2。

所述外框1顶端左部设置有警报灯4。

所述控制器5通过线束与警报灯4、供气泵8、顶电极13、底电极15、气压表16、真空泵17和电磁阀18电性连接，所述控制器5与外部电源电性连接。

本实用新型的工作原理是：

本实用新型涉及一种真空水平式蚀刻机，使用时，将显影后的线路板放置在底电极15 上，通过凸块20将线路板悬空顶起，凸块20顶端弧形，尽可能的在保证支撑平稳的前提下，降低接触面积，避免线路板与底电极15黏连，通过密封门3将外框1内部加工腔密封，通过电磁阀18将真空泵17与气管6与外部大气导通，为加工腔抽真空，通过电控的气压表16对内部真空度进行检测并上传控制器5，控制器5得知达到工作真空度后，通过供气泵8将外部供应的酸气清洁后充入加工腔上部，通过配气管12进行大致均分，之后通过均气板14进行精度均分，使得气体可以均匀的接触电路板，此时顶电极13和底电极 15导通不同电极，在两者之间形成方电解离范围，将酸性气体电解，并对线路板进行轰击刻蚀，加工中，真空泵17工作，将产生的挥发性物质抽走直到反应结束，并抽成真空避免遗留污染空气，之后电磁阀18将右部的气管6与外部废气处理设备的进气位置导通，将外部的普通空气放入内部，解除内部真空，方便开门取料，设备采用大电极板，配合双重均气设备，使得酸性空气与线路板的接触均匀程度更好，配合易更换的酸气清洁部件和简单高效的换气设备，使得装置加工更加高效。

对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。

Claims (5)

1.一种真空水平式蚀刻机，主要包括外框(1)、密封门(3)、供气泵(8)、顶电极(13)、均气板(14)、底电极(15)和真空泵(17)，其特征在于，所述外框(1)内侧中部设置有开口向前的加工腔，所述外框(1)位于加工腔内侧上部固定安装有顶电极(13)，所述外框(1)位于加工腔内侧下部固定安装有底电极(15)，底电极(15)顶端侧壁固定安装有等距排列的凸块(20)，凸块(20)顶端设置为弧形，所述外框(1)内侧位于顶电极(13)和底电极(15)之间固定安装有均气板(14)，所述外框(1)内侧位于均气板(14)与顶电极(13)之间固定安装有配气管(12)，配气管(12)左端固定安装有供气泵(8)，所述外框(1)内侧左部嵌设固定安装有开口向左的外壳(10)，所述供气泵(8)左端贯穿外壳(10)右侧壁延伸到外壳(10)内部，所述外壳(10)内侧固定安装有等距排列的折架(19)，折架(19)之间填充有滤棉(11)，所述折架(19)内侧中部开设有过气孔，所述外壳(10)左侧设置有盖板(9)，所述盖板(9)上部通孔通过外接管道与外部供气设备导通，所述外框(1)内侧位于加工腔处内壁旋接安装有对称设置的旋接头(7)，旋接头(7)中部固定安装有气管(6)，气管(6)之间固定安装有气压表(16)，气压表(16)底端固定安装有真空泵(17)，真空泵(17)后侧壁与外框(1)内壁固定连接，所述真空泵(17)的右端开口固定安装有电磁阀(18)，电磁阀(18)右端开口通过管道与外部废气处理设备导通，所述电磁阀(18)顶端开口通过三通头与右侧气管(6)导通，所述真空泵(17)右端开口位置设置有空气过滤器，所述外框(1)内侧下部固定安装有控制器(5)。

2.根据权利要求1所述的真空水平式蚀刻机，其特征在于，所述密封门(3)中部嵌设固定安装有透视窗。

3.根据权利要求1所述的真空水平式蚀刻机，其特征在于，所述外框(1)前侧右下部转动安装有检修门(2)。

4.根据权利要求1所述的真空水平式蚀刻机，其特征在于，所述外框(1)顶端左部设置有警报灯(4)。

5.根据权利要求1所述的真空水平式蚀刻机，其特征在于，所述控制器(5)通过线束与警报灯(4)、供气泵(8)、顶电极(13)、底电极(15)、气压表(16)、真空泵(17)和电磁阀(18)电性连接，所述控制器(5)与外部电源电性连接。

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