CN212681966U - 一种双抛机载具清洗用固定装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提供一种双抛机载具清洗用固定装置，具有用于放置载具的主支架和用于固定所述主支架的支撑架，所述主支架置于所述支撑架一侧并朝远离所述支撑架一侧延伸设置，所述主支架贯穿若干所述载具并使所述载具并行立放设置。本实用新型设计的固定装置，结构设计合理，与现有双抛机载具相适配，可放置多组载具并使载具间隔并排立放，使立放的载具更有利于其在清洗槽内清洗，不仅增加载具放置的稳定性，而且可防止其在清洗过程中晃动，清洗质量好，清洗效率高。
Description
技术领域
本实用新型属于半导体硅片抛光清洗设备技术领域，尤其是涉及一种双抛机载具清洗用固定装置。
背景技术
在半导体硅片的抛光过程中，承载硅片的双抛光载具是硅片抛光的重要辅助装置之一，主要负责是承载和固定硅片，直接关系着硅片抛光质量与否。双抛机使用的抛光液的主要成分是SiO2、NH4OH形成的胶体，很容易在双抛机内部以及双抛机载具表面形成SiO2结晶，需要及时清洗去除这些SiO2结晶颗粒。现有主要是自动化清洗代替以往的人工清洗，但在清洗过程中，如何固定载具并使之稳定放置在清洗槽中是保证其表面清洗完全的重要条件。
实用新型内容
本实用新型提供一种双抛机载具清洗用固定装置，解决了如何固定载具并使之稳定放置在清洗槽中的技术问题。
为解决上述技术问题，本实用新型采用的技术方案是：
一种双抛机载具清洗用固定装置，具有支撑架和用于放置载具的主支架，所述主支架置于所述支撑架一侧并朝远离所述支撑架一侧延伸设置；所述主支架贯穿若干所述载具并使所述载具并行立放设置。
进一步的，所述支撑架为T型结构，包括横梁和与所述横梁连接的竖梁，所述主支架垂直于所述竖梁远离所述横梁一端设置。
进一步的，所述主支架横截面为菱形结构，其长内角边与所述竖梁长度轴线平行设置。
进一步的，所述主支架上端部设有若干间隔且开口朝外设置的卡槽，所述卡槽沿所述主支架长度方向等间距设置。
进一步的，所述主支架上段部两侧面交错设有若干凸台，所述凸台垂直于所述主支架上段部两侧面设置。
进一步的，交错设置的所述凸台分设于所述卡槽两侧，并与所述卡槽对应设置。
进一步的，还设有与所述主支架并行设置的若干副支架，所述副支架均通过连杆与所述支撑架靠近所述主支架一端铰接。
进一步的，所述副支架与所述连杆垂直设置，所述副支架横截面为长方形结构。
进一步的，所述副支架与所述主支架长度相同。
进一步的，所述连杆靠近所述副支架一端设有可调杆，所述可调杆两端分别连接相邻所述连杆。
采用本实用新型设计的固定装置，通过主支架可放置多组双抛机载具，并使载具间隔并排立放，使立放的载具更有利于其在清洗槽内清洗；主支架的横截面为菱形结构与载具中的菱形通液孔的结构相适配，更有利于其支撑固定；同时在主支架的上端部设有若干均匀间隔设置卡槽，更便于载具放置，亦可放置多组载具，提高清洗效率；在主支架上段部的两侧均设有沿所在面垂直的凸台，可防止被放置的载具晃动，保持其在清洗时的稳固性；进一步的，还设有对称设置的副支架，用于贯穿载具另外两个菱形结构的通液孔，且副支架的长度与主支架一致，副支架与支撑架为铰接固定，便于调整其与载具的配合位置。
附图说明
图1是现有双抛机载具的结构示意图；
图2是本实用新型实施例一的固定装置与载具的配合图；
图3是本实用新型实施例一的固定装置的结构示意图；
图4是本实用新型实施例一的固定装置的侧面图；
图5是本实用新型实施例一的固定装置的俯视图；
图6是本实用新型实施例二的固定装置的结构示意图；
图7是本实用新型实施例二的固定装置的侧视图。
图中：
100、载具 110、通液孔一 120、通液孔二
130、通液孔三 200、支撑架 210、横梁
220、竖梁 300、主支架 310、卡槽
320、凸台 400、副支架 410、环形槽
500、连杆 600、可调杆
具体实施方式
下面结合附图和具体实施例对本实用新型进行详细说明。
本实施例提出的双抛机载具清洗用固定装置，其中，双抛机载具100的结构，如图1所示，载具100为圆型结构，外圆设有外齿轮，内部设有三个大尺寸的放置通孔用于放置半导体硅片，在放置通孔的旁边分别设有三个菱形结构的通液孔，分别为通液孔一110、通液孔二120和通液孔三130，通液孔一110、通液孔二120和通液孔三130均匀地设置在载具100的本体上且结构、大小相同。在清洗载具100时，根据载具100的结构特点，因为若水平平放载具100，不仅占用面积较大而且不易叠放多组清洗，无论是叠放还是分开放置，都极其难以控制。故，需要将载具100竖直立放在清洗槽中以获得更好的清洗效果，如何设计一种用于将载具100固定并使之竖直立放的固定装置是本申请的重点。
一种双抛机载具清洗用固定装置，如图2和图3所示，具有支撑架200和用于放置载具100的主支架300，主支架300设置在支撑架200的一侧并朝远离支撑架200的一侧延伸设置，即主支架300贯穿若干载具100并使载具100并行立放设置，便于载具100进入清洗槽中清洗。
具体地，支撑架200为T型结构，包括横梁210和与横梁210连接的竖梁220，竖梁220一端固定设置在横梁210的中间位置，横梁210可以与清洗机中的机械手或其它自动升降的装置连接，在此不具体限制。横梁210的长度不小于通液孔二120和通液孔三130的水平连接距离且不大于载具100的外圆直径。
如图4和图5所示，主支架300垂直于竖梁220远离横梁210的一端设置，且主支架300的横截面为菱形结构，与通液孔一110的菱形结构相适配，更有利于主支架300对载具100的支撑固定。主支架300的长内角边与竖梁220的长度轴线平行设置，即主支架300与竖梁220垂直且同向贯穿通液孔一110并与通液孔一110内壁相适配。优选地，主支架300的菱形外边角均为圆弧倒角，不仅防止割伤操作人员或损伤载具100的外表面，而且有利于固定放置操作。
进一步的，主支架300的上端部设有若干间隔且开口朝外设置的卡槽310，即在主支架300的上菱角边处设有若干间隔且开口朝外设置的卡槽310，卡槽310为U型结构或V型结构或其它结构，卡槽310的深度有3-5mm，卡槽310的间距W为30-100mm，且沿主支架300的长度方向等间距设置。若干均匀间隔设置的卡槽310，更便于放置载具100，亦可一次放置多组载具100进行清洗，提高清洗效率。
进一步的，主支架300上段部的两侧面上交错设有若干凸台320，凸台320均置于主支架300上段部两侧面的中间轴线处且垂直于其所在平面设置，交错设置的凸台320分设于卡槽310所在位置的两侧边，并与卡槽310对应设置。其中，凸台320为现有常见的弹性键，当载具100放置在卡槽310之前，凸台320内嵌在主支架300上并与其外壁面平齐；当载具100放置后，按压凸台320并使凸台320凸起高于其所在平面，从而用于阻挡载具100前后晃动，以提高载具100放置的稳固性，所述主支架上段部两侧面设置。
为进一步提高载具放置的稳固性，提出另一实施例，如图6和图7所示。即在上述结构的基础上，还设有与主支架300并行设置的若干副支架400，其中，副支架400的数量为两个，分别贯穿通液孔二120和通液孔三130，副支架400均通过连杆500与支撑架200靠近主支架300的一端铰接。
具体地，在竖梁220靠近主支架300的一端设有U型凹槽，凹槽沿竖梁220的长度方向设置并与主支架300垂直，两个连杆500的上端均通过螺栓与凹槽铰接，以调整副支架400的位置，便于与通液孔二120和通液孔三130配合。
进一步的，副支架400与连杆500垂直设置，且副支架400的横截面为长方形结构，并可贯穿通液孔二120设置。副支架400与主支架300的长度相同，在副支架400的长度方向上，设有一圈环形槽410，环形槽410的位置与卡槽310的位置相对于设置，目的是与每一个载具100中的通液孔二120和通液孔三130相配合。
进一步的，在连杆500靠近副支架400的一端设有可调杆600，可调杆600两端分别连接相邻的连杆500，以用于定位副支架400的位置并使其与通液孔二120和通液孔三130稳固配合。
在本实施例中，通过主支架300、两个副支架400分别与载具100中的通液孔一110、通液孔二120和通液孔三130配合，形成一个稳定的三角形的固定连接方式，从而更加稳固地提高载具100的放置，进而提高载具100清洗的一致性；间隔设置的卡槽310和环形槽410可进一步增加其配合效果；同时，亦可多组放置载具100，以提高清洗效率，降低生产成本。
本实用新型设计的固定装置，通过主支架可放置多组双抛机载具，并使载具间隔并排立放，使立放的载具更有利于其在清洗槽内清洗；主支架的横截面为菱形结构与载具中的菱形通液孔的结构相适配，更有利于其支撑固定；同时在主支架的上端部设有若干均匀间隔设置卡槽，更便于载具放置，亦可放置多组载具，提高清洗效率；在主支架上段部的两侧均设有沿所在面垂直的凸台，可防止被放置的载具晃动，保持其在清洗时的稳固性；进一步的，还设有对称设置的副支架，用于贯穿载具另外两个菱形结构的通液孔，且副支架的长度与主支架一致，副支架与支撑架为铰接固定，便于调整其与载具的配合位置。
以上对本实用新型的实施例进行了详细说明，所述内容仅为本实用新型的较佳实施例，不能被认为用于限定本实用新型的实施范围。凡依本实用新型申请范围所作的均等变化与改进等，均应仍归属于本实用新型的专利涵盖范围之内。
Claims (10)
1.一种双抛机载具清洗用固定装置，其特征在于，具有支撑架和用于放置载具的主支架，所述主支架置于所述支撑架一侧并朝远离所述支撑架一侧延伸设置；所述主支架贯穿若干所述载具并使所述载具并行立放设置。
2.根据权利要求1所述的一种双抛机载具清洗用固定装置，其特征在于，所述支撑架为T型结构，包括横梁和与所述横梁连接的竖梁，所述主支架垂直于所述竖梁远离所述横梁一端设置。
3.根据权利要求2所述的一种双抛机载具清洗用固定装置，其特征在于，所述主支架横截面为菱形结构，其长内角边与所述竖梁长度轴线平行设置。
4.根据权利要求3所述的一种双抛机载具清洗用固定装置，其特征在于，所述主支架上端部设有若干间隔且开口朝外设置的卡槽，所述卡槽沿所述主支架长度方向等间距设置。
5.根据权利要求4所述的一种双抛机载具清洗用固定装置，其特征在于，所述主支架上段部两侧面交错设有若干凸台，所述凸台垂直于所述主支架上段部两侧面设置。
6.根据权利要求5所述的一种双抛机载具清洗用固定装置，其特征在于，交错设置的所述凸台分设于所述卡槽两侧，并与所述卡槽对应设置。
7.根据权利要求1-6任一项所述的一种双抛机载具清洗用固定装置，其特征在于，还设有与所述主支架并行设置的若干副支架，所述副支架均通过连杆与所述支撑架靠近所述主支架一端铰接。
8.根据权利要求7所述的一种双抛机载具清洗用固定装置，其特征在于，所述副支架与所述连杆垂直设置，所述副支架横截面为长方形结构。
9.根据权利要求8所述的一种双抛机载具清洗用固定装置，其特征在于，所述副支架与所述主支架长度相同。
10.根据权利要求8或9所述的一种双抛机载具清洗用固定装置，其特征在于，所述连杆靠近所述副支架一端设有可调杆，所述可调杆两端分别连接相邻所述连杆。
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