CN212531301U

CN212531301U - 一种软着陆装置

Info

Publication number: CN212531301U
Application number: CN202020151855.5U
Authority: CN
Inventors: 林佳继; 庞爱锁; 刘群; 张武; 朱太荣
Original assignee: Shenzhen Laplace Energy Technology Co Ltd
Current assignee: Laplace New Energy Technology Co ltd
Priority date: 2020-02-04
Filing date: 2020-02-04
Publication date: 2021-02-12
Anticipated expiration: 2030-02-04

Abstract

一种软着陆装置，包括支撑杆、升降装置、推舟装置、升降导向装置以及桨座；所述升降装置以及升降导向装置设置于支撑杆，升降装置和升降导向装置平行设置；所述推舟装置设置于升降装置以及升降导向装置；所述桨座设置于推舟装置；本实用新型通过设置升降装置配合推舟装置实现对桨的进舟和退舟操作，同时在操作过程中实现取舟和放舟的软着陆。

Description

一种软着陆装置

技术领域

本实用新型涉及半导体以及光伏电池制造领域，特别是涉及一种软着陆装置。

背景技术

在半导体和太阳能电池的制造设备，比如扩散炉、氧化炉、退化炉、化学气相沉积炉等等，都需要打开炉门让负载硅片的舟进入炉管，再关上炉门，能够进行抽真空处。部分工艺的过程中还需要带桨操作，一般将舟设置于桨上或者两副桨之间，然后将工艺舟送入炉管内部，然后将桨撤出，关闭炉门进行工艺。由于上述过程需要对舟进行取放操作，为了保证舟和炉管的安全，需要在取放过程中采用软着陆。目前常规的软着陆方式有两种，一种是控制桨固定座的升降速度，但是由于升降的机构在桨固定座上，桨固定座需要设置电路，需要拖电线，存在安全隐患；另一种是通过运用杠杆原理，实现桨的另一端的升降，但是这种方法桨头部和尾部的升降高度差较大，当产能较大时，要求桨的长度更长，会进一步桨扩大头部和尾部的升降高度差，需要的炉管的内部空间也越大，而且这种方法也需要设置电路，需要拖电线，存在安全隐患。

发明内容

本实用新型的目的是解决现有技术的不足，提供一种软着陆装置，结构简单，使用方便。

一种软着陆装置，包括支撑杆、升降装置、推舟装置、升降导向装置以及桨座；所述升降装置以及升降导向装置设置于支撑杆；所述推舟装置设置于升降装置以及升降导向装置；所述桨座设置于推舟装置。

进一步的，所述推舟装置包括桨座固定块、驱动装置、模组以及推舟导向装置；所述推舟导向装置设置于模组；所述桨座固定块设置于推舟导向装置；所述驱动装置也设置于推舟导向装置。

进一步的，所述推舟导向装置包括直线光轴一与直线轴承一；所述驱动装置包括同步带、同步轮以及驱动电机；所述驱动电机设置于直线光轴一的一端；所述同步轮共两个，两个同步轮设置于直线光轴一的两端，其中靠近驱动电机的同步轮与驱动电机的输出端连接；所述同步带与直线轴承一固定连接。

进一步的，所述支撑杆竖直设置，所述支撑杆上设置有升降装置以及升降导向装置。

进一步的，所述升降装置共两个，两个升降装置分别设置于两根支撑杆上；两个升降装置中的一个设置有升降动力装置，两个升降装置之间设置传动轴。

进一步的，所述设置有升降动力装置的升降装置包括升降机固定块、升降动力装置、丝杆升降机、万向座以及万向座固定块；所述升降机固定块的一个面与推舟装置的模组固定连接；所述升降动力装置为伺服电机，所述伺服电机水平设置于升降机固定块的外侧面，该侧面垂直于地面，伺服电机与模组设置于升降机固定块相邻的两个面上；伺服电机的输出端设置丝杆升降机，丝杆升降机包括丝杆，丝杆的另一端设置万向座；所述万向座设置于万向座固定块，所述万向座固定块设置于支撑柱。

进一步的，所述万向座固定块与支撑座之间设置有支撑板；所述支撑板呈三角形，三角形的两条边分别与万向座固定块的下表面以及支撑柱的侧面贴合。

进一步的，所述升降导向装置包括直线轴承二、直线轴承底座、直线光轴二、限位块以及轨道固定座；所述直线轴承二设置于直线光轴二；所述直线轴承底座设置于直线光轴二；所述轨道固定块设置于直线光轴二的上下两端；轨道固定块与直线轴承二之间设置有限位块；轨道固定座设置于支撑杆。

进一步的，所述直线轴承二共两个，两个直线轴承二设置于一根直线光轴二上；所述直线光轴二竖直设置；所述轨道固定座包括上轨道固定座以及下轨道固定座，所述上轨道固定座与支撑柱之间设置上固定座，所述下轨道固定座与支撑柱之间设置下固定座；上轨道固定座与上固定座之间设置有轴承，轴承设置于上轨道固定座朝向上固定座一面的圆柱形镂空内，其中在轴承与上轨道固定座之间设置有卡簧；所述轴承的中间设置有轴，轴的一端穿过轴承和卡簧与上轨道固定座连接，轴的另一端与上固定座连接；所述下轨道固定座的侧面设置有下轨道固定座调整块，下轨道固定座调整块与下固定座之间设置螺丝；所述两个直线轴承二之间设置有直线轴承底座所述上轨道固定座与相邻的直线轴承二之间设置有上限位块，下轨道固定座与相邻的直线轴承二之间设置有下限位块。

进一步的，所述模组整体呈直长条形；所述桨座设置于桨座固定块，桨座与桨可拆式连接；所述桨座固定块包括侧板和底板；所述侧板共两块，两块侧板相互平行；所述底板设置于两块侧板之间，底板与侧板垂直设置；所述直线光轴一固定设置于模组的上下两侧，直线轴承一固定设置于桨座固定块侧块的内侧，直线轴承一套接于直线光轴一，直线轴承一能够在直线光轴一上滑动；所述同步带在直线光轴一的走向上围绕直线光轴一以及直线光轴一两端的同步轮一周。

本实用新型的有益效果为：

本实用新型通过设置升降装置配合推舟装置实现对桨的进舟和退舟操作，同时在操作过程中实现取舟和放舟的软着陆；

本实用新型通过设置万向座，容许升降装置的丝杆能够与升降机固定块之间的细小偏差，保证丝杆升降机的正常工作；

通过设置升降导向装置，保证推舟装置在垂直方向上平稳的动作，同时还能够通过调节下轨道固定座调整块调节推舟装置的升降方向。

附图说明

图1为本实用新型的后视图；

图2为本实用新型的侧视图；

图3为本实用新型推舟装置的结构示意图；

图4为本实用新型升降装置的结构示意图；

图5为本实用新型升降装置与升降导向装置配合示意图；

图6为本实用新型升降导向装置的结构图；

图7为本实用新型升降导向装置上、下轨道固定座连接关系图。

附图标识说明：支撑杆1、升降装置2、升降机固定块21、升降动力装置22、丝杆升降机23、丝杆231、万向座24、万向座固定块25、支撑板251、传动轴26、推舟装置3、桨座固定块31、侧板311、底板312、同步带321、同步轮322、驱动电机323、模组33、推舟导向装置34、直线光轴一341、直线轴承一342、升降导向装置4、直线轴承二41、直线轴承底座42、直线光轴二43、限位块44、上轨道固定座45、卡簧451、轴承452、轴453、上固定座46、下轨道固定座47、下轨道固定座调整块471、下固定座48、桨座5。

具体实施方式

以下通过特定的具体实例说明本实用新型的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本实用新型的其他优点与功效。本实用新型还可以通过另外不同的具体实施方式加以实施或应用，本说明书中的各项细节也可以基于不同观点与应用，在没有背离本实用新型的精神下进行各种修饰或改变。需说明的是，在不冲突的情况下，以下实施例及实施例中的特征可以相互组合。

需要说明的是，以下实施例中所提供的图示仅以示意方式说明本实用新型的基本构想，遂图式中仅显示与本实用新型中有关的组件而非按照实际实施时的组件数目、形状及尺寸绘制，其实际实施时各组件的型态、数量及比例可为一种随意的改变，且其组件布局型态也可能更为复杂。

实施例一：

如图1、2所示，一种软着陆装置，包括支撑杆1、升降装置2、推舟装置3、升降导向装置4以及桨座5。所述升降装置2以及升降导向装置4设置于支撑杆1，升降装置2和升降导向装置4平行设置；所述推舟装置3设置于升降装置2以及升降导向装置4；所述桨座5设置于推舟装置3。

如图3所示，所述推舟装置3包括桨座固定块31、驱动装置、模组33以及推舟导向装置34。所述推舟导向装置34设置于模组33；所述桨座固定块31设置于推舟导向装置34；所述驱动装置也设置于推舟导向装置34。

所述桨座固定块31呈U型，桨座固定块31包括两块相互平行的侧板311和设置于侧板311之间并且与侧板311垂直的底板312。所述模组33整体呈直长条形，在本实施例中模组33的截面为矩形，模组33位于桨座固定块31的两块侧板311之间。所述推舟导向装置34设置于模组33，推舟导向装置34位于模组33和桨座固定块31之间。所述推舟导向装置34可以为直线轴承和直线光轴的配合或者直线导轨，在本实施例中采用直线光轴一341与直线轴承一342配合，其中直线光轴一341固定设置于模组33的上下两侧，直线轴承一342固定设置于桨座固定块31侧块的内侧，直线轴承一342套接于直线光轴一341，直线轴承一342能够在直线光轴一341上滑动。所述驱动装置包括同步带321、同步轮322以及驱动电机323。所述驱动电机323设置于任意一根直线光轴一341的一端，驱动电机323的输出轴与模组33铰接。所述同步轮322共两个，两个同步轮322设置于直线光轴一341的两端，两个同步轮322将同步带321紧绷，其中靠近驱动电机323的同步轮322与驱动电机323的输出端连接。所述同步带321在直线光轴一341的走向上围绕直线光轴一341以及直线光轴一两端的同步轮一周。同步带321与直线轴承一342固定连接。在本实施例实施的过程中，驱动电机323转动，带动同步带321动作，同步带321带动直线轴承一342运动，进而实现桨座固定块31在直线光轴一341的走向上往返运动。

如图1所示，所述支撑杆1竖直设置，在本实施例中支撑杆1共六根，六根支撑杆1平行等间距设置。其中第二根以及第五根支撑杆1上设置有升降装置2，其余支撑杆1设置有升降导向装置4。两个升降装置2可以设置两个独立的升降动力装置22或者设置一个升降动力装置22但是在两个升降装置2之间设置有传动轴26。在本实施例中在一个升降装置2上设置升降动力装置22，同时在两个升降装置2之间设置传动轴26，另一个升降装置2依靠传动轴26作为升降的动力，目的是保证两个升降装置2的升降速度一致。

如图4、5所示，以设置有升降动力装置22的升降装置2为例，所述升降装置2包括升降机固定块21、升降动力装置22、丝杆升降机23、万向座24以及万向座固定块25。所述升降机固定块21的一个面与推舟装置3的模组33固定连接，可以采用螺纹连接。所述升降动力装置22可以采用气缸或者电机，在本实施例中为伺服电机，所述伺服电机水平设置于升降机固定块21的外侧面，该侧面垂直于地面，伺服电机与模组33设置于升降机固定块21相邻的两个面上。伺服电机的输出端设置丝杆升降机23，所述丝杆升降机23竖直设置，丝杆升降机23包括丝杆231，所述丝杆231能够在竖直方向上进行伸缩运动，丝杆231的另一端设置万向座24。所述万向座24设置于万向座固定块25，所述万向座固定块25设置于支撑柱，万向座固定块25与支撑座之间设置有支撑板251。所述支撑板251呈三角形，三角形的两条边分别与万向座固定块25的下表面以及支撑柱的侧面贴合。在本实施例中由于万向座24的作用，允许丝杆231与万向座固定块25之间的角度产生一定的偏差，保证丝杆231的正常转动。传动轴26可以设置于丝杆升降机23，丝杆升降机23转动，传动轴26也随之转动。

如图6、7所示，所述升降导向装置4包括直线轴承二41、直线轴承底座42、直线光轴二43、限位块44以及轨道固定座。所述直线轴承二41共两个，两个直线轴承二41设置于一根直线光轴二43上，直线轴承二41能够在直线光轴二43上滑动，所述直线光轴二43竖直设置，所述直线光轴二43的两端设置有轨道固定座，轨道固定座上设置有开口，目的是能够更好的夹紧直线光轴二43。所述轨道固定座包括上轨道固定座45以及下轨道固定座47，轨道固定座设置于支撑柱，其中上轨道固定座45与支撑柱之间设置上固定座46，下轨道固定座47与支撑柱之间设置下固定座48。固定座与连接柱之间可以采用螺纹连接。所述上轨道固定座45与上固定座46之间设置有轴承452，轴承452设置于上轨道固定座45朝向上固定座46一面的圆柱形镂空内，其中在轴承452与上轨道固定座45之间设置有卡簧451，起到垫片的作用。所述轴承452的中间设置有轴453，轴453的一端穿过轴承452和卡簧451与上轨道固定座45连接，轴453的另一端与上固定座46连接。所述下轨道固定座47的侧面设置有下轨道固定座调整块471，下轨道固定座调整块471与下固定座48的距离能够通过下轨道固定座调整块471与下固定座48之间设置的螺丝进行调节。在本实施例中通过调节下轨道固定座调整块471与下固定座48之间的距离，配合上轨道固定座45与上固定座46之间设置的轴承452，使直线光轴二43围绕轴承452产生转动，使得推舟装置3的倾角能够在一定程度上进行调整，通过调整，保证推舟装置3水平设置。上轨道固定座45与相邻的直线轴承二41之间设置有上限位块44，下轨道固定座47与相邻的直线轴承二41之间设置有下限位块44，上限位块44以及下限位块44用于限制直线轴承二41的运动范围。所述两个直线轴承二41之间设置有直线轴承底座42，所述直线轴承底座42用于连接推舟装置3的模组33，直线轴承底座42设置于两个直线轴承二41的同一侧。

所述桨座5设置于桨座固定块31，桨座5与桨可拆式连接，桨座5能够对桨实现固定。在本实施例实施的过程中，包括进舟操作和推舟操作，以进舟操作为例，首先由升降装置2将推舟装置3调整到合适高度，再由推舟装置3的驱动装置将桨座固定块31在直线光轴一341上传输到合适位置，实现桨和舟托进入炉管，最后升降装置2下降，将推舟装置3设置于炉管内，实现进舟操纵。推舟操作与进舟操作相反。

以上描述仅是本实用新型的一个具体实例，不构成对本实用新型的任何限制。显然对于本领域的专业人员来说，在了解了本实用新型内容和原理后，都可能在不背离本实用新型原理、结构的情况下，进行形式和细节上的各种修改和改变，但是这些基于本实用新型思想的修正和改变仍在本实用新型的权利要求保护范围之内。

Claims

1.一种软着陆装置，其特征在于，包括支撑杆、升降装置、推舟装置、升降导向装置以及桨座；所述升降装置以及升降导向装置设置于支撑杆，升降装置和升降导向装置平行设置；所述推舟装置设置于升降装置以及升降导向装置；所述桨座设置于推舟装置。

2.根据权利要求1所述的一种软着陆装置，其特征在于，所述推舟装置包括桨座固定块、驱动装置、模组以及推舟导向装置；所述推舟导向装置设置于模组；所述桨座固定块设置于推舟导向装置；所述驱动装置也设置于推舟导向装置。

3.根据权利要求2所述的一种软着陆装置，其特征在于，所述推舟导向装置包括直线光轴一与直线轴承一；所述驱动装置包括同步带、同步轮以及驱动电机；所述驱动电机设置于直线光轴一的一端；所述同步轮共两个，两个同步轮设置于直线光轴一的两端，其中靠近驱动电机的同步轮与驱动电机的输出端连接；所述同步带与直线轴承一固定连接。

4.根据权利要求1所述的一种软着陆装置，其特征在于，所述支撑杆竖直设置，所述支撑杆上设置有升降装置以及升降导向装置。

5.根据权利要求1所述的一种软着陆装置，其特征在于，所述升降装置共两个，两个升降装置分别设置于两根支撑杆上；两个升降装置中的一个设置有升降动力装置，两个升降装置之间设置传动轴。

6.根据权利要求5所述的一种软着陆装置，其特征在于，所述设置有升降动力装置的升降装置包括升降机固定块、升降动力装置、丝杆升降机、万向座以及万向座固定块；所述升降机固定块的一个面与推舟装置的模组固定连接；所述升降动力装置为伺服电机，所述伺服电机水平设置于升降机固定块的外侧面，该侧面垂直于地面，伺服电机与模组设置于升降机固定块相邻的两个面上；伺服电机的输出端设置丝杆升降机，丝杆升降机包括丝杆，丝杆的另一端设置万向座；所述万向座设置于万向座固定块，所述万向座固定块设置于支撑柱。

7.根据权利要求6所述的一种软着陆装置，其特征在于，所述万向座固定块与支撑座之间设置有支撑板；所述支撑板呈三角形，三角形的两条边分别与万向座固定块的下表面以及支撑柱的侧面贴合。

8.根据权利要求1所述的一种软着陆装置，其特征在于，所述升降导向装置包括直线轴承二、直线轴承底座、直线光轴二、限位块以及轨道固定座；所述直线轴承二设置于直线光轴二；所述直线轴承底座设置于直线光轴二；所述轨道固定座设置于直线光轴二的上下两端；轨道固定座与直线轴承二之间设置有限位块；轨道固定座设置于支撑杆。

9.根据权利要求8所述的一种软着陆装置，其特征在于，所述直线轴承二共两个，两个直线轴承二设置于一根直线光轴二上；所述直线光轴二竖直设置；所述轨道固定座包括上轨道固定座以及下轨道固定座，所述上轨道固定座与支撑柱之间设置上固定座，所述下轨道固定座与支撑柱之间设置下固定座；上轨道固定座与上固定座之间设置有轴承，轴承设置于上轨道固定座朝向上固定座一面的圆柱形镂空内，其中在轴承与上轨道固定座之间设置有卡簧；所述轴承的中间设置有轴，轴的一端穿过轴承和卡簧与上轨道固定座连接，轴的另一端与上固定座连接；所述下轨道固定座的侧面设置有下轨道固定座调整块，下轨道固定座调整块与下固定座之间设置螺丝；所述两个直线轴承二之间设置有直线轴承底座所述上轨道固定座与相邻的直线轴承二之间设置有上限位块，下轨道固定座与相邻的直线轴承二之间设置有下限位块。

10.根据权利要求3所述的一种软着陆装置，其特征在于，所述模组整体呈直长条形；所述桨座设置于桨座固定块，桨座与桨可拆式连接；所述桨座固定块包括侧板和底板；所述侧板共两块，两块侧板相互平行；所述底板设置于两块侧板之间，底板与侧板垂直设置；所述直线光轴一固定设置于模组的上下两侧，直线轴承一固定设置于桨座固定块侧块的内侧，直线轴承一套接于直线光轴一，直线轴承一能够在直线光轴一上滑动；所述同步带在直线光轴一的走向上围绕直线光轴一以及直线光轴一两端的同步轮一周。