CN212461647U - 一种半导体加工用夹持装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种半导体加工用夹持装置，包括底板，所述底板顶部的中心处固定连接有支撑块，所述支撑块顶部的四角均固定连接有限位块，所述支撑块的顶部且位于限位块相对的一侧之间放置有半导体加工件，所述底板顶部的后侧开设有凹槽，所述凹槽的内腔设置有固定板，所述固定板顶部的两侧与底板顶部前侧的两侧均固定连接有竖板。本实用新型通过底板、紧固螺栓、滑套、滑杆、限位块、半导体加工件、支撑块、卡板、固定板、夹持板、竖板、橡胶垫、凹槽和螺纹孔的配合使用，解决了现有的夹持装置只能进行单个夹持，在切割完成后通常需要重新固定才能进行二次切割，这样逐次切割操作起来非常麻烦，降低了加工效率的问题。

Description

一种半导体加工用夹持装置

技术领域

本实用新型涉及半导体加工技术领域，具体为一种半导体加工用夹持装置。

背景技术

半导体指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料，半导体在集成电路、消费电子、通信系统、光伏发电、照明、大功率电源转换等领域都有应用，如二极管就是采用半导体制作的器件，无论从科技或是经济发展的角度来看，半导体的重要性都是非常巨大的，大部分的电子产品，如计算机、移动电话或是数字录音机当中的核心单元都和半导体有着极为密切的关联，常见的半导体材料有硅、锗、砷化镓等，硅是各种半导体材料应用中最具有影响力的一种。

半导体加工在切割的过程中需要对半导体进行夹持，现有的夹持装置只能进行单个夹持，在切割完成后通常需要重新固定才能进行二次切割，这样逐次切割操作起来非常麻烦，降低了加工效率。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种半导体加工用夹持装置，具备可同时对多处进行夹持的优点，解决了现有的夹持装置只能进行单个夹持，在切割完成后通常需要重新固定才能进行二次切割，这样逐次切割操作起来非常麻烦，降低了加工效率的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种半导体加工用夹持装置，包括底板，所述底板顶部的中心处固定连接有支撑块，所述支撑块顶部的四角均固定连接有限位块，所述支撑块的顶部且位于限位块相对的一侧之间放置有半导体加工件，所述底板顶部的后侧开设有凹槽，所述凹槽的内腔设置有固定板，所述固定板顶部的两侧与底板顶部前侧的两侧均固定连接有竖板，所述竖板左右相对的一侧之间设置有滑杆，所述滑杆的表面活动套设有滑套，前后相对一侧滑套顶部的两侧均固定连接有夹持板，所述滑套前后相反的一侧开设有螺纹孔，所述螺纹孔的内腔螺纹连接有紧固螺栓，所述紧固螺栓的一端贯穿至滑套的内腔并与滑杆的表面紧密接触，所述底板顶部后侧的中心处活动连接有卡板，所述卡板的底部与固定板的顶部接触。

优选的，所述限位块为“L”型结构，所述凹槽的尺寸略大于固定板的尺寸，且固定板的顶部与底板的顶部处于同一水平面。

优选的，所述夹持板的底部固定连接有橡胶垫，所述橡胶垫的底部与半导体加工件的顶部接触。

优选的，所述滑套的内腔与滑杆的表面滑动连接，所述底板顶部的后侧设置有刻度线。

优选的，所述紧固螺栓远离滑套的一侧固定连接有紧固旋钮，前侧滑杆与前侧竖板的连接处之间通过转轴一活动连接，后侧滑杆与后侧竖板的连接处之间固定连接。

优选的，所述卡板为薄质金属板，所述卡板与底板的顶部之间通过转轴二活动连接。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：

1、本实用新型通过底板、紧固螺栓、滑套、滑杆、限位块、半导体加工件、支撑块、卡板、固定板、夹持板、竖板、橡胶垫、凹槽和螺纹孔的配合使用，具备可同时对多处进行夹持的优点，解决了现有的夹持装置只能进行单个夹持，在切割完成后通常需要重新固定才能进行二次切割，这样逐次切割操作起来非常麻烦，降低了加工效率的问题。

2、本实用新型通过凹槽的使用，能够对固定板进行放置，从而能够保证夹持板的前后两侧保持齐平，通过紧固旋钮的使用，能够方便转动紧固螺栓，通过紧固螺栓和螺纹孔的使用，能够方便将滑套固定在滑杆上，通过刻度线的使用，能够方便对夹持板的移动距离进行观测，从而方便对半导体加工件进行精确夹持，通过橡胶垫的使用，能够避免夹持板在夹持的过程中对半导体加工件造成损害，通过限位块的使用，能够方便对半导体加工件进行限位，避免其在切割的过程中从支撑块的顶部脱落。

附图说明

图1为本实用新型俯视结构示意图；

图2为本实用新型左视剖视结构图；

图3为本实用新型图2中A的放大结构图。

图中：1底板、2紧固螺栓、3滑套、4滑杆、5限位块、6半导体加工件、7支撑块、8卡板、9固定板、10夹持板、11竖板、12橡胶垫、13凹槽、14螺纹孔。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在实用新型的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“内”、“外”“前端”、“后端”、“两端”、“一端”、“另一端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“设置有”、“连接”等，应做广义理解，例如“连接”，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

本实用新型的底板1、紧固螺栓2、滑套3、滑杆4、限位块5、半导体加工件6、支撑块7、卡板8、固定板9、夹持板10、竖板11和橡胶垫12部件均为通用标准件或本领域技术人员知晓的部件，其结构和原理都为本技术人员均可通过技术手册得知或通过常规实验方法获知。

请参阅图1-3，一种半导体加工用夹持装置，包括底板1，底板1顶部的中心处固定连接有支撑块7，支撑块7顶部的四角均固定连接有限位块5，限位块5为“L”型结构，通过限位块5的使用，能够方便对半导体加工件6进行限位，避免其在切割的过程中从支撑块7的顶部脱落，支撑块7的顶部且位于限位块5相对的一侧之间放置有半导体加工件6，底板1顶部的后侧开设有凹槽13，凹槽13的内腔设置有固定板9，凹槽13的尺寸略大于固定板9的尺寸，且固定板9的顶部与底板1的顶部处于同一水平面，通过凹槽13的使用，能够对固定板9进行放置，从而能够保证夹持板10的前后两侧保持齐平，固定板9顶部的两侧与底板1顶部前侧的两侧均固定连接有竖板11，竖板11左右相对的一侧之间设置有滑杆4，前侧滑杆4与前侧竖板11的连接处之间通过转轴一活动连接，后侧滑杆4与后侧竖板11的连接处之间固定连接，滑杆4的表面活动套设有滑套3，滑套3的内腔与滑杆4的表面滑动连接，底板1顶部的后侧设置有刻度线，通过刻度线的使用，能够方便对夹持板10的移动距离进行观测，从而方便对半导体加工件6进行精确夹持，前后相对一侧滑套3顶部的两侧均固定连接有夹持板10，夹持板10的底部固定连接有橡胶垫12，橡胶垫12的底部与半导体加工件6的顶部接触，通过橡胶垫12的使用，能够避免夹持板10在夹持的过程中对半导体加工件6造成损害，滑套3前后相反的一侧开设有螺纹孔14，螺纹孔14的内腔螺纹连接有紧固螺栓2，紧固螺栓2远离滑套3的一侧固定连接有紧固旋钮，通过紧固旋钮的使用，能够方便转动紧固螺栓2，通过紧固螺栓2和螺纹孔14的使用，能够方便将滑套3固定在滑杆4上，紧固螺栓2的一端贯穿至滑套3的内腔并与滑杆4的表面紧密接触，底板1顶部后侧的中心处活动连接有卡板8，卡板8的底部与固定板9的顶部接触，卡板8为薄质金属板，卡板8与底板1的顶部之间通过转轴二活动连接，通过底板1、紧固螺栓2、滑套3、滑杆4、限位块5、半导体加工件6、支撑块7、卡板8、固定板9、夹持板10、竖板11、橡胶垫12、凹槽13和螺纹孔14的配合使用，具备可同时对多处进行夹持的优点，解决了现有的夹持装置只能进行单个夹持，在切割完成后通常需要重新固定才能进行二次切割，这样逐次切割操作起来非常麻烦，降低了加工效率的问题。

使用时，将卡板8向上掀起并转动，使其从固定板9的顶部脱落，然后将固定板9向上抬起，使前侧滑杆4以转轴一为圆心转动，从而将夹持板10掀起，然后将半导体加工件6放置于支撑块7的顶部限位块5之间，然后将夹持板10盖在半导体加工件6的顶部，使橡胶垫12的底部与半导体加工件6的顶部接触，然后旋松紧固螺栓2，并移动滑套3，从而带动夹持板10移动，达到对切割距离进行调节的效果，调节完成后，旋紧紧固螺栓2，然后向下按压固定板9，然后将卡板8重新转动至固定板9达到固定效果，然后从每个滑套3顶部的两个夹持板10之间的间隙处进行切割，达到切割效果，且切割后不影响其它位置的切割，从而达到多处固定的效果。

综上所述：该半导体加工用夹持装置，通过底板1、紧固螺栓2、滑套3、滑杆4、限位块5、半导体加工件6、支撑块7、卡板8、固定板9、夹持板10、竖板11、橡胶垫12、凹槽13和螺纹孔14的配合使用，解决了现有的夹持装置只能进行单个夹持，在切割完成后通常需要重新固定才能进行二次切割，这样逐次切割操作起来非常麻烦，降低了加工效率的问题。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (6)

1.一种半导体加工用夹持装置，包括底板(1)，其特征在于：所述底板(1)顶部的中心处固定连接有支撑块(7)，所述支撑块(7)顶部的四角均固定连接有限位块(5)，所述支撑块(7)的顶部且位于限位块(5)相对的一侧之间放置有半导体加工件(6)，所述底板(1)顶部的后侧开设有凹槽(13)，所述凹槽(13)的内腔设置有固定板(9)，所述固定板(9)顶部的两侧与底板(1)顶部前侧的两侧均固定连接有竖板(11)，所述竖板(11)左右相对的一侧之间设置有滑杆(4)，所述滑杆(4)的表面活动套设有滑套(3)，前后相对一侧滑套(3)顶部的两侧均固定连接有夹持板(10)，所述滑套(3)前后相反的一侧开设有螺纹孔(14)，所述螺纹孔(14)的内腔螺纹连接有紧固螺栓(2)，所述紧固螺栓(2)的一端贯穿至滑套(3)的内腔并与滑杆(4)的表面紧密接触，所述底板(1)顶部后侧的中心处活动连接有卡板(8)，所述卡板(8)的底部与固定板(9)的顶部接触。

2.根据权利要求1所述的一种半导体加工用夹持装置，其特征在于：所述限位块(5)为“L”型结构，所述凹槽(13)的尺寸略大于固定板(9)的尺寸，且固定板(9)的顶部与底板(1)的顶部处于同一水平面。

3.根据权利要求1所述的一种半导体加工用夹持装置，其特征在于：所述夹持板(10)的底部固定连接有橡胶垫(12)，所述橡胶垫(12)的底部与半导体加工件(6)的顶部接触。

4.根据权利要求1所述的一种半导体加工用夹持装置，其特征在于：所述滑套(3)的内腔与滑杆(4)的表面滑动连接，所述底板(1)顶部的后侧设置有刻度线。

5.根据权利要求1所述的一种半导体加工用夹持装置，其特征在于：所述紧固螺栓(2)远离滑套(3)的一侧固定连接有紧固旋钮，前侧滑杆(4)与前侧竖板(11)的连接处之间通过转轴一活动连接，后侧滑杆(4)与后侧竖板(11)的连接处之间固定连接。

6.根据权利要求1所述的一种半导体加工用夹持装置，其特征在于：所述卡板(8)为薄质金属板，所述卡板(8)与底板(1)的顶部之间通过转轴二活动连接。

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