CN212433224U - 用于半导体材料测试的四探针测试仪 - Google Patents
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- 239000000523 sample Substances 0.000 title claims abstract description 30
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract description 23
- 238000004154 testing of material Methods 0.000 title description 2
- 238000012360 testing method Methods 0.000 claims abstract description 30
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 27
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 18
- 238000013016 damping Methods 0.000 claims description 9
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 5
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 4
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
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Abstract
本实用新型提供一种用于半导体材料测试的四探针测试仪。所述用于半导体材料测试的四探针测试仪包括：检测仪放置台，所述放置台固定安装在检测仪的顶部；检测台，所述检测台转动安装在放置台的顶部；升降器，所述升降器固定安装爱放置台上；探测仪，所述探测仪固定安装在升降器上；第一转动槽，所述第一转动槽开设在放置台的一侧；内螺纹管，所述内螺纹管转动安装在第一转动槽内，所述内螺纹管的一端延伸至第一转动槽外；调节轮，所述调节轮固定安装在内螺纹管的一端；滑槽，所述滑槽开设在第一转动槽的一侧内壁上。本实用新型提供的用于半导体材料测试的四探针测试仪具有使用方便、便于检测体移动至探针底部的优点。
Description
技术领域
本实用新型涉及四探针探测仪技术领域，尤其涉及一种用于半导体材料测试的四探针测试仪。
背景技术
四探针测试仪是运用四探针测量原理的多用途综合测量设备，经检索，相关技术中公开用于半导体材料测试的四探针测试仪，包括底座，底座的底部设有支撑柱，底座上设有竖杆，竖杆上设有安装支座，安装支座上设有调节螺杆，安装支座的一侧设有滑动板，滑动板的一端设有限位块，安装支座内设有卡槽，滑动板的一端设有固定支座，固定支座的两侧均设有第一连接杆，第一连接杆的一端设有第二连接杆，固定支座上设有第一转轴，第一转轴上设有齿轮和转动钮，第一转轴的一侧设有第二转轴，第二转轴上设有弧形板，弧形板上设有齿条，弧形板的一端设有探头，探头上设有接线头，探头的下方设有单晶段，底座上设有显示器，显示器接口端连接有导线。
但是，上述技术中还存在不足之处，很多材料体型较小，想要准确的放置到探针底部较为困难，因此，有必要提供一种新的用于半导体材料测试的四探针测试仪解决上述技术问题。
实用新型内容
本实用新型解决的技术问题是提供一种使用方便、便于检测体移动至探针底部的用于半导体材料测试的四探针测试仪。
为解决上述技术问题，本实用新型提供的用于半导体材料测试的四探针测试仪包括：检测仪放置台，所述放置台固定安装在检测仪的顶部；检测台，所述检测台转动安装在放置台的顶部；升降器，所述升降器固定安装爱放置台上；探测仪，所述探测仪固定安装在升降器上；第一转动槽，所述第一转动槽开设在放置台的一侧；内螺纹管，所述内螺纹管转动安装在第一转动槽内，所述内螺纹管的一端延伸至第一转动槽外；调节轮，所述调节轮固定安装在内螺纹管的一端；滑槽，所述滑槽开设在第一转动槽的一侧内壁上；螺纹杆，所述螺纹杆螺纹安装在内螺纹管内，所述螺纹杆的一端延伸至滑槽内；推杆，所述推杆滑动安装在滑槽内，所述推杆的一端与螺纹杆固定连接；斜块，所述斜块固定安装爱推杆的一端；滑孔，所述滑孔开设在滑槽的顶部内壁上；卡块，所述卡块滑动安装在滑孔内；转动轮，所述转动轮转动安装在卡块的底板，所述转动轮的底部与斜块相接触。
优选的，所述放置台的顶部开设有第二转动槽，所述第二转动槽内转动安装有转动轴，所述转动轴的顶部与检测台的底部固定连接。
优选的，所述检测台的底部嵌设有四个呈环形分布的滑珠，所述滑珠与放置台的顶部相接触。
优选的，所述滑槽的顶部内壁上开设有第一限位槽，所述第一限位槽内滑动安装有第一限位块，所述第一限位块的底部与推杆的顶部固定连接。
优选的，所述滑孔的两侧内壁上均开设有第二限位槽，两个第二限位槽内均滑动安装有第二限位块，两个第二限位块相互靠近的一侧均与卡块固定连接。
优选的，所述卡块的顶部固定安装有阻尼块，所述阻尼块的顶部与检测台的底部相接触，所述检测台的顶部标记放置区，所述放置区与转动180°后正好位于台侧以的底部。
与相关技术相比较，本实用新型提供的用于半导体材料测试的四探针测试仪具有如下有益效果：
本实用新型提供一种用于半导体材料测试的四探针测试仪，通过内螺纹管、调节轮、滑槽、螺纹杆、推杆、斜块、滑孔、卡块和转动轮相配合，可以对检测台进行固定，使得检测台在调节好物质的位置时可以进行锁定。
附图说明
图1为本实用新型提供的用于半导体材料测试的四探针测试仪的正视剖视结构示意图；
图2为图1中A部分的放大结构示意图；
图3为本实用新型的侧视结构示意图。
图中标号：1、检测仪；2、放置台；3、检测台；4、升降器；5、探测仪；6、第一转动槽；7、内螺纹管；8、调节轮；9、滑槽；10、螺纹杆；11、推杆；12、斜块；13、滑孔；14、卡块；15、转动轮。
具体实施方式
下面结合附图和实施方式对本实用新型作进一步说明。
请结合参阅图1、图2和图3，其中，图1为本实用新型提供的用于半导体材料测试的四探针测试仪的正视剖视结构示意图；图2为图1中A部分的放大结构示意图；图3为本实用新型的侧视结构示意图。用于半导体材料测试的四探针测试仪包括：检测仪1放置台2，所述放置台2固定安装在检测仪1的顶部；检测台3，所述检测台3转动安装在放置台2的顶部；升降器4，所述升降器4固定安装爱放置台2上；探测仪5，所述探测仪5固定安装在升降器4上；第一转动槽6，所述第一转动槽6开设在放置台2的一侧；内螺纹管7，所述内螺纹管7转动安装在第一转动槽6内，所述内螺纹管7的一端延伸至第一转动槽6外；调节轮8，所述调节轮8固定安装在内螺纹管7的一端；滑槽9，所述滑槽9开设在第一转动槽6的一侧内壁上；螺纹杆10，所述螺纹杆10螺纹安装在内螺纹管7内，所述螺纹杆10的一端延伸至滑槽9内；推杆11，所述推杆11滑动安装在滑槽9内，所述推杆11的一端与螺纹杆10固定连接；斜块12，所述斜块12固定安装爱推杆11的一端；滑孔13，所述滑孔13开设在滑槽9的顶部内壁上；卡块14，所述卡块14滑动安装在滑孔13内；转动轮15，所述转动轮15转动安装在卡块14的底板，所述转动轮15的底部与斜块12相接触。
所述放置台2的顶部开设有第二转动槽，所述第二转动槽内转动安装有转动轴，所述转动轴的顶部与检测台3的底部固定连接。
所述检测台3的底部嵌设有四个呈环形分布的滑珠，所述滑珠与放置台2的顶部相接触。
所述滑槽9的顶部内壁上开设有第一限位槽，所述第一限位槽内滑动安装有第一限位块，所述第一限位块的底部与推杆11的顶部固定连接。
所述滑孔13的两侧内壁上均开设有第二限位槽，两个第二限位槽内均滑动安装有第二限位块，两个第二限位块相互靠近的一侧均与卡块14固定连接。
所述卡块14的顶部固定安装有阻尼块，所述阻尼块的顶部与检测台3的底部相接触，所述检测台3的顶部标记放置区，所述放置区与转动180°后正好位于台侧以5的底部。
本实用新型提供的用于半导体材料测试的四探针测试仪的工作原理如下：
使用时，将需要检测的物质放置到检测台3顶部的放置区中，然后转动调节轮8，调节轮8带动内螺纹管7转动，在螺纹的作用下，内螺纹管7带动螺纹杆10横向移动，螺纹杆10通过推杆11带动斜块12移动，当转动轮15失去斜块12的抵动，从而使得卡块14带动阻尼块下落，当检测台3失去阻尼块的限位后，将检测台3转动180°，使得检测台3上的待检物质正好转动至探测仪5的正下方，此时，反转调节轮8，使得阻尼块上升将检测台3卡主，以防止检测台3转动，随后即可通过升降器4使得探测仪下降，从而完成对物质的检测工作。
与相关技术相比较，本实用新型提供的用于半导体材料测试的四探针测试仪具有如下有益效果：
本实用新型提供一种用于半导体材料测试的四探针测试仪，通过内螺纹管7、调节轮8、滑槽9、螺纹杆10、推杆11、斜块12、滑孔13、卡块14和转动轮15相配合，可以对检测台3进行固定，使得检测台3在调节好物质的位置时可以进行锁定。
需要说明的是，本实用新型的设备结构和附图主要对本实用新型的原理进行描述，在该设计原理的技术上，装置的动力机构、供电系统及控制系统等的设置并没有完全描述清楚，而在本领域技术人员理解上述实用新型的原理的前提下，可清楚获知其动力机构、供电系统及控制系统的具体。
以上所述仅为本实用新型的实施例，并非因此限制本实用新型的专利范围，凡是利用本实用新型说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其它相关的技术领域，均同理包括在本实用新型的专利保护范围内。
Claims (6)
1.一种用于半导体材料测试的四探针测试仪，其特征在于，包括：
检测仪
放置台，所述放置台固定安装在检测仪的顶部；
检测台，所述检测台转动安装在放置台的顶部；
升降器，所述升降器固定安装爱放置台上；
探测仪，所述探测仪固定安装在升降器上；
第一转动槽，所述第一转动槽开设在放置台的一侧；
内螺纹管，所述内螺纹管转动安装在第一转动槽内，所述内螺纹管的一端延伸至第一转动槽外；
调节轮，所述调节轮固定安装在内螺纹管的一端；
滑槽，所述滑槽开设在第一转动槽的一侧内壁上；
螺纹杆，所述螺纹杆螺纹安装在内螺纹管内，所述螺纹杆的一端延伸至滑槽内；
推杆，所述推杆滑动安装在滑槽内，所述推杆的一端与螺纹杆固定连接；
斜块，所述斜块固定安装爱推杆的一端；
滑孔，所述滑孔开设在滑槽的顶部内壁上；
卡块，所述卡块滑动安装在滑孔内；
转动轮，所述转动轮转动安装在卡块的底板，所述转动轮的底部与斜块相接触。
2.根据权利要求1所述的用于半导体材料测试的四探针测试仪，其特征在于，所述放置台的顶部开设有第二转动槽，所述第二转动槽内转动安装有转动轴，所述转动轴的顶部与检测台的底部固定连接。
3.根据权利要求1所述的用于半导体材料测试的四探针测试仪，其特征在于，所述检测台的底部嵌设有四个呈环形分布的滑珠，所述滑珠与放置台的顶部相接触。
4.根据权利要求1所述的用于半导体材料测试的四探针测试仪，其特征在于，所述滑槽的顶部内壁上开设有第一限位槽，所述第一限位槽内滑动安装有第一限位块，所述第一限位块的底部与推杆的顶部固定连接。
5.根据权利要求1所述的用于半导体材料测试的四探针测试仪，其特征在于，所述滑孔的两侧内壁上均开设有第二限位槽，两个第二限位槽内均滑动安装有第二限位块，两个第二限位块相互靠近的一侧均与卡块固定连接。
6.根据权利要求1所述的用于半导体材料测试的四探针测试仪，其特征在于，所述卡块的顶部固定安装有阻尼块，所述阻尼块的顶部与检测台的底部相接触，所述检测台的顶部标记放置区，所述放置区与转动180°后正好位于台侧以的底部。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202020891669.5U CN212433224U (zh) | 2020-05-25 | 2020-05-25 | 用于半导体材料测试的四探针测试仪 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202020891669.5U CN212433224U (zh) | 2020-05-25 | 2020-05-25 | 用于半导体材料测试的四探针测试仪 |
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| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN212433224U true CN212433224U (zh) | 2021-01-29 |
Family
ID=74288146
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202020891669.5U Expired - Fee Related CN212433224U (zh) | 2020-05-25 | 2020-05-25 | 用于半导体材料测试的四探针测试仪 |
Country Status (1)
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN113884716A (zh) * | 2021-10-26 | 2022-01-04 | 江西龙芯微科技有限公司 | 集成电路晶圆测试装置及方法 |
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2020
- 2020-05-25 CN CN202020891669.5U patent/CN212433224U/zh not_active Expired - Fee Related
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