CN212409675U - 一种可测量单晶硅片平整度的装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种可测量单晶硅片平整度的装置，包括工作台，所述工作台顶端中部固定设置有放置板，所述工作台前侧右侧端固定设置有控制面板，所述工作台顶端两侧均固定设置有伸缩安装杆，所述伸缩安装杆顶端之间固定设置有调节杆，所述调节杆外部右侧活动设置有调节块，所述调节块底端固定设置有固定套杆，所述固定套杆底端活动设置有固定杆，所述固定杆底端固定设置有导轮。本实用新型安装在调节杆外部右侧的调节块底端安装有固定套杆，当需要对硅片上端不同的位置进行测量时，通过调节块在调节杆外部移动则就会带动固定套杆、固定杆和导轮进行移动调节即可。

Description

一种可测量单晶硅片平整度的装置

技术领域

本实用新型涉及单晶硅片技术领域，具体为一种可测量单晶硅片平整度的装置。

背景技术

重要的半导体材料，化学元素符号Si，电子工业上使用的硅应具有高纯度和优良的电学和机械等性能，硅是产量最大、应用最广的半导体材料，它的产量和用量标志着一个国家的电子工业水平；

传统的一种可测量单晶硅片平整度的装置存在以下不足；

目前，在对单晶硅片进行生产时需要对单晶硅片的平整度进行测量，而现有的测量方式都是人工进行测量不够快捷。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种可测量单晶硅片平整度的装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种可测量单晶硅片平整度的装置，包括工作台，所述工作台顶端中部固定设置有放置板，所述工作台前侧右侧端固定设置有控制面板，所述工作台顶端两侧均固定设置有伸缩安装杆，所述伸缩安装杆顶端之间固定设置有调节杆，所述调节杆外部右侧活动设置有调节块，所述调节块底端固定设置有固定套杆，所述固定套杆底端活动设置有固定杆，所述固定杆底端固定设置有导轮，所述固定杆顶端伸在固定套杆内部，所述固定杆顶端与固定套杆内部顶端之间固定设置有复位弹簧，所述固定套杆内部两侧均固定设置有接触面板，所述固定杆外部上端固定设置有电子测量头，所述电子测量头两侧均与接触面板活动接触，所述接触面板、电子测量头均通过导线与控制面板电性连接。

优选的，所述工作台底端固定设置有固定框，所述固定框内部底端通过安装座固定设置有电机，所述电机的输出端固定设置有转杆，所述转杆顶端穿过工作台与放置板底端固定连接，所述固定框内部一侧固定设置有蓄电池，所述控制面板通过导线分别与蓄电池、电机电性连接，所述蓄电池通过导线与电机电性连接。

优选的，所述工作台中部开设有转孔，所述工作台底端中部固定设置有轴承。

优选的，所述放置板底端四周固定设置有环型滑环，所述工作台顶端四周开设有环型滑槽且环型滑环与环型滑槽内部滑动连接。

优选的，所述放置板顶端固定设置有橡胶层。

优选的，所述固定框顶端四周与工作台之间均固定设置有连接轴板。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1、本实用新型在对硅片进行测量时先把硅片放置到放置板上端，再通过控制面板启动电机带动转杆转动，且通过转杆带动放置板转动则就会带动放置在放置板顶端的硅片转动，且导轮就会在硅片上端四周转动接触，且根据硅片上端的平整度就会通过固定杆、复位弹簧带动电子测量头在固定套杆内部进行上下移动，则电子测量头两侧就会与接触面板外部移动从而把数据传输到控制面板内部进行收集整理测量，这样在测量时既快捷且也能增加测量的效率；

2、本实用新型同时安装在调节杆外部右侧的调节块底端安装有固定套杆，当需要对硅片上端不同的位置进行测量时，通过调节块在调节杆外部移动则就会带动固定套杆、固定杆和导轮进行移动调节即可，这样的结构既简单且在调节时也更加的便捷。

附图说明

图1为本实用新型一种可测量单晶硅片平整度的装置整体结构示意图；

图2为本实用新型一种可测量单晶硅片平整度的装置中的图1中A处放大的结构图；

图3为本实用新型一种可测量单晶硅片平整度的装置中的图1中B处放大的结构图。

图中：1、蓄电池；2、固定框；3、转杆；4、电机；5、工作台；6、导轮；7、控制面板；8、伸缩安装杆；9、调节块；10、调节杆；11、放置板；12、固定套杆；13、接触面板；14、复位弹簧；15、电子测量头；16、固定杆；17、环型滑槽；18、环型滑环。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-3，本实用新型提供一种技术方案：一种可测量单晶硅片平整度的装置，包括工作台5，工作台5顶端中部固定安装有放置板11，工作台5前侧右侧端固定安装有控制面板7，工作台5顶端两侧均固定安装有伸缩安装杆8，伸缩安装杆8顶端之间固定安装有调节杆10，调节杆10外部右侧活动安装有调节块9，调节块9底端固定安装有固定套杆12，固定套杆12底端活动安装有固定杆16，固定杆16底端固定安装有导轮6，固定杆16顶端伸在固定套杆12内部，固定杆16顶端与固定套杆12内部顶端之间固定安装有复位弹簧14，固定套杆12内部两侧均固定安装有接触面板13，固定杆16外部上端固定安装有电子测量头15，电子测量头15两侧均与接触面板13活动接触，接触面板13、电子测量头15均通过导线与控制面板7电性连接。

工作台5底端固定安装有固定框2，固定框2内部底端通过安装座固定安装有电机4，电机4的输出端固定安装有转杆3，转杆3顶端穿过工作台5与放置板11底端固定连接，固定框2内部一侧固定安装有蓄电池1，控制面板7通过导线分别与蓄电池1、电机4电性连接，蓄电池1通过导线与电机4电性连接，这样在对硅片进行测量时先把硅片放置到放置板11上端，再通过控制面板7启动电机4带动转杆3转动，且通过转杆3带动放置板11转动则就会带动放置在放置板11顶端的硅片转动，且导轮6就会在硅片上端四周转动接触，且根据硅片上端的平整度就会通过固定杆16、复位弹簧14带动电子测量头15在固定套杆12内部进行上下移动，则电子测量头15两侧就会与接触面板13外部移动从而把数据传输到控制面板7内部进行收集整理测量；工作台5中部开设有转孔，工作台5底端中部固定安装有轴承，这样便于通过轴承和转孔增加转杆3在转动时的稳固性；放置板11底端四周固定安装有环型滑环18，工作台5顶端四周开设有环型滑槽17且环型滑环18与环型滑槽17内部滑动连接，这样便于通过环型滑环18和环型滑槽17增加放置板11在转动时的稳定性和灵活性防止在转动时出现晃动的情况；放置板11顶端固定安装有橡胶层，这样便于通过橡胶层增加硅片在放置时的稳固性增加摩擦力；固定框2顶端四周与工作台5之间均固定安装有连接轴板，这样便于通过连接轴板对固定框2进行灵活的拆卸与安装。

工作原理：本实用新型在对硅片进行测量时先把硅片放置到放置板11上端，再通过控制面板7启动电机4带动转杆3转动，且通过转杆3带动放置板11转动则就会带动放置在放置板11顶端的硅片转动，且导轮6就会在硅片上端四周转动接触，且根据硅片上端的平整度就会通过固定杆16、复位弹簧14带动电子测量头15在固定套杆12内部进行上下移动，则电子测量头15两侧就会与接触面板13外部移动从而把数据传输到控制面板7内部进行收集整理测量，这样在测量时既快捷且也能增加测量的效率，同时安装在调节杆10外部右侧的调节块9底端安装有固定套杆12，当需要对硅片上端不同的位置进行测量时，通过调节块9在调节杆10外部移动则就会带动固定套杆12、固定杆16和导轮6进行移动调节即可，这样的结构既简单且在调节时也更加的便捷。

需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (6)

1.一种可测量单晶硅片平整度的装置，包括工作台（5），其特征在于：所述工作台（5）顶端中部固定设置有放置板（11），所述工作台（5）前侧右侧端固定设置有控制面板（7），所述工作台（5）顶端两侧均固定设置有伸缩安装杆（8），所述伸缩安装杆（8）顶端之间固定设置有调节杆（10），所述调节杆（10）外部右侧活动设置有调节块（9），所述调节块（9）底端固定设置有固定套杆（12），所述固定套杆（12）底端活动设置有固定杆（16），所述固定杆（16）底端固定设置有导轮（6），所述固定杆（16）顶端伸在固定套杆（12）内部，所述固定杆（16）顶端与固定套杆（12）内部顶端之间固定设置有复位弹簧（14），所述固定套杆（12）内部两侧均固定设置有接触面板（13），所述固定杆（16）外部上端固定设置有电子测量头（15），所述电子测量头（15）两侧均与接触面板（13）活动接触，所述接触面板（13）、电子测量头（15）均通过导线与控制面板（7）电性连接。

2.根据权利要求1所述的一种可测量单晶硅片平整度的装置，其特征在于：所述工作台（5）底端固定设置有固定框（2），所述固定框（2）内部底端通过安装座固定设置有电机（4），所述电机（4）的输出端固定设置有转杆（3），所述转杆（3）顶端穿过工作台（5）与放置板（11）底端固定连接，所述固定框（2）内部一侧固定设置有蓄电池（1），所述控制面板（7）通过导线分别与蓄电池（1）、电机（4）电性连接，所述蓄电池（1）通过导线与电机（4）电性连接。

3.根据权利要求1所述的一种可测量单晶硅片平整度的装置，其特征在于：所述工作台（5）中部开设有转孔，所述工作台（5）底端中部固定设置有轴承。

4.根据权利要求1所述的一种可测量单晶硅片平整度的装置，其特征在于：所述放置板（11）底端四周固定设置有环型滑环（18），所述工作台（5）顶端四周开设有环型滑槽（17）且环型滑环（18）与环型滑槽（17）内部滑动连接。

5.根据权利要求1所述的一种可测量单晶硅片平整度的装置，其特征在于：所述放置板（11）顶端固定设置有橡胶层。

6.根据权利要求2所述的一种可测量单晶硅片平整度的装置，其特征在于：所述固定框（2）顶端四周与工作台（5）之间均固定设置有连接轴板。

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