CN218443879U - 一种单晶硅棒斜度检测机 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种单晶硅棒斜度检测机，涉及单晶硅加工技术领域。本实用新型包括承重机构，承重机构底部的四个拐角处均固定连接有支撑机构，承重机构上表面一侧中心位置固定连接有调节机构，调节机构的一侧外壁上固定连接有斜度测量组件，承重机构底部中心位置固定连接有承载机构，承载机构底部两侧的中心位置均固定连接有升降机构，升降机构的上表面固定连接有放置机构。本实用新型通过斜度测量组件的设置，解决了现有的只能检测截面斜度的问题，通过放置机构的设置，解决了现有的不方便对直径较小的单晶硅棒进行测量的问题。

Description

一种单晶硅棒斜度检测机

技术领域

本实用新型属于单晶硅加工技术领域，特别是涉及一种单晶硅棒斜度检测机。

背景技术

直拉单晶硅生长完成后呈圆棒状，而太阳能电池需要利用硅片，因此，单晶硅生长完成后需要进行机械加工，在出厂前需要对单晶硅棒的斜度进行检测，以保证后期切割出来的许多单晶硅片之间没有超出出厂要求范围的误差。

现有公开号为CN107764188A，申请日为2017.09.20的文件中公开了一种单晶硅棒长度和斜度检测装置及其检测方法，包括移动上下料装置和检测装置，还包括安装在检测装置上的对中及斜度测量组件和长度测量组件。

1、上述提到的一种丝线编织用牵引装置在使用时，上述文件中提到手爪上装有斜度测量传感器，该斜度测量传感器用于在手爪的带动下贴合待测量的晶棒端面，通过对中及斜度测量组件检测单晶硅棒截面斜度，只能检测单晶硅棒截面的斜度，对单晶硅棒后期切片大小是否统一没有实质性的帮助；

2、上述提到的一种丝线编织用牵引装置在使用时，上述文件中提到链条机上设有托盘，将单晶硅棒2放置在托盘上，托盘是分成前后两部分的，两个托盘之间会有较大的间隙，托盘只能对直径较大的单晶硅棒进行放置，且当单晶硅棒的直径较小时，也不方便单晶硅棒斜度的检测。

因此，现有的单晶硅棒斜度检测机，无法满足实际使用中的需求，所以市面上迫切需要能改进的技术，以解决上述问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种单晶硅棒斜度检测机，通过斜度测量组件的设置，解决了现有的只能检测截面斜度的问题，通过放置机构的设置，解决了现有的不方便对直径较小的单晶硅棒进行测量的问题。

为解决上述技术问题，本实用新型是通过以下技术方案实现的：

本实用新型为一种单晶硅棒斜度检测机，包括承重机构，承重机构底部的四个拐角处均固定连接有支撑机构，承重机构上表面一侧中心位置固定连接有调节机构，调节机构的一侧外壁上固定连接有斜度测量组件，承重机构底部中心位置固定连接有承载机构，承载机构底部两侧的中心位置均固定连接有升降机构，升降机构的上表面固定连接有放置机构。

进一步地，承重机构包括通槽和承重板，承重板上表面两侧的中心位置均开设有通槽，在使用过程中，通槽可以使得放置机构在其内部顺利的升降。

进一步地，放置机构包括防滑垫、放置板和支撑块，支撑块底部的中心位置固定连接有安装盘，支撑块上表面中心位置固定连接有放置板，放置板上表面的中心位置设置有防滑垫，在使用过程中，防滑垫会防止防止在其上的单晶硅棒滑落。

进一步地，调节机构包括丝杆电机、U型安装板和底板，底板固定连接在承重板上表面一侧的中心位置，底板上表面的中心位置固定连接有U型安装板，U型安装板上表面的中心位置固定连接有丝杆电机，丝杆电机的输出轴一端穿过U型安装板的上表面与转动丝杆固定连接，转动丝杆的一端穿过滑块上表面内壁上的螺纹孔转动连接在轴承座的内壁上，轴承座固定连接在底板上表面中心位置的一侧，底板上表面中心位置的另一侧固定连接有限位杆，限位杆的一端穿过滑块上的通孔与U型安装板上表面的内壁固定连接，在使用过程中，滑块内壁上的内螺纹与转动丝杆外壁上的外螺纹螺纹啮合连接。

进一步地，斜度测量组件包括固定安装板和斜度测量传感器，固定安装板固定连接在滑块一侧外壁的中心位置上，固定安装板一侧外壁的中心位置固定连接有斜度测量传感器，且斜度测量传感器用于在滑块的带动下贴合待测量的晶棒端面，在使用过程中，。

进一步地，承载机构包括条形安装板和U型承载板，U型承载板上表面的两侧均固定连接有条型安装板，条形安装板固定连接在承重板底部两侧的中心位置，在使用过程中，斜度测量传感能够对单晶硅棒的斜度进行测量。

进一步地，升降机构包括安装盘、液压伸缩杆和液压缸，液压缸固定连接在U型承载板底部两侧的中心位置，液压缸的上表面固定连接有液压伸缩杆，液压伸缩杆的一端穿过U型承载板的底部与安装盘底部的中心位置固定连接，在使用过程中，两侧的液压缸会同步进行运动。

进一步地，支撑机构包括圆形安装板、支撑腿和底座，圆形安装板固定连接在承重板底部的四个拐角处，圆形安装板底部的中心位置固定连接有支撑腿，支撑腿的底部固定连接有底座，在使用过程中，支撑腿会将承重板稳固的支撑。

本实用新型具有以下有益效果：

1、本实用新型通过斜度测量组件的设置，斜度测量传感器能够对单晶硅棒的圆柱面进行检测，而不是对单晶硅棒的切割面进行其额度检测，能够检测出单晶硅棒的斜度是否满足出厂条件，对单晶硅棒的检测起到了实质性的作用。

2、本实用新型通过放置机构的设置，能够对各种直径的单晶硅棒进行放置，同时，在升降机构的配合下也可以将升降机构进行升降，进而方便对直径较小的单晶硅棒进行检测，且可以同时对两根相同规格的单晶硅棒进行检测，提高了检测的效率。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对实施例描述所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为一种单晶硅棒斜度检测机结构示意图；

图2为承重机构结构示意图；

图3为放置机构结构示意图；

图4为调节机构结构示意图；

图5为斜度测量组件结构示意图；

图6为承载机构结构示意图；

图7为升降机构结构示意图；

图8为支撑机构结构示意图。

附图中，各标号所代表的部件列表如下：

1、承重机构；11、通槽；12、承重板；2、放置机构；21、防滑垫；22、放置板；23、支撑块；3、调节机构；31、丝杆电机；32、U型安装板；33、转动丝杆；34、限位杆；35、滑块；36、底板；37、轴承座；4、斜度测量组件；41、固定安装板；42、斜度测量传感器；5、承载机构；51、条形安装板；52、U型承载板；6、升降机构；61、安装盘；62、液压伸缩杆；63、液压缸；7、支撑机构；71、圆形安装板；72、支撑腿；73、底座。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。

请参阅图1-8所示，本实用新型为一种单晶硅棒斜度检测机，包括承重机构1，承重机构1底部的四个拐角处均固定连接有支撑机构7，承重机构1上表面一侧中心位置固定连接有调节机构3，调节机构3的一侧外壁上固定连接有斜度测量组件4，承重机构1底部中心位置固定连接有承载机构5，承载机构5底部两侧的中心位置均固定连接有升降机构6，升降机构6的上表面固定连接有放置机构2。

其中如图1-2所示，承重机构1包括通槽11和承重板12，承重板12上表面两侧的中心位置均开设有通槽11；

具体的，在使用过程中，当液压伸缩杆62进行上下运动时，放置机构2会跟随着在通槽11的内侧进行上下运动。

其中如图1和图3所示，放置机构2包括防滑垫21、放置板22和支撑块23，支撑块23底部的中心位置固定连接有安装盘61，支撑块23上表面中心位置固定连接有放置板22，放置板22上表面的中心位置设置有防滑垫21；

具体的，在使用前，将待检测的单晶硅棒放置到防滑垫21上，当单间硅棒较短时，可以将两根单晶硅棒同时放到两侧的防护垫上。

其中如图1和图4所示，调节机构3包括丝杆电机31、U型安装板32和底板36，底板36固定连接在承重板12上表面一侧的中心位置，底板36上表面的中心位置固定连接有U型安装板32，U型安装板32上表面的中心位置固定连接有丝杆电机31，丝杆电机31的输出轴一端穿过U型安装板32的上表面与转动丝杆33固定连接，转动丝杆33的一端穿过滑块35上表面内壁上的螺纹孔转动连接在轴承座37的内壁上，轴承座37固定连接在底板36上表面中心位置的一侧，底板36上表面中心位置的另一侧固定连接有限位杆34，限位杆34的一端穿过滑块35上的通孔与U型安装板32上表面的内壁固定连接；

具体的，在使用过程中，当开始检测时，启动丝杆电机31，丝杆电机31启动时会带动转动丝杆33在轴承座37内进行转动，当转动丝杆33转动时滑块35会因螺纹啮合作用在限位杆34的限位下进行上下的移动，当移动到斜度测量传感器42的中心位置与单晶硅棒上端相重合时，停止丝杆电机31。

其中如图1和图5所示，斜度测量组件4包括固定安装板41和斜度测量传感器42，固定安装板41固定连接在滑块35一侧外壁的中心位置上，固定安装板41一侧外壁的中心位置固定连接有斜度测量传感器42，且斜度测量传感器42用于在滑块35的带动下贴合待测量的晶棒端面；

具体的，在使用过程中，当斜度测量传感器42运动到目标位置时，斜度测量传感器42会对单晶硅棒的斜度进行检测。

其中如图1和图6-8所示，承载机构5包括条形安装板51和U型承载板52，U型承载板52上表面的两侧均固定连接有条型安装板，条形安装板51固定连接在承重板12底部两侧的中心位置；

具体的，在使用过程中，升降机构6包括安装盘61、液压伸缩杆62和液压缸63，液压缸63固定连接在U型承载板52底部两侧的中心位置，液压缸63的上表面固定连接有液压伸缩杆62，液压伸缩杆62的一端穿过U型承载板52的底部与安装盘61底部的中心位置固定连接，支撑机构7包括圆形安装板71、支撑腿72和底座73，圆形安装板71固定连接在承重板12底部的四个拐角处，圆形安装板71底部的中心位置固定连接有支撑腿72，支撑腿72的底部固定连接有底座73；

具体的，在使用过程中，当单晶硅棒的直径较小时，启动液压缸63，两个液压缸63会同时启动，同时，两个液压伸缩杆62会进行同步运动，液压伸缩杆62进行上下的伸缩运动会带动放置机构2进行上下运动，放置机构2进行上下运动进而带动待检测的单晶硅棒进行上下运动。

以上仅为本实用新型的优选实施例，并不限制本实用新型，任何对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，对其中部分技术特征进行等同替换，所作的任何修改、等同替换、改进，均属于在本实用新型的保护范围。

Claims (8)

1.一种单晶硅棒斜度检测机，包括承重机构(1)，其特征在于：所述承重机构(1)底部的四个拐角处均固定连接有支撑机构(7)，所述承重机构(1)上表面一侧中心位置固定连接有调节机构(3)，所述调节机构(3)的一侧外壁上固定连接有斜度测量组件(4)，所述承重机构(1)底部中心位置固定连接有承载机构(5)，所述承载机构(5)底部两侧的中心位置均固定连接有升降机构(6)，所述升降机构(6)的上表面固定连接有放置机构(2)。

2.根据权利要求1所述的一种单晶硅棒斜度检测机，其特征在于：所述承重机构(1)包括通槽(11)和承重板(12)，所述承重板(12)上表面两侧的中心位置均开设有通槽(11)。

3.根据权利要求1所述的一种单晶硅棒斜度检测机，其特征在于：所述放置机构(2)包括防滑垫(21)、放置板(22)和支撑块(23)，所述支撑块(23)底部的中心位置固定连接有安装盘(61)，所述支撑块(23)上表面中心位置固定连接有放置板(22)，所述放置板(22)上表面的中心位置设置有防滑垫(21)。

4.根据权利要求1所述的一种单晶硅棒斜度检测机，其特征在于：所述调节机构(3)包括丝杆电机(31)、U型安装板(32)和底板(36)，所述底板(36)固定连接在承重板(12)上表面一侧的中心位置，所述底板(36)上表面的中心位置固定连接有U型安装板(32)，所述U型安装板(32)上表面的中心位置固定连接有丝杆电机(31)，所述丝杆电机(31)的输出轴一端穿过U型安装板(32)的上表面与转动丝杆(33)固定连接，所述转动丝杆(33)的一端穿过滑块(35)上表面内壁上的螺纹孔转动连接在轴承座(37)的内壁上，所述轴承座(37)固定连接在底板(36)上表面中心位置的一侧，所述底板(36)上表面中心位置的另一侧固定连接有限位杆(34)，所述限位杆(34)的一端穿过滑块(35)上的通孔与U型安装板(32)上表面的内壁固定连接。

5.根据权利要求1所述的一种单晶硅棒斜度检测机，其特征在于：所述斜度测量组件(4)包括固定安装板(41)和斜度测量传感器(42)，所述固定安装板(41)固定连接在滑块(35)一侧外壁的中心位置上，所述固定安装板(41)一侧外壁的中心位置固定连接有斜度测量传感器(42)，且斜度测量传感器(42)用于在滑块(35)的带动下贴合待测量的晶棒端面。

6.根据权利要求1所述的一种单晶硅棒斜度检测机，其特征在于：所述承载机构(5)包括条形安装板(51)和U型承载板(52)，所述U型承载板(52)上表面的两侧均固定连接有条型安装板，所述条形安装板(51)固定连接在承重板(12)底部两侧的中心位置。

7.根据权利要求1所述的一种单晶硅棒斜度检测机，其特征在于：所述升降机构(6)包括安装盘(61)、液压伸缩杆(62)和液压缸(63)，所述液压缸(63)固定连接在U型承载板(52)底部两侧的中心位置，所述液压缸(63)的上表面固定连接有液压伸缩杆(62)，所述液压伸缩杆(62)的一端穿过U型承载板(52)的底部与安装盘(61)底部的中心位置固定连接。

8.根据权利要求1所述的一种单晶硅棒斜度检测机，其特征在于：所述支撑机构(7)包括圆形安装板(71)、支撑腿(72)和底座(73)，所述圆形安装板(71)固定连接在承重板(12)底部的四个拐角处，所述圆形安装板(71)底部的中心位置固定连接有支撑腿(72)，所述支撑腿(72)的底部固定连接有底座(73)。

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